中華人民共和國(guó)電子行業(yè)軍用標(biāo)準(zhǔn)硅外延片

中華人民共和國(guó)電子行業(yè)軍用標(biāo)準(zhǔn)微波功率晶體管用硅外延片規(guī)范SJ20514-1995Specificationforsiliconepitaxialwareformicrowavepowertransistor1范圍1.1主題內(nèi)容本規(guī)范規(guī)定了微波功率晶體管用硅外延片的要求、質(zhì)量保證規(guī)定和交貨準(zhǔn)備及有關(guān)規(guī)則。1.2適用范圍本規(guī)范適用于微波功率晶體管用直徑為38mm以上的同質(zhì)硅外延片，其它半導(dǎo)體分立器件同質(zhì)硅外延片也可參照采用。1.3牌號(hào)硅外延片牌號(hào)由下列五部分組成：J一口一Sim口一口1 2 3 4 5第1部分用漢語(yǔ)拼音字母“J”表示軍用；第2部分用英文縮寫字母表示外延方法；第3部分用元素符號(hào)“Si”表示硅材料；第4部分表示外延片結(jié)構(gòu)；第5部分表示晶向。示例1：J—VPE—Si—n/n+〈111〉表示在〈111〉晶向的n+型襯底上生長(zhǎng)n型外延層的硅汽相外延片。示例2：J—VPE—Si—nn/n/n—〈111〉表示〈111〉晶向的n+襯底上先生長(zhǎng)n層再生長(zhǎng)n層的硅汽相外延片。2引用文件GB6617--86硅片電阻率的擴(kuò)展電阻探針測(cè)試方法GB6624--86硅單晶拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法GB12962—9l硅單晶GB12964--91硅單晶拋光片GB/T14264—93半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)GJB179--86 計(jì)數(shù)抽樣檢查程序及表SJ1550--79 硅外延片檢測(cè)方法SJ1551—79 硅外延層電阻率測(cè)試方法(電容一電壓法)3要求襯底襯底應(yīng)符合GB12962和GB12964的要求，晶向及晶向偏離按合同規(guī)定。性能3.2.1缺陷外延片缺陷的定義見GB/T14264，其最大允許限度應(yīng)符合表1的規(guī)定。①38mm、①50mm外延片周邊2mm環(huán)形區(qū)，①75mm、①100mm外延片周邊3mm環(huán)形區(qū)內(nèi)為免檢區(qū)，但崩邊和翹邊除外。表l外延片缺陷限度序號(hào)缺陷名稱最大允許限度l位錯(cuò)個(gè)數(shù)1)IO/cm22堆垛層錯(cuò)個(gè)數(shù)15/cm23滑移線3條，總長(zhǎng)度不大于硅片直經(jīng)4大點(diǎn)狀缺陷2)硅片直經(jīng) 個(gè)數(shù)

mm38l50275310055點(diǎn)狀缺陷2）硅片直經(jīng)個(gè)數(shù)mm383505751010020638l501凹坑75210037戈H道無(wú)8桔皮無(wú)續(xù)表1序號(hào)缺陷名稱最大允許限度9、丄朋邊無(wú)10翹邊邊緣凸起不得超過1/3外延層厚度II霧無(wú)12表面沾污無(wú)13背面沾污無(wú)注：1）滑移線上位錯(cuò)不計(jì)入位錯(cuò)數(shù)。2）點(diǎn)狀缺陷包括打、粘附的微粒、凸起物、夾雜物、小丘、棱錐和蝕坑。

