影響半導(dǎo)體工業(yè)最新的法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)

1、影響半導(dǎo)體工業(yè)最新的法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)摘要：本文主要告知讀者影響半導(dǎo)體工業(yè)最新的法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)最新的變革，我們將涵蓋典型的法規(guī)、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家防火協(xié)會(huì)NFPA標(biāo)準(zhǔn)和最近火災(zāi)試驗(yàn)的開(kāi)展情形。關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體工業(yè)建筑法規(guī)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)NFPA標(biāo)準(zhǔn)本文主要告知讀者影響半導(dǎo)體工業(yè)最新的法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)最新的變革，我們將涵蓋典型的法規(guī)、工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)家防火協(xié)會(huì)NFPA標(biāo)準(zhǔn)和最近火災(zāi)試驗(yàn)的開(kāi)展情形。一個(gè)晶圓廠的單位面積建造本錢(qián)不斷創(chuàng)新高。從過(guò)去20年來(lái)發(fā)生第一個(gè)火災(zāi)案例至今，最近五年內(nèi)的災(zāi)例尤其重要。除了近幾年遠(yuǎn)東地區(qū)兩個(gè)干凈室被大火燒毀外，所有被摧毀的仍不是如今干凈室所關(guān)心的話題。大局部新的FAB有裝設(shè)根本的灑水系統(tǒng)來(lái)保護(hù)，過(guò)去也

2、常不定期發(fā)生小火，也很快復(fù)原。雖然今天火災(zāi)很少發(fā)生，但損失都高達(dá)數(shù)千萬(wàn)元。復(fù)原時(shí)間越來(lái)越長(zhǎng)，商機(jī)中斷損失也快速增加。最小的火災(zāi)會(huì)中斷作業(yè)，導(dǎo)致人員疏散。被煙污染的干凈室，可預(yù)見(jiàn)必須清洗人員逃生時(shí)所穿的服裝；也必須清理被煙所污染的零件和設(shè)備；并需重新穩(wěn)定和校正大局部的機(jī)臺(tái)，這些工作都需花數(shù)天來(lái)完成。因此有相當(dāng)多的火災(zāi)法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用在高度管理的半導(dǎo)體工業(yè)，并不令人驚訝。最近很多法規(guī)與標(biāo)準(zhǔn)的變革對(duì)新FAB的建造和已運(yùn)轉(zhuǎn)的新舊FAB產(chǎn)生沖擊，這些更新版本有半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際指引SEI；S14“半導(dǎo)體制造設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與削減平安指引；S2第14節(jié)設(shè)備火災(zāi)防護(hù)；NFAP318干凈室保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)2000年版；被

3、提議新的NFPA建筑法規(guī)；F測(cè)試協(xié)議4910；UL測(cè)試協(xié)議2360和SEATEHESH006方案#98123623A報(bào)告。以下依序介紹之：NFPA建筑法規(guī)NFPA人員將開(kāi)展一致性的建筑法規(guī)當(dāng)作他們所有一致性法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)的一部份，將在2002年發(fā)表一個(gè)推薦構(gòu)造的法規(guī)aPrpsedStruturalde。美國(guó)佛羅里達(dá)州ReedyGreekIprveent行政區(qū)提供他們的EPT建筑法規(guī)來(lái)協(xié)助NFPA開(kāi)展，過(guò)程中會(huì)采納很多專家的意見(jiàn)，也會(huì)和AGAAerianGasAssiatin、IAtheInternatinalAssiatinfPlubingandehanialffiials、FAtheestern

4、FirehiefsAssiatin合作。NFPA318標(biāo)準(zhǔn)從1992年發(fā)表至今，2000年版已于2000年5月17日NFPA年度會(huì)議經(jīng)由會(huì)員投票通過(guò)和承受，以下是更新的重要條文：在標(biāo)準(zhǔn)里并不打算限制新的工業(yè)技術(shù)和功能性替代方法。2-1.2.5節(jié)假設(shè)硅甲烷分配區(qū)離建筑物的間隔 符合規(guī)定，使用自動(dòng)灑水系統(tǒng)AutatiSprinkler保護(hù)該區(qū)是可被承受的。2-1.2.6節(jié)沒(méi)有可燃物構(gòu)造的Plenu、Interstitial和Attis空間里，F(xiàn)ireSprinkler可免裝設(shè)。附錄另外提供如在上述空間發(fā)現(xiàn)所列舉的可燃性材質(zhì)，需裝設(shè)自動(dòng)灑水系統(tǒng)。2-1.2.9.2節(jié)機(jī)臺(tái)連接風(fēng)管處如使用金屬或是認(rèn)證過(guò)

