MEMS若干動力學(xué)問題研究1課件

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室MEMS若干動力學(xué)問題研究振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室上海交通大學(xué)孟光張文明振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室MEMS若干動力學(xué)問題研究振動1概要(Outline)微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室概要(Outline)微機電系統(tǒng)的基本概況振動、沖擊、噪聲21微機電系統(tǒng)的基本概況1.1MEMS基本概念1.2MEMS基本模型1.3MEMS歷史回顧1.4MEMS加工技術(shù)1.5MEMS研究成果1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀1.7 MEMS技術(shù)小結(jié)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1微機電系統(tǒng)的基本概況1.1MEMS基本概念振動、沖擊、31.1MEMS基本概念

微機電系統(tǒng)

MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystems(USA)微系統(tǒng)Mcirosystem (Europe)微型機械

Micromachine (Japan)微科學(xué)

Microscience (Someresearchers)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.1MEMS基本概念微機電系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點41.2MEMS基本模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.2MEMS基本模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室51.3MEMS歷史回顧1947年，科學(xué)家率先發(fā)明半導(dǎo)體晶體管1959年，諾貝爾物理學(xué)獎獲得者Feynman教授發(fā)表著名的MEMS預(yù)言演講‘Thereisplentyofroomatthebottom’1964年，Nathenson研制出第一個批量生產(chǎn)的MEMS設(shè)備resonantgatetransistor1984年，美國加州大學(xué)伯克利分校Howe和Muller利用IC工藝開發(fā)出多晶硅表面微加工技術(shù)，此技術(shù)被譽為MEMS加工技術(shù)的前奏1988年，美國加利福尼亞大學(xué)伯克利分校研制出首臺靜電微電機，標(biāo)志著MEMS時代的來臨振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.3MEMS歷史回顧1947年，科學(xué)家率先發(fā)明半導(dǎo)體晶體61.4MEMS加工技術(shù)

表面微加工技術(shù)薄膜生成技術(shù)；犧牲層技術(shù)體形微加工技術(shù)化學(xué)腐蝕；離子刻蝕

LIGA技術(shù)和SLIGA技術(shù)光刻、電鑄及注塑特種精密機械加工技術(shù)電火花加工；激光加工；光造型加工

固相鍵合技術(shù)

陽極鍵合；Si-Si直接鍵合；玻璃封接鍵合；冷壓焊鍵合振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.4MEMS加工技術(shù)表面微加工技術(shù)振動、沖擊、噪聲國家71.5MEMS研究成果

Firstbatch-fabricatedMEMS（1964）

FirstpolysiliconsurfacemicromachinedMEMSdevice(1984)Firstelectrostaticmicromotor（1988）MEMS歷史上幾個重要的第一次振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.5MEMS研究成果Firstbatch-fabri81.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀軍事國防生物醫(yī)學(xué)環(huán)境保護(hù)工廠維修信息通信交通運輸航空航天

……振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀軍事國防振動、沖擊、噪聲國家重點實驗91.7MEMS技術(shù)小結(jié)MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大技術(shù)整合

微電子、精密加工、傳感器、執(zhí)行器等技術(shù)微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成

在芯片上實現(xiàn)了力、熱、磁、化學(xué)到電的轉(zhuǎn)變MEMS極大地改善了人類生存方式與生活質(zhì)量

大批量、低成本的微傳感器、微熱行器MEMS將會帶動一個充滿活力的產(chǎn)業(yè)迅速成長

不是鋼鐵、汽車、微電子，而是微系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.7MEMS技術(shù)小結(jié)MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大技10概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電112MEMS動力學(xué)問題研究2.1 微尺度效應(yīng)2.2 多能域耦合效應(yīng)2.3 MEMS非線性動力學(xué)問題2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2MEMS動力學(xué)問題研究2.1 微尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪聲122.1微尺度效應(yīng)(Ⅰ)MEMS象征著超小型計算機芯片與微型傳感器、探頭、光學(xué)元件及執(zhí)行器的密切結(jié)合。

Howsmallissmall?振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅰ)MEMS象征著超小型計算機芯片與微132.1微尺度效應(yīng)(Ⅱ)

尺度范圍:微型機械0.01m-0.1mmMEMS0.1mm-0.1μmNEMS100nm-0.1nm振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅱ)尺度范圍:振動、沖擊、噪聲國家重點142.1微尺度效應(yīng)(Ⅲ)S/Vratioshrinkswiththescalefriction>inertiaheatdissipation>heatstorageelectrostaticforce>magneticforceenergycoupling>energyproduction

Importantdecreaseinmanufacturingrelativeaccuracy

Shrinkingworld,changingbehavior

微尺度律振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅲ)S/Vratioshrinks152.1微尺度效應(yīng)(Ⅳ)