3.2.2厚度外延層厚度按合同規(guī)定。3.2.3厚度均勻性若無(wú)其它規(guī)定，外延層厚度變化率應(yīng)不大于5%。外延層厚度均勻性由中心點(diǎn)及平行和垂直于主參考面的兩條直徑上距圓周為R/3處的厚度測(cè)量值決定，按式(1)確定:孌化聿=孌化聿=式中：加k 所測(cè)厚度的最大值，卩m； 所測(cè)得厚度的最小值，umo3.2.4載流子濃度外延層載流子濃度按合同規(guī)定。3.2.5凈載流子濃度均勻性若無(wú)其它規(guī)定，當(dāng)凈載流子濃度N^lX10i5cm-3時(shí)，外延層濃度變化率應(yīng)不大于10%,而當(dāng)濃度NVlX10i5cm-3時(shí)，變化率應(yīng)不大于15%。片內(nèi)經(jīng)向凈載流子濃度變化由中心點(diǎn)及平行和垂直于主參考面的兩條直經(jīng)上距圓周R/3處的測(cè)量值決定，按式(2)確定：?jiǎn)驶?叫-％)劉叱式中：甌3K 所測(cè)濃度的最大值，cm-30 所測(cè)得濃度的最小值，cm-3。3.2.6縱向凈載流子濃度分布外延層縱向凈載流子濃度分布模式按合同規(guī)定。4質(zhì)量保證規(guī)定4.1檢驗(yàn)責(zé)任除合同或訂單中另有規(guī)定外，承制方應(yīng)負(fù)責(zé)完成本規(guī)范規(guī)定的所有檢驗(yàn)。必要時(shí)，定購(gòu)方或上級(jí)鑒定機(jī)構(gòu)有權(quán)對(duì)規(guī)范所術(shù)的任一檢驗(yàn)項(xiàng)目進(jìn)行檢查。4.1.1合格責(zé)任所有產(chǎn)品必須符合本規(guī)范第3章和第5章的所有要求。本規(guī)范中規(guī)定的檢驗(yàn)應(yīng)成為承制方整個(gè)檢驗(yàn)體系或質(zhì)量大綱的一個(gè)組成部分。若合同中包括本規(guī)范未規(guī)定的檢驗(yàn)要求，承制方還應(yīng)保證所提交驗(yàn)收的產(chǎn)品符合合同要求。質(zhì)量一致性抽樣不允許提交明知有缺陷的產(chǎn)品，也不能要求訂購(gòu)方接收有缺陷的產(chǎn)品。4.2檢驗(yàn)分類本規(guī)范規(guī)定的檢驗(yàn)分為：a．試制檢驗(yàn)；b．質(zhì)量一致性檢驗(yàn)。4.3檢驗(yàn)條件除非另有規(guī)定，各項(xiàng)檢驗(yàn)均在下列環(huán)境條件下進(jìn)行：溫度：25±3°C；相對(duì)濕度：不大于65%；大氣壓力：86?106kPa。4.4試制檢驗(yàn)4.4.1試制樣本根據(jù)本規(guī)范進(jìn)行檢驗(yàn)的試制樣本應(yīng)能代表隨后生產(chǎn)的產(chǎn)品，并應(yīng)符合本規(guī)范規(guī)定的所有要求。4.4.2抽樣試制檢驗(yàn)的抽樣由訂購(gòu)方規(guī)定。必要時(shí)，由承制方和訂購(gòu)方共同抽取。4.4.3檢驗(yàn)地點(diǎn)除非另有規(guī)定，試制檢驗(yàn)的地點(diǎn)應(yīng)是有關(guān)主管部門認(rèn)可的試驗(yàn)室或檢測(cè)中心。4.4.4判據(jù)除非另有規(guī)定，試制檢驗(yàn)應(yīng)取適量的樣本按規(guī)范表2規(guī)定的全部檢驗(yàn)項(xiàng)目進(jìn)行檢驗(yàn)，不允許出現(xiàn)不合格項(xiàng)目。4.5質(zhì)量一致性檢驗(yàn)4.5.1檢驗(yàn)批的組成一個(gè)檢驗(yàn)批應(yīng)由相同牌號(hào)、相同規(guī)格、在基本相同的條件下生產(chǎn)、并在同一時(shí)間內(nèi)提交檢驗(yàn)的外延片組成。