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1、基礎(chǔ)光學(xué)工藝第十五章球面樣板第十五章球面樣板光學(xué)表面精密加工時(shí)是通過(guò)觀察精密的標(biāo)準(zhǔn)樣板與被檢光學(xué)表面之間所形成的干涉儀條紋來(lái)實(shí)現(xiàn)干涉計(jì)量控制的。大多數(shù)樣板是球面的,但也有少數(shù)是非球面的,非球面樣板常用來(lái)檢驗(yàn)多塊反射鏡組成的望遠(yuǎn)鏡中的小副鏡,每副樣板都有凸、凹兩個(gè)表面。樣板的材料通常派勒克斯玻璃或類似的其他低膨脹系數(shù)玻璃。將兩塊樣板表面接觸,就會(huì)形成牛頓環(huán)或干涉條紋。用樣板檢驗(yàn)透鏡時(shí),樣板與透鏡表面間都必須有微小的空氣間隙,這樣才能觀察到干涉條紋。觀察到的條紋數(shù)或光圈數(shù)取決于塵粒及兩個(gè)半徑差所形成的空氣楔的大?。úㄩL(zhǎng)數(shù))。如果沒(méi)有空氣楔存在或兩個(gè)表面的曲率半徑完全相同,就看不到光圈;而看到均勻的
2、一片色,顏色的均勻程度由兩塊樣板的接近程度決定。要制造表面質(zhì)量為1/10光圈、誤差為0.005mm的高精度球面樣板非?;〞r(shí)間,所以成本很高,用于控制質(zhì)量的樣板制造公差要經(jīng)用在光學(xué)車間中工作樣板的制造公差更為嚴(yán)格。它必須在光具座上精密測(cè)量其曲率半徑,面形質(zhì)量應(yīng)優(yōu)于1/10光圈。用于低精密零件,例如加工目鏡的球面樣板其公差允許多于兩個(gè)光圈,但這些樣板也可以用于檢驗(yàn)其他的透鏡,所以仍需保持應(yīng)有的加工精度。如果檢驗(yàn)與樣板半徑很接近的光學(xué)零件就不必制作新的樣板,而通過(guò)每1cm直徑內(nèi)有條紋數(shù)來(lái)確定其半徑值。為了縮短透鏡元件的制造周期,各工廠之間的樣板可以互相有無(wú)。樣板有小的曲率半徑(如用于顯微物鏡的)也有
3、大的曲率半徑,光學(xué)平面(平晶)實(shí)際上就是曲率半徑無(wú)窮大的球面。樣板的直徑為6254mm。我曾做過(guò)一副口徑為10in,曲率半徑為212in,面形質(zhì)量為兩個(gè)光圈的樣板。這種大口徑的樣板是很少使用的,因?yàn)楹苋菀讋潅粰z的拋光表面而出現(xiàn)劃痕。曲率半徑為lOOin的樣板,如果R/D數(shù)大于6(其中R為樣板曲率半徑;D為樣板直徑),就不需要補(bǔ)償球面。凸樣板需要凹補(bǔ)償球面(曲率半徑不相同),而凹樣板需要凸的補(bǔ)償球面。l、補(bǔ)償球面道威所著的光學(xué)車間原理一書(Hilger&Watts,London,1954)曾敘述過(guò)用樣板檢驗(yàn)透鏡面形質(zhì)量及曲率半徑時(shí)的一些困難,其中主要問(wèn)題是標(biāo)準(zhǔn)條紋觀察箱中用普通的汞或氦單色光源
4、時(shí),對(duì)R/D值較小的樣板判斷條紋發(fā)生困難,這種擴(kuò)展光源對(duì)平面或大曲率半徑比較有用,而對(duì)R/D6的樣板則不適用。許多初學(xué)者甚至一些有經(jīng)驗(yàn)的操作者對(duì)用凹樣板檢驗(yàn)凸透鏡所引起的透視收縮效應(yīng)也感到頭疼。透視收縮效應(yīng)的產(chǎn)生是由于被檢凸面縮小且沒(méi)有充分照明所致。因此,要精密測(cè)量條紋必須使視線與表面垂直,但是在R/D比值低時(shí),一般要達(dá)到垂直是不可能的。在沒(méi)有輔助設(shè)備時(shí),最好是拋光兩配合表面,達(dá)到近乎最佳接觸,使整個(gè)表面出現(xiàn)一片顏色,注意:不能用數(shù)條紋數(shù)的辦法來(lái)測(cè)量?jī)蓧K樣板半徑的微小差值。條紋是由于兩表面間存在微塵粒和有較大的分離量而產(chǎn)生的。在光學(xué)車間里經(jīng)常遇到的另一個(gè)問(wèn)題:從上面的凸表面與從下面的凹表面所觀