自然的靈感:旋轉(zhuǎn)運動慣性矩的大小

I=∫r2dm

微馬達(dá)只需若干分之一秒可達(dá)最高轉(zhuǎn)速；而大馬達(dá)卻需數(shù)秒才能達(dá)到全速振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅳ)自然的靈感:旋轉(zhuǎn)運動慣性矩的大小162.1微尺度效應(yīng)(Ⅴ)

各種驅(qū)動器的尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅴ)各種驅(qū)動器的尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪172.1微尺度效應(yīng)(Ⅵ)

驅(qū)動力的微尺度效應(yīng)

靜電力

電磁力

壓電力

熱動力振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅵ)驅(qū)動力的微尺度效應(yīng)靜電力電磁力182.2多能域耦合效應(yīng)流體、固體等耦合

微泵微閥微型水壓動力驅(qū)動器電、熱、機械等耦合

熱致動器熱傳感器機、電、磁等耦合

梳狀諧振器靜電、電磁微電機等電場力、空氣阻力、機械變形等耦合

微壓電傳感器原子力顯微鏡微梁探針振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.2多能域耦合效應(yīng)流體、固體等耦合振動、沖擊、噪聲國家重192.3MEMS非線性動力學(xué)問題

宏觀非線性：材料特性、幾何特性等微觀非線性：微摩擦、微動磨損、粘附等

固有非線性：初始應(yīng)力、大位移、熱傳輸效應(yīng)等

機械非線性：表面接觸、大變形、非線性阻尼等

多能域耦合非線性：電、磁、熱、光、化學(xué)等振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.3MEMS非線性動力學(xué)問題宏觀非線性：材料特性、幾何202.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅰ)設(shè)計要求系統(tǒng)級縮減級物理級制作級仿真檢驗

建模過程振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅰ)設(shè)計要求系統(tǒng)級縮減級物212.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅱ)

動力學(xué)建模與分析方法

動力學(xué)特性表述方法簡化的微分方程非線性時變偏微分方程動力學(xué)模型微機械雙穩(wěn)態(tài)系統(tǒng)模型非線性電容器模型集中參數(shù)模型彈簧阻尼質(zhì)量系統(tǒng)模型平板電容器模型三維分段線性動力學(xué)模型動力學(xué)分析方法

宏模型建模分析方法 Melnikov方法等效電路方法攝動法非線性解耦分析算法有限單元分析方法等 振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅱ)動力學(xué)建模與分析方法22概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電233微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀3.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)問題3.3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究現(xiàn)狀3.4微旋轉(zhuǎn)機械的實驗檢測振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖243.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀靜電微電機磁感應(yīng)微電機

超聲微電機

電磁微電機步進(jìn)微電機SDA微電機

擺式微電機

微電機(Micromotor)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀靜電微電機磁感應(yīng)微電機超聲微電253.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀微型水壓動力驅(qū)動器微型轉(zhuǎn)子飛機微型Otto循環(huán)發(fā)動機

微型渦輪機微型發(fā)動機微型火箭發(fā)動機

微型燃?xì)鉁u輪發(fā)電機

動力MEMS(PowerMEMS)MEMS渦輪增壓器

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀微型水壓動力驅(qū)動器微型轉(zhuǎn)子飛機微263.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美國噴氣推進(jìn)實驗室(JPL)展示的采用MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機（液體氣化方式）。微推進(jìn)器由薄膜加熱器、微型噴口等組成。其性能目標(biāo)為：比沖75～125s，推力0.5mN，功率<5W，效率≥50%，質(zhì)量為幾克，大小為1cm2。微推進(jìn)器3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美273.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美國噴氣推進(jìn)實驗室(JPL)展示的采用MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進(jìn)器樣機(固體升華方式)。其性能目標(biāo)為：比沖50～75s，推力0.5mN，功率<2W/mN，質(zhì)量為幾克，大小為1cm2。微推進(jìn)器3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美283.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室直徑:1mm高度:1.5mm重量:12.5mg最大轉(zhuǎn)速:18000rpm最大力矩:1.5Nm直徑1mm微馬達(dá)上海交大研制的微馬達(dá)3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室直293.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)問題

微尺度下的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)建模和分析方法微尺度下轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)及非線性特性問題微尺度下轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的摩擦、磨損與潤滑問題轉(zhuǎn)子高速運動及機電耦合非線性動力學(xué)問題轉(zhuǎn)子系統(tǒng)振動測量與控制、穩(wěn)定性分析問題微尺度下的動態(tài)特性測試及可靠性技術(shù)問題

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)問題微尺度下的轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)建模和303.3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究現(xiàn)狀

不同驅(qū)動方式下動力學(xué)特性研究多能域耦合非線性動力特性研究微尺度下動力潤滑特性機理研究超高轉(zhuǎn)速工作轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的穩(wěn)定性微尺度下摩擦磨損動力特性研究轉(zhuǎn)子動力系統(tǒng)特性實驗檢測技術(shù)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究現(xiàn)狀不同驅(qū)動方式下動力學(xué)特性研究振31A.微轉(zhuǎn)子動力學(xué)建模與分析振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室