4.5.2質(zhì)量一致性檢驗(yàn)表格質(zhì)最一致性檢驗(yàn)應(yīng)按GJB179—次抽樣方案進(jìn)行。檢驗(yàn)項(xiàng)目、檢驗(yàn)方法及可接受質(zhì)量水平(AQL)應(yīng)符合表2的規(guī)定。當(dāng)合同另有規(guī)定時(shí)按合同執(zhí)行。表2質(zhì)量一致性檢驗(yàn)項(xiàng)目要求的章條號(hào)檢驗(yàn)方法的章條號(hào)檢查水平可按收受質(zhì)量水平(AQL)缺陷3.2.1表14.7.11.0厚度3.2.24.7.26.5厚度均勻性3.2.34.7.26.5載流子濃度3.2.44.7.36.5凈裁流子濃度3.2.54.7.36.5均勻性II縱向載流子濃度分布3.2.64.7.46.54.5.3不合格按表2所列各檢驗(yàn)項(xiàng)目全部合格的檢驗(yàn)批為合格批。若有任何一項(xiàng)檢驗(yàn)不合格則該批為不合格。4.5.4批的再提交如果某一檢驗(yàn)批被拒收，承制方可以剔除所有不合格品后重新進(jìn)行檢驗(yàn)。重新交付的檢驗(yàn)批應(yīng)與正常批分開，并應(yīng)清楚地標(biāo)明“重新檢驗(yàn)批”重新提交的批應(yīng)采用加嚴(yán)檢查方案。如仍有不合格的項(xiàng)目則該檢驗(yàn)批為不合格。4.6包裝檢驗(yàn)用目視法進(jìn)行本規(guī)范第5章規(guī)定的包裝和標(biāo)志檢驗(yàn)。任一運(yùn)輸包裝箱不符合第5章的要求時(shí)應(yīng)拒收。4.7檢驗(yàn)方法4.7.1缺陷的檢驗(yàn)：位錯(cuò)和堆垛層錯(cuò)密度的檢驗(yàn)按SJ1550第3章方法進(jìn)行。翹邊檢驗(yàn)方法按合同規(guī)定。表l所列其它缺陷的檢驗(yàn)按GB6624規(guī)定進(jìn)行。大點(diǎn)狀缺陷采用大面積散射光源，點(diǎn)狀缺陷采用高強(qiáng)度狹束光源。4.7.2厚度及其均勻性檢驗(yàn)按SJ1550第2章方法進(jìn)行。4.7.3凈載流解子濃度及其均勻性檢驗(yàn)按SJ1551方法進(jìn)行。4.7.4縱向載流子濃度分布檢驗(yàn)按GB6617方法進(jìn)行。5交貨準(zhǔn)備5.1包裝5.1.1內(nèi)包裝硅外延片應(yīng)豎直、分立放置于塑料盒內(nèi)，表面同向，防止沾污和振動(dòng)，確保傳遞和貯存時(shí)不造成污損。每個(gè)盒外側(cè)應(yīng)帖標(biāo)識(shí)，注明產(chǎn)品牌號(hào)、外延層厚度和載流子濃度、數(shù)量、生產(chǎn)批號(hào)及合同號(hào)。5.1.2外包裝將裝有硅外延片的若干個(gè)盒裝入箱內(nèi)，周圍用軟質(zhì)填充料填充，使盒體在箱內(nèi)不能自由移動(dòng)。放入裝箱單和合格證書后加蓋固封。包裝箱應(yīng)有足夠強(qiáng)度，不易變形。5.2運(yùn)輸和貯存產(chǎn)品在運(yùn)輸過器中應(yīng)防止化學(xué)物質(zhì)腐蝕，碰撞和受潮。產(chǎn)品應(yīng)貯存在干燥、潔凈的環(huán)境中。5.3標(biāo)志每一包裝箱外應(yīng)注明：a．制造廠名稱；b．產(chǎn)品名稱；c．?dāng)?shù)量；d．合同號(hào)；e．出廠日期；f．防震、防潮、防壓標(biāo)記6說明事項(xiàng)6.1預(yù)定用途本規(guī)范規(guī)定的硅外延片預(yù)定用