清洗設(shè)備清洗設(shè)備國產(chǎn)化率與刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化率基本持平

1、隨著線寬微縮，晶圓制造的良率隨著線寬縮小而下降，而提高良率的方式之一就是增加清洗工藝，在 80-60nm 制程中，清洗工藝大約 100 多個(gè)步驟，而到了 20-10nm 制程，清洗工藝上升到 200 多個(gè)步驟以上。圖表 1. 工藝進(jìn)步與芯片良率關(guān)系圖表 2. 工藝進(jìn)步帶動(dòng)清洗步驟增加資料來源：2017 年半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)，中銀證券資料來源：2017 年半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì), 中銀證券根據(jù) SEMI、Gartner 等，2018 年清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模 32 億美元，連續(xù) 3 年復(fù)合增速 21%，在晶圓制造工藝設(shè)備市場(chǎng)上占 5.3%的比重。圖表 3. 全球清洗設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模超過 30 億美元資料來源：SEMI

2、, Gartner, 中銀證券目前，國際上共有 5 家企業(yè)在生產(chǎn)單晶片清洗設(shè)備，分別是 Screen Semiconductor Solutions、TEL、Lam Research、SEMES 和 ACM Research（盛美）。2018 年，約 45%的清洗設(shè)備市場(chǎng)份額被 Screen 占據(jù)，約 38%市場(chǎng)份額被 TEL 和 Lam Research 占據(jù)，SEMES 占 15%，盛美市占率達(dá)到 2.3%。圖表 4. 全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)格局（2018）TEL25.3%Screen45.1%SEMES14.8%盛美2.3%Lam Research 12.5%資料來源：Gartner,

3、中銀證券圖表 5.半導(dǎo)體清洗設(shè)備企業(yè)經(jīng)營業(yè)績(jī)比較（2019）整體收入規(guī)模凈利潤毛利率凈利率IC 清洗設(shè)備的 清洗設(shè)備市值清洗設(shè)備類型優(yōu)勢(shì)單片 Jet spray and（億）（億）(%)(%)收入占比(%)市占率(2018,%)（億）DNS TELLamSEMESchemical前道/中道清洗300.46241.57145 26前道清洗單片 Jet spray and1031740161025 325chemical后道銅制程清洗單片 Jet spray and95.521452212.5 372chemical單片 Jet spray and三星供應(yīng)商12（18 年） 15chemical、

4、兆聲波ACM R單片 SAPS/TEBO 小顆粒清洗，無圖形破壞清洗1.080.24717.690%210資料來源：公司公告，中銀證券盛美半導(dǎo)體從客戶在制程工藝中遇到的實(shí)際問題出發(fā)，研發(fā)出 SAPS、TEBO 等清洗技術(shù)，清洗設(shè)備被國際客戶持續(xù)重復(fù)采購用于 DRAM 等制造工藝，打破國際市場(chǎng)壟斷格局，根據(jù)公司約 1 億美元的收入與全球清洗設(shè)備 30 多億美元的市場(chǎng)規(guī)模測(cè)算，2019 年盛美半導(dǎo)體在全球清洗設(shè)備市占率提高到 3%。圖表 6. 盛美 SAPS 清洗效率高于批式兆聲波資料來源：公司公告，中銀證券圖表 7. 盛美 TEBO 清洗技術(shù)接近零損傷資料來源：公司公告，中銀證券本土 12 英寸

5、晶圓廠的清洗設(shè)備主要來自 Lam Research、Screen、TEL、盛美半導(dǎo)體，盛美半導(dǎo)體已成為清洗設(shè)備本土市場(chǎng)上第二大供應(yīng)商據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹無錫、上海華力二期項(xiàng)目共累計(jì)采購的 200 多臺(tái)清洗設(shè)備中，按中標(biāo)數(shù)量對(duì)供應(yīng)商排序依次是 Screen、盛美半導(dǎo)體、Lam Research、TEL、北方華創(chuàng)、沈陽芯源等，所占份額依次是 48%、20.5%、20%、6%、1%、0.5%，盛美半導(dǎo)體的市場(chǎng)份額排名第二，略高于 Lam Research。圖表 8. 本土清洗設(shè)備市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)格局盛美20.5%Screen48%Lam20%其他4%TEL6%沈陽芯源0.5%北方華創(chuàng)1%