5、察到條紋不一樣。當(dāng)表面接近公差時(shí)更加明顯,有可能從一個(gè)方向觀察到半條條紋,而從另一方向卻觀察到兩條以上的條紋。引起這樣的誤差可能有幾個(gè)原因:例如兩個(gè)表面不是絕對(duì)接觸,微塵粒使兩個(gè)表面分離而產(chǎn)生幾條條紋:此外,兩個(gè)相互接觸表面上的劃痕或麻點(diǎn)也會(huì)引起誤差。許多原因都促使使用輔助高峰設(shè)備和補(bǔ)償球面(見(jiàn)第四章)。我和羅斯魯普公司的卡爾肖脫(CarlShort)一起驗(yàn)證了用道威法求得每類樣板以相反曲率半徑作補(bǔ)償球面的方法,但是道威沒(méi)有給出一個(gè)完整的計(jì)算這些補(bǔ)償球面半徑的公式。按下計(jì)算凹樣板的凸補(bǔ)償球面的曲率半徑r二R-d/(n2-2n(1-h2/R2)1/2+1)-1/2+1(15-1)式中r為補(bǔ)償球面
6、曲率半徑;d為樣板的最大厚度;h為半徑直徑;n為折射率(1.5);R為給定的曲率半徑。用于凸樣板的凹補(bǔ)償半徑的計(jì)算公式與式(15-1)不同,它近似等于r=(R/2)(n-10)(15-2)式中r為凸樣板的凹補(bǔ)償半徑;R為給定的曲率半徑;n為折射率(n=1.5)。第9O頁(yè)基礎(chǔ)光學(xué)工藝第 頁(yè)第 頁(yè)第十五章球面樣板由式(15-2)可以看出補(bǔ)償球面曲率半徑近似等于樣板曲率半徑的1/4。從上述兩式可以看出,補(bǔ)償球面半徑總是比樣板給定的曲率半徑要小。觀察樣板條紋的距離應(yīng)在10倍直徑以外。對(duì)式(15-1),如果不使用電子計(jì)算器是很難進(jìn)行運(yùn)算的。當(dāng)R/D值接近于1.0時(shí),公式不適合用,而當(dāng)R/D數(shù)值大于1.5
7、時(shí),上述公式才是有用的。2、補(bǔ)償球面的圖解光線追蹤法1964年戴尼爾姆克高里(DanielMcguire)提出了用光線圖解追蹤法求解補(bǔ)償球面,作為解決這個(gè)問(wèn)題的新方法。這種方法很容易為光學(xué)工作者或制圖員掌握。只需要用一只圓規(guī)和一把平行尺就可以了。繪圖員可以用繪圖儀精確地按1:1比例繪出補(bǔ)償球面的曲率半徑。這種繪圖方法簡(jiǎn)單明瞭。圖15.1的光線追蹤法表示凹、凸樣板的補(bǔ)償球面。樣板的R/D數(shù)為4.2,觀察點(diǎn)在20倍直徑以外(近似平行光距離)。作圖步驟如下:1、畫一條光軸線。2、距樣板20倍直徑處作一個(gè)觀察。3、由T點(diǎn)畫兩個(gè)曲率半徑,R=127mm,其間厚度為樣板直徑的1/8。4、將凹樣板半徑線延長(zhǎng)
8、一段距離。5、將凸樣板上的半徑線延長(zhǎng)到光軸線。6、從T處以任意半徑畫弧C,交于觀察線。7、在半徑線上以大約C半徑的1.52倍畫弧C。128、連接弧C、C。9、用平行直尺過(guò)T點(diǎn)作連線弧C與C的平行線,與光軸相交于一點(diǎn),此點(diǎn)即為樣板的補(bǔ)償球面半徑的曲率中心。用5in曲率半徑的凹樣板所求得的補(bǔ)償球面曲率半徑約為1.5in(鋼皮尺測(cè)量),凸樣板的補(bǔ)償球面的曲率半徑為1.85in。在本章中,我們已經(jīng)討論了有關(guān)樣板在R/D值較小時(shí)使用中涉及的一些復(fù)雜問(wèn)題。雖然設(shè)計(jì)帶補(bǔ)償球面的樣板并非光學(xué)技工的工作,但是,這對(duì)了解透視收縮效應(yīng)的產(chǎn)生原因有新幫助。下節(jié)討論為更好地觀察條紋新用的輔助設(shè)備。3、輔助設(shè)備許多光學(xué)車