動力學(xué)模型可變電容三維場模型平行板模型 獨立模塊模型等效電路模型等

分析方法場電路分析方法數(shù)值優(yōu)化算法自動有限元建模方法運動模擬方法重疊單元方法場計算方法等

模擬軟件與系統(tǒng)VHDL--AMS系統(tǒng)建模mTORQUE與MICROTOR仿真Spice與Saber靜電仿真ANSYS多能域仿真等A.微轉(zhuǎn)子動力學(xué)建模與分析振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室32振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室MEMS若干動力學(xué)問題研究振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室上海交通大學(xué)孟光張文明振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室MEMS若干動力學(xué)問題研究振動33概要(Outline)微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室概要(Outline)微機電系統(tǒng)的基本概況振動、沖擊、噪聲341微機電系統(tǒng)的基本概況1.1MEMS基本概念1.2MEMS基本模型1.3MEMS歷史回顧1.4MEMS加工技術(shù)1.5MEMS研究成果1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀1.7 MEMS技術(shù)小結(jié)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1微機電系統(tǒng)的基本概況1.1MEMS基本概念振動、沖擊、351.1MEMS基本概念

微機電系統(tǒng)

MEMS:Micro-Electro-MechanicalSystems(USA)微系統(tǒng)Mcirosystem (Europe)微型機械

Micromachine (Japan)微科學(xué)

Microscience (Someresearchers)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.1MEMS基本概念微機電系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點361.2MEMS基本模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.2MEMS基本模型振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室371.3MEMS歷史回顧1947年，科學(xué)家率先發(fā)明半導(dǎo)體晶體管1959年，諾貝爾物理學(xué)獎獲得者Feynman教授發(fā)表著名的MEMS預(yù)言演講‘Thereisplentyofroomatthebottom’1964年，Nathenson研制出第一個批量生產(chǎn)的MEMS設(shè)備resonantgatetransistor1984年，美國加州大學(xué)伯克利分校Howe和Muller利用IC工藝開發(fā)出多晶硅表面微加工技術(shù)，此技術(shù)被譽為MEMS加工技術(shù)的前奏1988年，美國加利福尼亞大學(xué)伯克利分校研制出首臺靜電微電機，標(biāo)志著MEMS時代的來臨振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.3MEMS歷史回顧1947年，科學(xué)家率先發(fā)明半導(dǎo)體晶體381.4MEMS加工技術(shù)

表面微加工技術(shù)薄膜生成技術(shù)；犧牲層技術(shù)體形微加工技術(shù)化學(xué)腐蝕；離子刻蝕

LIGA技術(shù)和SLIGA技術(shù)光刻、電鑄及注塑特種精密機械加工技術(shù)電火花加工；激光加工；光造型加工

固相鍵合技術(shù)

陽極鍵合；Si-Si直接鍵合；玻璃封接鍵合；冷壓焊鍵合振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.4MEMS加工技術(shù)表面微加工技術(shù)振動、沖擊、噪聲國家391.5MEMS研究成果

Firstbatch-fabricatedMEMS（1964）

FirstpolysiliconsurfacemicromachinedMEMSdevice(1984)Firstelectrostaticmicromotor（1988）MEMS歷史上幾個重要的第一次振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.5MEMS研究成果Firstbatch-fabri401.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀軍事國防生物醫(yī)學(xué)環(huán)境保護(hù)工廠維修信息通信交通運輸航空航天

……振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.6MEMS應(yīng)用現(xiàn)狀軍事國防振動、沖擊、噪聲國家重點實驗411.7MEMS技術(shù)小結(jié)MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大技術(shù)整合

微電子、精密加工、傳感器、執(zhí)行器等技術(shù)微小型化、智能化、集成化、高可靠性MEMS能夠完成真正意義上的微小型系統(tǒng)集成

在芯片上實現(xiàn)了力、熱、磁、化學(xué)到電的轉(zhuǎn)變MEMS極大地改善了人類生存方式與生活質(zhì)量

大批量、低成本的微傳感器、微熱行器MEMS將會帶動一個充滿活力的產(chǎn)業(yè)迅速成長

不是鋼鐵、汽車、微電子，而是微系統(tǒng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室1.7MEMS技術(shù)小結(jié)MEMS是人類科技發(fā)展過程一次重大技42概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電432MEMS動力學(xué)問題研究2.1 微尺度效應(yīng)2.2 多能域耦合效應(yīng)2.3 MEMS非線性動力學(xué)問題2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2MEMS動力學(xué)問題研究2.1 微尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪聲442.1微尺度效應(yīng)(Ⅰ)MEMS象征著超小型計算機芯片與微型傳感器、探頭、光學(xué)元件及執(zhí)行器的密切結(jié)合。

