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文檔簡介
元素半導體材料1第一頁,共三十二頁,2022年,8月28日自然界沒有游離的Si元素,均以氧化物(SiO2)或硅酸鹽等化合物狀態(tài)存在。Si在常溫下不溶于單一的強酸,易溶于堿。高溫下,與H2、鹵素、N2、S和熔融金屬發(fā)生反應,分別生成SiH4、SiCl4、Si3N4、SiS2等和多種金屬硅化合物。Si與Ge可以任意比例形成SiGe固溶體而與C則形成共價化合物。2第二頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.2晶體結構和能帶金剛石型a=0.5430710nm大間距晶面的面間距為0.3135nm,小間距晶面的面間距為0.0784nm。3第三頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.3電學性質(zhì)(1)帶隙和本征載流子濃度4第四頁,共三十二頁,2022年,8月28日導帶態(tài)密度常數(shù)Nc價帶態(tài)密度常數(shù)Nv5第五頁,共三十二頁,2022年,8月28日Si的本征載流子濃度:6第六頁,共三十二頁,2022年,8月28日(2)電阻率Si的本征電阻率室溫時,Si的n=1500cm2/(V·s),p=450cm2/(V·s),ni=1.07×1010cm-3Si的本征電阻率為2.99×105Ω·cm7第七頁,共三十二頁,2022年,8月28日摻B濃度為NB時,p型單晶Si電阻率ρ為:8第八頁,共三十二頁,2022年,8月28日摻P濃度為NP時,n型單晶Si電阻率ρ為:9第九頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.4光學性質(zhì)10第十頁,共三十二頁,2022年,8月28日11第十一頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.5Si中的雜質(zhì)n型摻雜劑——P、As、Sbp型摻雜劑——B輕元素雜質(zhì)——O、C、N、H金屬雜質(zhì)——Fe、Cu、Ni等12第十二頁,共三十二頁,2022年,8月28日13第十三頁,共三十二頁,2022年,8月28日14第十四頁,共三十二頁,2022年,8月28日15第十五頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.6Si中的缺陷(1).原生缺陷——本征缺陷空位和自間隙;(2).二次缺陷——工藝誘生缺陷(3).外延材料中的缺陷位錯、外延堆垛層錯、微缺陷(霧狀)、棱錐半導體單晶中的缺陷位錯:一方面,吸引其周圍點缺陷,增加少子壽命一方面,晶格畸變增大,使載流子復合,少子壽命減小刃位錯:懸掛鍵,受主能級16第十六頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.1.7Si的力學和熱學性質(zhì)容易解理;在100-1000K溫度范圍,Si的熱導率k為:17第十七頁,共三十二頁,2022年,8月28日18第十八頁,共三十二頁,2022年,8月28日19第十九頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.2鍺1886年,德國科學家溫克萊爾(WinklerCA)首先從銀硫鍺礦(Ag8GeS6)中分離出Ge;Ge在地殼中的豐度僅為1.3~4×10-6。2.2.1化學性質(zhì)Ge有5個穩(wěn)定的同位素:
Ge70(20.4%)、Ge72(27.4%)、Ge73(7.8%)、Ge74(36.6%)、Ge76(7.8%)。室溫時,Ge在空氣、水和氧氣中穩(wěn)定,不與鹽酸、稀硫酸、濃氫氟酸和濃NaOH溶液發(fā)生反應。Ge可溶解在3%H2O2溶液中并形成GeO2沉淀;Ge不與C起反應。20第二十頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.2.2物理性質(zhì)金剛石結構晶格常數(shù)——0.565790nm密度——5.3234g/cm3(比色法)5.324264g/cm3(X射線法)石墨金剛石21第二十一頁,共三十二頁,2022年,8月28日22第二十二頁,共三十二頁,2022年,8月28日23第二十三頁,共三十二頁,2022年,8月28日24第二十四頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.3金剛石純凈的金剛石化學性質(zhì)穩(wěn)定,耐酸、耐腐蝕,高溫下也不與濃氫氟酸、硝酸和HClO3發(fā)生反應;只在Na2CO3、NaNO3、KNO3的溶體中或與K2Cr2O7和濃硫酸混合液一起煮沸時才可被腐蝕。25第二十五頁,共三十二頁,2022年,8月28日26第二十六頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.4硒和碲3.4.1硒硒在地殼中的豐度為5×10-6%(質(zhì)量比);它有六個穩(wěn)定的同位素:
Se74(0.89%)、Se76(9.36%)、Se77(7.63%)、Se78(23.77%)、Se80(49.61%)、Se82(8.74%)27第二十七頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.4.2碲Te在地殼中的豐度為0.01×10-6。28第二十八頁,共三十二頁,2022年,8月28日29第二十九頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.5磷、硼和灰錫3.5.1磷黑磷和紅磷具有半導體性質(zhì),室溫下帶隙分別為0.34eV和1.5eV。30第三十頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.5.2硼B(yǎng)有兩種穩(wěn)定的同位素:10B(19.9%)、11B(19.9%)31第三十一頁,共三十二頁,2022年,8月28日3.5.3灰錫灰錫有三種同素異構體:α
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