9、間中為了用平行光線觀察樣板,有效地采用了輔助觀察裝置,大多數(shù)這種裝置是根據(jù)干涉儀的原因制造的。這里介紹幾種類型的干涉儀裝置。根據(jù)干涉儀原理。由小光源出射的單色光線垂直入射于樣板或被檢透鏡的表面關(guān)可以反射回來(lái),,以致很容易觀察到任意R/D值的條紋。圖15.2所示是菲索干涉儀結(jié)構(gòu),它的口徑為612in,其主物鏡通常是一個(gè)f/4.0的平凸非圖15.1凹凸樣板補(bǔ)償球面的光線追跡圖解法球面透鏡中都是一組兩片組合的物鏡,物鏡與光源裝在一起。在非球面物鏡中的平面為標(biāo)準(zhǔn)面;在組合物鏡中則應(yīng)以一塊具有1/10光圖表面精度的楔形(20,)平行為標(biāo)準(zhǔn)面。照明光源是帶有0.004mm小孔的汞燈,更亮的光源一般用短焦距
10、(焦距為18mm的平凸透鏡)。透鏡平面必須經(jīng)過(guò)細(xì)磨以用作漫射器。平行平板分束器鍍半透半反膜(50/50),光線從光源反射到樣板。平面干涉儀的最佳設(shè)計(jì)之一是戴維森光學(xué)公司(West圖15.2檢驗(yàn)樣板的平面干涉儀檢驗(yàn)裝置可以插入塑料菲湟耳透鏡來(lái)低R/D數(shù)的樣板充滿孔徑,有時(shí)必須水銀燈圖15.阜用兩塊塑料菲湟耳透鏡制造齊麥爾蒙干涉儀的方案,透鏡可以在槽內(nèi)滑動(dòng),以得到適合樣板基礎(chǔ)光學(xué)工藝第十五章球面樣板Covina.Ca)設(shè)計(jì)的干涉儀。有些車間在樣板與被檢面之間墊以玻璃紙(0.05mm)形成一定的間隙。這種方法有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn):第一,可以防止樣板被微塵粒劃傷;第二,玻璃紙的彈性可以保證形成均勻的空氧間隙;第
11、三,可以排除局部真空狀態(tài)而使樣板移動(dòng)困難。4、齊麥爾蒙(Zimmerman)干涉儀依特克(Ifex)公司的丁齊麥爾蒙在1971年9月出版的應(yīng)用光學(xué)雜志第22162217頁(yè)中曾介紹過(guò)用價(jià)格便宜的塑料菲湟耳透鏡可以做成簡(jiǎn)單的干涉儀。如圖15.3所示,這種儀器包括漫射汞光源的菲湟耳透鏡以不同高度插入被檢透鏡與樣板上方的槽中。用一塊40/60部分反射分光板將條紋反射而得到一個(gè)充滿孔徑的麥克斯韋(Maxwell)視場(chǎng)。小R/D值樣板必須用作圖法設(shè)計(jì)補(bǔ)償球面。各種焦距的菲湟耳塑料透鏡可以從埃德馬德(Edmund)科學(xué)公司(Barrington,NJ)購(gòu)買。采用菲湟耳透鏡(見(jiàn)圖15.3)5、樣板的制造過(guò)程樣
12、板通常是用低膨脹系數(shù)玻璃如派勒克玻璃等制成。其結(jié)構(gòu)用圖解光線追蹤法求出(圖15.4),并且將預(yù)先確定的凹凸曲率半徑及其補(bǔ)償球面半徑一起被標(biāo)注出來(lái)。校核樣板的合適厚度,應(yīng)約為樣板的1/6。樣板口徑總是稍大于透鏡的直徑。補(bǔ)償球面的磨具直徑通常與樣板直徑相同并用瓶裝玻璃制造。從光線追跡中所求得需要數(shù)據(jù)都應(yīng)在表格中列出,在選擇鋁制樣板夾具及瀝青拋光模時(shí)要用到。銑磨樣板和細(xì)磨模具的四個(gè)球面時(shí),必須修正補(bǔ)償球面的曲率半徑,不要指望把半徑銑到接近0.1in以內(nèi)。只有通過(guò)精磨加工才能達(dá)到要求并用球徑儀測(cè)量以獲得較高精度的讀數(shù)。最后用鑄鐵模和145號(hào)砂將所有小球面的邊倒去。因?yàn)闃影搴屯哥R都需要鋁模具,所以這些模