Howsmallissmall?振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅰ)MEMS象征著超小型計算機芯片與微452.1微尺度效應(yīng)(Ⅱ)

尺度范圍:微型機械0.01m-0.1mmMEMS0.1mm-0.1μmNEMS100nm-0.1nm振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅱ)尺度范圍:振動、沖擊、噪聲國家重點462.1微尺度效應(yīng)(Ⅲ)S/Vratioshrinkswiththescalefriction>inertiaheatdissipation>heatstorageelectrostaticforce>magneticforceenergycoupling>energyproduction

Importantdecreaseinmanufacturingrelativeaccuracy

Shrinkingworld,changingbehavior

微尺度律振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅲ)S/Vratioshrinks472.1微尺度效應(yīng)(Ⅳ)

自然的靈感:旋轉(zhuǎn)運動慣性矩的大小

I=∫r2dm

微馬達(dá)只需若干分之一秒可達(dá)最高轉(zhuǎn)速；而大馬達(dá)卻需數(shù)秒才能達(dá)到全速振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅳ)自然的靈感:旋轉(zhuǎn)運動慣性矩的大小482.1微尺度效應(yīng)(Ⅴ)

各種驅(qū)動器的尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅴ)各種驅(qū)動器的尺度效應(yīng)振動、沖擊、噪492.1微尺度效應(yīng)(Ⅵ)

驅(qū)動力的微尺度效應(yīng)

靜電力

電磁力

壓電力

熱動力振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.1微尺度效應(yīng)(Ⅵ)驅(qū)動力的微尺度效應(yīng)靜電力電磁力502.2多能域耦合效應(yīng)流體、固體等耦合

微泵微閥微型水壓動力驅(qū)動器電、熱、機械等耦合

熱致動器熱傳感器機、電、磁等耦合

梳狀諧振器靜電、電磁微電機等電場力、空氣阻力、機械變形等耦合

微壓電傳感器原子力顯微鏡微梁探針振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.2多能域耦合效應(yīng)流體、固體等耦合振動、沖擊、噪聲國家重512.3MEMS非線性動力學(xué)問題

宏觀非線性：材料特性、幾何特性等微觀非線性：微摩擦、微動磨損、粘附等

固有非線性：初始應(yīng)力、大位移、熱傳輸效應(yīng)等

機械非線性：表面接觸、大變形、非線性阻尼等

多能域耦合非線性：電、磁、熱、光、化學(xué)等振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.3MEMS非線性動力學(xué)問題宏觀非線性：材料特性、幾何522.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅰ)設(shè)計要求系統(tǒng)級縮減級物理級制作級仿真檢驗

建模過程振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅰ)設(shè)計要求系統(tǒng)級縮減級物532.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅱ)

動力學(xué)建模與分析方法

動力學(xué)特性表述方法簡化的微分方程非線性時變偏微分方程動力學(xué)模型微機械雙穩(wěn)態(tài)系統(tǒng)模型非線性電容器模型集中參數(shù)模型彈簧阻尼質(zhì)量系統(tǒng)模型平板電容器模型三維分段線性動力學(xué)模型動力學(xué)分析方法

宏模型建模分析方法 Melnikov方法等效電路方法攝動法非線性解耦分析算法有限單元分析方法等 振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室2.4 動力學(xué)建模和模擬分析方法(Ⅱ)動力學(xué)建模與分析方法54概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電系統(tǒng)的基本概況MEMS動力學(xué)問題研究微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究若干動力學(xué)問題的研究MEMS動力學(xué)研究展望概要(Outline)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室微機電553微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀3.2微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)動力學(xué)問題3.3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究現(xiàn)狀3.4微旋轉(zhuǎn)機械的實驗檢測振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3微轉(zhuǎn)子動力學(xué)問題研究3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖563.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀靜電微電機磁感應(yīng)微電機

超聲微電機

電磁微電機步進(jìn)微電機SDA微電機

擺式微電機

微電機(Micromotor)振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀靜電微電機磁感應(yīng)微電機超聲微電573.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀微型水壓動力驅(qū)動器微型轉(zhuǎn)子飛機微型Otto循環(huán)發(fā)動機

微型渦輪機微型發(fā)動機微型火箭發(fā)動機

微型燃?xì)鉁u輪發(fā)電機

動力MEMS(PowerMEMS)MEMS渦輪增壓器

振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室3.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀微型水壓動力驅(qū)動器微型轉(zhuǎn)子飛機微583.1微旋轉(zhuǎn)機械的研究現(xiàn)狀振動、沖擊、噪聲國家重點實驗室美國噴氣推進(jìn)實驗室(JPL)展示的采用MEMS技術(shù)的電阻電熱式微推進(jìn)