5、的材質(zhì)，此處可以免設(shè)FireSprinkler.3-1.2節(jié)在補(bǔ)充空氣處理器AU和循環(huán)空氣處理單元RAU需裝設(shè)UL900等級(jí)I的過(guò)濾網(wǎng)Filters，例外，如按照2-3節(jié)在最后一個(gè)過(guò)濾器的下游裝設(shè)偵煙器時(shí)，可使用UL900等級(jí)II的過(guò)濾網(wǎng)Filters。3-3.4節(jié)風(fēng)管貫穿防火構(gòu)造，在防火墻兩側(cè)的防火構(gòu)造延伸間隔 ，選擇六呎或兩倍管徑中較大者。3-5-5節(jié)煙排放系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是很復(fù)雜的過(guò)程，需根據(jù)干凈室本身布局和可容忍的火災(zāi)大小及仔細(xì)地整合空氣處理系統(tǒng)與排氣系統(tǒng)。6-4.2節(jié)提供在一個(gè)抽氣的密閉空間內(nèi)硅甲烷的平均濃度圖，及通過(guò)限流孔的硅甲烷流量對(duì)照表。6-6.2節(jié)每當(dāng)容許制程兼容性時(shí)，次大氣壓滲雜

6、氣體系統(tǒng)應(yīng)可用來(lái)取代高壓鋼瓶易燃性氣體系統(tǒng)。7-1.7節(jié)在大量的硅甲烷BulkSilane設(shè)置時(shí)，每一管狀槽車(chē)需有G4形式的泄壓閥。8-4.1和8-4.2節(jié)使用獨(dú)立電子式水加熱器和電子式加熱化學(xué)池Bath需要有接地失效斷路器，溫度控制器，低液位偵測(cè)器，過(guò)熱偵測(cè)器等保護(hù)裝置。8-5節(jié)機(jī)臺(tái)應(yīng)為不可燃。例外1包含所有小零件；例外2經(jīng)表列可以承受的材質(zhì)，可不使用內(nèi)部火災(zāi)偵測(cè)與抑制系統(tǒng)；例外3允許使用像火災(zāi)灑水或偵測(cè)和抑制的其它控制方法。F4910干凈室材質(zhì)易燃性測(cè)試協(xié)議材質(zhì)火災(zāi)危害評(píng)估的指引，系利用三個(gè)小尺寸實(shí)驗(yàn)和一個(gè)大尺寸確認(rèn)實(shí)驗(yàn)。小尺寸實(shí)驗(yàn)裝置包含火災(zāi)產(chǎn)物搜集器和資料估算設(shè)備，這些實(shí)驗(yàn)有點(diǎn)燃實(shí)驗(yàn)、

7、火焰?zhèn)鞑?shí)驗(yàn)、燃燒實(shí)驗(yàn)。根據(jù)三個(gè)小尺寸實(shí)驗(yàn)可求得每一個(gè)材料下述指標(biāo)值：1.火焰?zhèn)鞑ブ笜?biāo)FirePrpagatinIndex，F(xiàn)PI：代表材料外表火焰?zhèn)鞑ト菀着c困難度，F(xiàn)PI值小于等于6表示為非傳播材料。2.煙產(chǎn)生指標(biāo)SkeDevelpentIndex，SDI：此指標(biāo)是FPI與煙產(chǎn)生率相乘的結(jié)果，代表火焰?zhèn)鞑テ陂g預(yù)期煙的釋放率，SDI小于等于0.4表示煙產(chǎn)生量受限制。可上網(wǎng).fglbal.查詢F4910認(rèn)證材質(zhì)。轉(zhuǎn)貼于論文聯(lián)盟.ll.FR全尺寸etBenh火災(zāi)實(shí)驗(yàn)采用PVDF、PV、PV白、PV灰四種聚合物的材質(zhì)來(lái)做全尺寸實(shí)驗(yàn)，PVDF、PV為F4910認(rèn)證的材料，PV白通過(guò)火焰?zhèn)鞑y(cè)試但沒(méi)有通