13、具應(yīng)該事先準(zhǔn)備好。一副具有相同直徑和相等曲率半徑的樣板,需要四只鋁模具。另外四個(gè)拋光底盤是用來(lái)制作拋光模的,底盤的加工半徑與樣板及其補(bǔ)償球碩的曲率半徑不同,由于瀝青的厚度,凹底盤的半徑必須大用于加工樣板的模具比用于樣板數(shù)據(jù)的麥克斯韋視場(chǎng)0.2in.,而凸底盤必須小0.in。通常,加工透鏡的大,為了將加工樣板的模具用于加工透鏡,可以在車床上將模具車小。按照現(xiàn)有的球徑儀型號(hào),總是選用最大測(cè)環(huán)(球座的半徑)來(lái)測(cè)量透鏡表面。市售的電子球徑儀中,有一種為斯德雷斯巴18-N型,它有種各種不同尺寸(0.758in).讀數(shù)裝置是用謝弗爾德(sheffiekd)51C型電子顯示裝置,最小讀數(shù)為0.00001in
14、。電n二口徑可查表獲得曲率半徑數(shù)值(見(jiàn)圖15.5)。如果有圖15.4圖解光線追跡法所得到的樣板數(shù)據(jù),RC為給定的曲率半徑;RC1為凹樣板補(bǔ)償球面半徑;R為凸樣板的補(bǔ)償球面曲率半徑;JT2為相應(yīng)樣板的厚度。下圖為瀝青拋光模具的設(shè)計(jì),瀝青厚度應(yīng)均勻一致。球徑儀數(shù)值。對(duì)任何被測(cè)工件的直徑與的半徑不能在表中得到插補(bǔ)。則用矢高讀數(shù),第十五章球面樣板0.08mm,R/D數(shù)為255.27/101.6,即2.51,表15.1樣板直徑4in曲率半徑10.042inR/D值2.51根據(jù)表查出測(cè)號(hào)10#740條紋/cmA:小數(shù)點(diǎn)移前兩位得7.4B:101.6mm直徑上0.02mm用R/D值可以確定樣板公差(見(jiàn)表15
15、.1)。平均讀數(shù)255.27標(biāo)準(zhǔn)公差255.170.10負(fù)誤差0.080.02負(fù)誤差3=0.02*10.0*7.4=1.5條紋很容易求出透鏡表面的率半徑。這種精密球徑儀在工件經(jīng)過(guò)95號(hào)砂細(xì)磨之后或拋光期間才能使用。當(dāng)用250號(hào)砂初步細(xì)磨表面時(shí)。可以用幾種方法使玻璃元件的曲率半徑變化加快。如果樣板上的細(xì)磨表面太凹,就要把機(jī)床上的研磨件上下顛倒一個(gè)位置,按樣板在下、磨模在上進(jìn)行加工。通常用手工操作,直到曲率半徑達(dá)到正確矢高讀數(shù)的圖15.5帶整套測(cè)環(huán)的斯特雷斯巴18AS型球徑儀0.004in之內(nèi)。如果研磨的半徑太大即讀數(shù)偏小,則用磨模在下面的主軸上而樣板在上面的方法加工。依次用145號(hào)、95號(hào)及50
16、號(hào)砂繼續(xù)細(xì)磨。在用95號(hào)及50號(hào)砂磨時(shí),要用更精密分度的電子顯示裝置來(lái)檢驗(yàn)。有些光學(xué)公司不使用50號(hào)剛玉粉研磨,因?yàn)檫@會(huì)象干泥漿那樣使兩個(gè)光學(xué)元件緊緊粘在一起。這種情況可能發(fā)生在細(xì)磨加工時(shí),實(shí)際上把它們分開并沒(méi)有什么困難,只要把車間用的刀片插入倒角處,然后用牛皮錘敲倒角的邊緣即可。6、拋光與修正面形補(bǔ)償球面粗拋光到大約40%。拋光機(jī)的轉(zhuǎn)速大約為150r/min,同時(shí)以50r/min的擺速與1/3直徑動(dòng)程作擺動(dòng)。補(bǔ)償球面的陡度決定了拋光時(shí)動(dòng)程和轉(zhuǎn)速。下一步要使用硬瀝青膠,拋光模通常過(guò)直徑開兩個(gè)槽,將拋光模分為四個(gè)不等的扇形面。要精確拋光球面樣板時(shí),需要將拋光模開出方格槽(見(jiàn)第三章)。簡(jiǎn)言之,就是