6、資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券長(zhǎng)江存儲(chǔ)至今累計(jì)采購 80 多臺(tái)清洗設(shè)備，其供應(yīng)商按中標(biāo)數(shù)量排序依次是 Screen、盛美半導(dǎo)體、 Lam Research、TEL、北方華創(chuàng)，所占份額依次是 40%、22%、16%、14%、2%，盛美半導(dǎo)體位居第二；圖表 9. 長(zhǎng)江存儲(chǔ)清洗設(shè)備的供應(yīng)商市場(chǎng)份額北方華創(chuàng)2%其他7%TEL14%Screen39%Lam16%盛美21.8%資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券華虹無錫項(xiàng)目采購的 50 多臺(tái)清洗設(shè)備中，其供應(yīng)商按中標(biāo)數(shù)量排序依次是 Screen、盛美半導(dǎo)體、 Lam Research、TEL，所占份額依次是 54%、21%、21%、2%，盛美半導(dǎo)體與

7、Lam Research 同時(shí)位居第二名；圖表 10. 華虹無錫項(xiàng)目清洗設(shè)備的供應(yīng)商市場(chǎng)份額Screen54%盛美20.8%Lam21%其他2%TEL2%資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券華力二期項(xiàng)目采購的 70 多臺(tái)清洗設(shè)備中，其供應(yīng)商按中標(biāo)數(shù)量排序依次是 Screen、Lam Research、盛美半導(dǎo)體、芝浦機(jī)電、沈陽芯源，所占份額依次是 53%、24%、19%、3%、1%，盛美半導(dǎo)體位居第三。圖表 11. 上海華力二期項(xiàng)目清洗設(shè)備的供應(yīng)商市場(chǎng)份額盛美18.7%Screen53%Lam24%其他3%沈陽芯源1.3%資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券盛美主導(dǎo)的清洗設(shè)備國產(chǎn)化程度，與中微、北

8、方華創(chuàng)、屹唐推動(dòng)的刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化程度基本相當(dāng)綜合長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹無錫、上海華力二期三個(gè)晶圓產(chǎn)線的設(shè)備采購數(shù)據(jù)，清洗設(shè)備的國產(chǎn)化率達(dá)到22%，而刻蝕設(shè)備的國產(chǎn)化率 23%，CMP 設(shè)備國產(chǎn)化率 19%，三類工藝設(shè)備國產(chǎn)化程度基本相當(dāng)。圖表 12.清洗設(shè)備國產(chǎn)化率與刻蝕設(shè)備、研磨設(shè)備國產(chǎn)化率基本持平CMP刻蝕設(shè)備清洗設(shè)備0.0%5.0%10.0%15.0%20.0%25.0%12寸主流本土晶圓產(chǎn)線三大類工藝設(shè)備國產(chǎn)化率對(duì)比資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券清洗設(shè)備國產(chǎn)化主要依賴于盛美半導(dǎo)體，而刻蝕設(shè)備國產(chǎn)品牌包括中微、北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體，盛美在清洗設(shè)備本土市場(chǎng)的市占率 20.5%，明顯高于中微在刻

9、蝕設(shè)備本土市場(chǎng)的市占率 16%。圖表 13. 盛美主導(dǎo)了集成電路清洗設(shè)備的國產(chǎn)化CMP刻蝕設(shè)備清洗設(shè)備0.0%華海清科5.0%北方華創(chuàng)中微半導(dǎo)體盛美半導(dǎo)體16.4%中微盛美19.4%10.0%華海清科沈陽芯源 屹唐半導(dǎo)體20.5%15.0%20.0%25.0%資料來源：中國國際招標(biāo)網(wǎng)，中銀證券各類新產(chǎn)品推陳出新，盛美半導(dǎo)體在清洗設(shè)備和薄膜沉積/氧化設(shè)備領(lǐng)域的業(yè)務(wù)前景樂觀參考各公司公告，我們估計(jì)盛美半導(dǎo)體的集成電路設(shè)備收入規(guī)模，與中微、北方華創(chuàng)同處于 11.5億美元數(shù)量級(jí)水平上。圖表 14. 盛美清洗設(shè)備銷售收入與中微刻蝕設(shè)備銷售收入基本持平國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司集成電路設(shè)備收入(2019，億元)8