8、過(guò)煙產(chǎn)生限制測(cè)試，商用PV灰不滿足F4910的要求。結(jié)果顯示非4910的聚合物會(huì)比4910的聚合物多產(chǎn)生710倍的煙灰。其中，中尺寸平行板的火災(zāi)實(shí)驗(yàn)可以得到全尺寸實(shí)驗(yàn)同等級(jí)的測(cè)試結(jié)果，且經(jīng)費(fèi)較節(jié)剩UnderritersLabratriesULUL開(kāi)展一套以nealrieter為根底的測(cè)試方法可以是F4910的另一種選擇，UL2360構(gòu)造半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)的塑料的可燃性特征測(cè)試協(xié)議，塑料材料被分成限制傳播“等級(jí)1和“等級(jí)2及自我傳播“等級(jí)3，定義如下：等級(jí)1：物質(zhì)燃燒且限制火焰?zhèn)鞑?，F(xiàn)PI小于等于4；平行板實(shí)驗(yàn)火焰?zhèn)鞑ラg隔 小于等于呎。等級(jí)2：物質(zhì)燃燒且限制火焰?zhèn)鞑?，F(xiàn)PI小于6；平行板實(shí)驗(yàn)火焰?zhèn)鞑ラg隔

9、 小于8呎。等級(jí)3：物質(zhì)燃燒且傳播火焰，F(xiàn)PI小于12；在測(cè)試的前10分鐘內(nèi)平行板實(shí)驗(yàn)最大火焰?zhèn)鞑ラg隔 小于8呎。SEATEHESH006方案，#98123623A報(bào)告針對(duì)一般etBenh使用的塑料材質(zhì)PP，F(xiàn)RPP，PV和非火焰?zhèn)鞑ゲ馁|(zhì)PV，ETFE，PVDF，提出其與制程化學(xué)品的兼容性測(cè)試協(xié)議，“etBenh塑料材質(zhì)制程兼容性參數(shù)報(bào)告已于1998年12月30日發(fā)表。三種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法用來(lái)決定下面三個(gè)參數(shù)：1.utgassing參數(shù)：從加熱的樣品中去除有機(jī)化合物2.Leahing參數(shù)：藉由UP和znatedUP過(guò)濾離子、元素和所有碳氧化合物。3.Extratin參數(shù)：藉由五種一般使用制程化

10、學(xué)品來(lái)抽出元素。此協(xié)議可供將來(lái)采購(gòu)新機(jī)臺(tái)指引的一部份，參考其構(gòu)成材質(zhì)與制程化學(xué)品的兼容性。可上網(wǎng).seateh.rg下載此份報(bào)告。SEIS14半導(dǎo)體制造設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估與削減平安指引，其主要目的是創(chuàng)造一份因火災(zāi)引起設(shè)備風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估報(bào)告且允許功能性替代方法來(lái)降低和削減這些風(fēng)險(xiǎn)危害。此指引并不適用來(lái)評(píng)估機(jī)臺(tái)外部的起火源也不是用來(lái)保護(hù)人們?；馂?zāi)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估應(yīng)由有資格的團(tuán)體QualifiedParty來(lái)執(zhí)行。根本上火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)因子有三：燃料、起火源、氧化劑，降低或移除任何一個(gè)因子會(huì)降低設(shè)備整體火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)。總結(jié)S14，1提供正式的方法來(lái)評(píng)估各種潛在火災(zāi)危害和其風(fēng)險(xiǎn)；2提供一標(biāo)準(zhǔn)分類的方法和告知使用者風(fēng)險(xiǎn)；3也提供風(fēng)險(xiǎn)

11、降低或削減方法的一些最小要求。SEIS2-0200SEIS2-0200半導(dǎo)體制造設(shè)備平安安康環(huán)保指引取代舊版SEIS2-93A，第14節(jié)火災(zāi)防護(hù)設(shè)備火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)需要評(píng)估和報(bào)告，也需將風(fēng)險(xiǎn)削減納入其中。當(dāng)考慮風(fēng)險(xiǎn)削減時(shí)，建造的材質(zhì)應(yīng)先列入優(yōu)先考慮。就建造的材質(zhì)而言，每當(dāng)可能時(shí)，應(yīng)該使用非可燃性材質(zhì)，第二、選擇是不能傳播火焰的材質(zhì)。這樣的觀念與S14和NFPA318一樣，材質(zhì)的選用根本上是將火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)減至最小，也應(yīng)認(rèn)清其與制程化學(xué)品的兼容性，這點(diǎn)是極重要的。舉例來(lái)說(shuō)削減建造材質(zhì)的危害，可使用非可燃性物質(zhì)的屏障，將點(diǎn)火源與可燃性材質(zhì)隔離，當(dāng)然也可使用偵測(cè)與抑制系統(tǒng)。制程化學(xué)品危害削減應(yīng)考慮用非易燃性化學(xué)品取易燃性化學(xué)品。風(fēng)險(xiǎn)削減也可使用工程控制方法像是連鎖，當(dāng)電力遽增或化學(xué)品溢散可能造成危害時(shí)，連鎖應(yīng)能在偵測(cè)系統(tǒng)或抑制系統(tǒng)不能正常運(yùn)作時(shí)，防止