17、在拋光瀝青模上開出0.5in見(jiàn)方的小方格,并且為了使拋光模更好地與工件表面接觸。再用具有更小方格的尼龍或紗窗網(wǎng)格壓出網(wǎng)格。拋光大約20min,確定兩表面是否均勻接觸。如果不均勻,可以進(jìn)行短時(shí)間的手修。手拋時(shí)要保持壓力均勻。接觸良好。在檢驗(yàn)裝置上一起檢驗(yàn)凹凸樣板,并注意條紋的偏差情況。如果有23條條紋是不要緊的,若光圖數(shù)少于一條條紋及塌邊,這已比較好了,在筆記本上記下凹凸樣板的條紋偏差量。用電子球徑儀再測(cè)一次凹樣板,校驗(yàn)球徑讀數(shù)的正確性,但這時(shí)要用更精密的分度讀數(shù)。有些光學(xué)車間沒(méi)有這種球徑儀,可將凹樣板放在光具座上測(cè)量,并在凹樣板上鍍鋁或鍍銀。將樣板放在光具座上測(cè)量時(shí)操作者經(jīng)常拿凸樣板來(lái)拋光,這
18、樣就破壞參考面。而用電子檢驗(yàn)裝置測(cè)量時(shí)操作者可以交替拋光凹凸樣板。在球儀上用精密分度器測(cè)量以前,應(yīng)使它的潛熱達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)的工房溫度,否則會(huì)產(chǎn)生測(cè)量誤差。如果對(duì)凹樣板的檢驗(yàn)有興趣,可以參閱第二十五章,簡(jiǎn)言之,就是檢驗(yàn)者在兩個(gè)位置上讀數(shù)取十次讀數(shù),然后取其平均值。例如一副樣板直徑為101.6mm曲率半徑為255.27mm,誤差為C:記下的初值為凸或正3條條紋基礎(chǔ)光學(xué)工藝基礎(chǔ)光學(xué)工藝第94頁(yè)第94頁(yè)第十五章球面樣板D:需要的總變化為31.5,即為1.5條條紋E:使凸樣板變凹1.5條條紋F:該值減法標(biāo)稱值得到總條紋數(shù)為1.5條條紋(凸條紋)因?yàn)檫@副樣板是在+1.5個(gè)光圈內(nèi),因而凹樣板與凸樣板的吻合間隙將近
19、似為零。粗拋光的凸樣板可以做到0.003in標(biāo)稱公差內(nèi)。表15.2中的特殊實(shí)例說(shuō)明:測(cè)量凹樣板時(shí)凸樣板就不能再加工,這是十分重要的。凸樣板是一個(gè)參考基準(zhǔn),因?yàn)榘紭影迨?1.5個(gè)光圈,必須用拋光使之更凹,即變小半徑來(lái)減少光圈數(shù),做法是將凹樣板在拋光模的頂部拋光,并用1/3直徑的動(dòng)程作擺動(dòng)。表15.2最后移動(dòng)的條紋數(shù)=初始測(cè)量的半徑差例如:4.5條紋二xx變化最后測(cè)量的半徑數(shù)或0.45/0.5xx=0.9條紋0.5mm0.1mm表15.1所列出的數(shù)據(jù)例子是接近公差的,樣板在測(cè)量前其偏差多于10個(gè)(正或負(fù))光圈是常見(jiàn)的。如果凹樣板測(cè)量值為+0.005in可以將拋光模在上而樣板在下進(jìn)行拋光,使凹樣板磨
20、平或磨成更大的曲率半徑。現(xiàn)在有些廠家用電子球儀進(jìn)行檢驗(yàn),精度達(dá)到0.0002mm,還有一些廠家用光具座來(lái)驗(yàn)證這個(gè)公差。在這部分還要通過(guò)圖示來(lái)介紹另一種簡(jiǎn)單方法。根據(jù)光具座上測(cè)量的數(shù)據(jù)而得到比例值。在樣板未達(dá)到規(guī)定公差前,反復(fù)修磨三次以上是常有的事,當(dāng)然,修改過(guò)程中變化可正可負(fù),因此應(yīng)筆記本上隨時(shí)記下以作參考。當(dāng)凹樣板在標(biāo)稱公差范圍內(nèi)時(shí),可以與凸樣板對(duì)檢。必須記住,繼續(xù)修磨凹樣板時(shí)必須凸樣板配合進(jìn)行,但是要想消除兩塊樣板上的局部誤差并使凹樣板滿足公差要求是很費(fèi)時(shí)的。當(dāng)樣板面形質(zhì)量提高時(shí),表面局部誤差變得更顯著。當(dāng)兩塊樣板緊貼在一起出現(xiàn)一片色時(shí),必須控制好拋光熱和手上的熱量。條紋連動(dòng)方向低/接觸點(diǎn)