10、.007.006.005.004.003.002.001.00-資料來源：各公司公告，中銀證券盛美新產(chǎn)品 Tahoe 突破慣性思維，大膽技術(shù)創(chuàng)新并實(shí)現(xiàn)首臺(tái)銷售，大幅拓寬公司在 IC 清洗工藝所覆蓋的市場(chǎng)空間；新產(chǎn)品立式爐設(shè)備 Ultra Furnace 突破清洗范疇，進(jìn)入薄膜沉積/氧化設(shè)備領(lǐng)域，打開新的成長(zhǎng)空間。圖表 15. 盛美半導(dǎo)體不斷推出新產(chǎn)品打開成長(zhǎng)空間資料來源：公司公告，中銀證券圖表 13. 報(bào)告中提及上市公司估值表公司代碼公司簡(jiǎn)稱評(píng)級(jí)股價(jià)市值每股收益(元/股)市盈率(x)最新每股凈資產(chǎn)(元)(億元)2019A2020E2019A2020E(元/股)688012.SH中微公司買入19

11、1.21,022.70.350.375542.3509.97.01002371.SZ北方華創(chuàng)買入158.8786.20.621.00254.4158.811.83688126.SH滬硅產(chǎn)業(yè)買入18.28453.4(0.04)(0.01)(504.2)(1,828.0)2.04300604.SZ長(zhǎng)川科技買入28.0988.30.040.33739.786.23.17300567.SZ精測(cè)電子買入69.18169.91.101.4263.048.75.63300316.SZ晶盛機(jī)電買入24308.30.500.7248.433.33.54600641.SH萬業(yè)企業(yè)增持19.85160.00.710

12、.5027.939.77.78603690.SH至純科技未有評(píng)級(jí)37.3596.30.430.7787.348.75.40688037.SH芯源微未有評(píng)級(jí)122.2102.60.350.53350.6232.08.99688268.SH華特氣體未有評(píng)級(jí)66.0679.30.600.88109.274.79.96002409.SZ雅克科技未有評(píng)級(jí)42.98198.90.630.8368.052.09.54300655.SZ晶瑞股份未有評(píng)級(jí)37.2166.20.180.36211.4104.02.96資料來源：萬得，中銀證券注：股價(jià)截止日 5 月 13 日，未有評(píng)級(jí)公司盈利預(yù)測(cè)來自萬得一致預(yù)期披露

13、聲明本報(bào)告準(zhǔn)確表述了證券分析師的個(gè)人觀點(diǎn)。該證券分析師聲明，本人未在公司內(nèi)、外部機(jī)構(gòu)兼任有損本人獨(dú)立性與客觀性的其他職務(wù)，沒有擔(dān)任本報(bào)告評(píng)論的上市公司的董事、監(jiān)事或高級(jí)管理人員；也不擁有與該上市公司有關(guān)的任何財(cái)務(wù)權(quán)益；本報(bào)告評(píng)論的上市公司或其它第三方都沒有或沒有承諾向本人提供與本報(bào)告有關(guān)的任何補(bǔ)償或其它利益。中銀國際證券股份有限公司同時(shí)聲明，將通過公司網(wǎng)站披露本公司授權(quán)公眾媒體及其他機(jī)構(gòu)刊載或者轉(zhuǎn)發(fā)證券研究報(bào)告有關(guān)情況。如有投資者于未經(jīng)授權(quán)的公眾媒體看到或從其他機(jī)構(gòu)獲得本研究報(bào)告的，請(qǐng)慎重使用所獲得的研究報(bào)告，以防止被誤導(dǎo)，中銀國際證券股份有限公司不對(duì)其報(bào)告理解和使用承擔(dān)任何責(zé)任。 評(píng)級(jí)體系說明以報(bào)告發(fā)布日后公司股價(jià)/行業(yè)指數(shù)漲跌幅相對(duì)同期相關(guān)市場(chǎng)指數(shù)的漲跌幅的表現(xiàn)為基準(zhǔn)：公司投資評(píng)級(jí)：買入：預(yù)計(jì)該公司股價(jià)在未來 6 個(gè)月內(nèi)超越基準(zhǔn)指數(shù) 20%以上；增持：預(yù)計(jì)該公司股價(jià)在未來 6 個(gè)月內(nèi)超越基準(zhǔn)指數(shù) 10%-20%；中性：預(yù)計(jì)該公司股價(jià)在未來 6 個(gè)月內(nèi)相對(duì)基準(zhǔn)指數(shù)變動(dòng)幅度在-10%-10%之間；減持：預(yù)計(jì)該公司股價(jià)在未來 6 個(gè)月內(nèi)相對(duì)基準(zhǔn)指數(shù)跌幅在 10%以上；未有評(píng)級(jí)：因無法獲取必要的資料或者其他原因，未能給出明確的投資評(píng)級(jí)。行業(yè)投資評(píng)級(jí)：