21、-凹樣板理想接觸占圖15.6用一副樣板的偏移法檢驗(yàn)局部誤差時(shí)總是使用樣板的最佳部分作為參政帶區(qū)要說(shuō)明如何修磨每塊玻璃的缺陷是很困難的,它在很大程度上取決于操作者已有的經(jīng)驗(yàn)。值得注意的是如果邊緣有塌邊,則必須磨掉樣板的整個(gè)表面,直到恢復(fù)開始時(shí)的面形。因?yàn)閽仐l紋走動(dòng)方問(wèn)特羅佩爾(Tropel)公司的立式干涉儀是測(cè)量和檢驗(yàn)凹面鏡面形質(zhì)量的很有用的儀器。它的功能是測(cè)量10cm范圍內(nèi)曲率半徑可以精確到0.01mm。一般凹樣板與凸樣板對(duì)檢時(shí)其面形質(zhì)量應(yīng)在0.1個(gè)圈以內(nèi)。較老的一種方法是將凹樣板的中心偏離凸樣板約1/4直徑,并用相對(duì)來(lái)說(shuō)好的表面貼合在另一面上來(lái)識(shí)別兩表面的組合局部誤差。用手指改變加壓點(diǎn),條紋
22、就會(huì)彎向任意一個(gè)樣板的中心。局部的偏離方向(凹或凸)可以由點(diǎn)頭法及加壓法判斷出來(lái)(見(jiàn)圖15.6)特羅佩爾4000型立式干涉儀示意圖見(jiàn)圖15.7.光樣板時(shí),總是用硬的瀝青膠,許多樣板的塌邊都是由于樣板還未將吸收的熱量散發(fā)出去就開始加工而引起的。較好的實(shí)際解決辦法是將樣板放在拋光模上停幾分種,然后再進(jìn)行修磨加工。加一個(gè)小鉛塊有助于拋光模的成形。同時(shí)要注意不要使瀝青膠上的小方格壓紋消失,壓紋必須始終存在。如果發(fā)現(xiàn)這些槽被壓平,必須用刀片重新開槽,手修一會(huì)兒樣板,然后進(jìn)行均勻拋光,一般可以用拋光模1/3直徑動(dòng)程來(lái)拋去局部凹凸誤差。難以除掉的凹凸誤差往往是由于拋光模瀝青膠面的溝槽旋轉(zhuǎn)不均勻而引起的,如果
23、拋光模中心出現(xiàn)死點(diǎn)則會(huì)引起中心低。基礎(chǔ)光學(xué)工藝基礎(chǔ)光學(xué)工藝第 #頁(yè)第 頁(yè)第十五章球面樣板有些操作者習(xí)慣使用大拇指和中指修正高光圈和翹邊,然后用機(jī)床除去剩下的局部誤差。稀的拋光粉懸浮液優(yōu)于濃的懸浮液,當(dāng)用手指修拋時(shí),必須注意不要觸及其余部分。記住,任何一次拋光以后總是使凹光圈向凸光圈變化。因此凸光圈是不希望存在的,但有些晶體例外,要求保持較高的凸度。樣板的面形質(zhì)量達(dá)到要求后,必須再?gòu)?fù)檢一次凹樣板??赡茉谛薷拿嫘螘r(shí)使曲率半徑越出規(guī)定值,這是樣板之所以價(jià)格高的許多原因中的一個(gè)。一般用金剛石刀在樣板的背面上刻出測(cè)量值。樣板15光強(qiáng)調(diào)節(jié)習(xí)題:1、制造一副直徑2in的樣板,名義半徑為4.025in,誤差1及2個(gè)光圈。2、敘述如何用齊麥爾蒙測(cè)量法檢驗(yàn)樣板。3、觀察樣板光圈的正確距離是多少?4、說(shuō)明樣板補(bǔ)償球面
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