2021年全球和中國(guó)離子注入機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀分析

2021年全球和中國(guó)離子注入機(jī)發(fā)展現(xiàn)狀分析一、離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)地位及概述1、產(chǎn)業(yè)定位離子注入機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域，半導(dǎo)體領(lǐng)域中屬于晶圓制造設(shè)備，主要用于晶圓制造流程中的注入（摻雜）工序，主要方式和目的是通過(guò)加入少量雜質(zhì)使得原本導(dǎo)電性能很差的純凈硅變?yōu)橐环N有用的半導(dǎo)體。通過(guò)離子注入機(jī)的加速和引導(dǎo)，將需摻雜離子以離子束形式入射到材料中去，發(fā)生一系列理化反應(yīng)從而優(yōu)化材料表面性能。2、分類狀況離子注入相較以往的高溫?zé)釘U(kuò)散法存在精確控制能量和劑量、均勻性好、純度高等優(yōu)點(diǎn)，已基本取代高溫?zé)釘U(kuò)散法成為主流工藝。根據(jù)離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機(jī)分為低能大束流離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)和中低束離子注入機(jī)，應(yīng)用存在區(qū)別，如高能離子注入機(jī)因電子束能量較高，主要用于深埋層。二、國(guó)內(nèi)離子注入機(jī)政策背景在中美持續(xù)對(duì)弈、中方政策高度重視、國(guó)有基金資金助力的情況下，離子注入機(jī)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在加速到來(lái)。由于離子注入機(jī)在集成電路制造前道設(shè)備中的不可替代性和目前被美日龍頭企業(yè)壟斷的市場(chǎng)現(xiàn)狀，我國(guó)在政策上對(duì)離子注入機(jī)重視程度較高，在多項(xiàng)政策中將離子注入機(jī)的研發(fā)列為戰(zhàn)略發(fā)展目標(biāo)。三、全球半導(dǎo)體設(shè)備整體現(xiàn)狀下游消費(fèi)電子需求回暖，疊加汽車電子產(chǎn)業(yè)快速擴(kuò)張，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度高漲帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張，數(shù)據(jù)顯示，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1026.4億美元，經(jīng)歷了2019年產(chǎn)業(yè)的整體萎縮，產(chǎn)業(yè)回彈規(guī)模更快。細(xì)分產(chǎn)品類型而言，晶圓制造設(shè)備種類眾多且技術(shù)壁壘深厚，如光刻機(jī)等產(chǎn)品價(jià)格極高，是半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，相較2020年結(jié)構(gòu)（晶圓制造設(shè)備占比84%、封裝和測(cè)試分別占比9%和6%），封裝設(shè)備因銷售額同比增長(zhǎng)87%左右，遠(yuǎn)高于晶圓設(shè)備增速（44%）和測(cè)試設(shè)備（30%），占比提升至12%左右。離子注入機(jī)屬于半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵設(shè)備，占比晶圓制造設(shè)備價(jià)值量4-6%左右。四、全球離子注入機(jī)現(xiàn)狀1、市場(chǎng)規(guī)模隨著下游消費(fèi)電子領(lǐng)域回升和汽車電子等需求持續(xù)增長(zhǎng)，2020-2021年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度回升，離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)?？焖贁U(kuò)張，2019年達(dá)18億美元左右，根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備總體規(guī)模變化情況預(yù)測(cè)，預(yù)計(jì)2021年全球離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)30億美元，2022年上半年來(lái)看，主要晶圓廠訂單減少，預(yù)計(jì)整體半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域增長(zhǎng)將降速，離子注入機(jī)需求增長(zhǎng)有限。2、市場(chǎng)結(jié)構(gòu)目前，全球離子注入機(jī)仍以大束流離子注入機(jī)為主，數(shù)據(jù)顯示，大束流離子注入機(jī)占全部離子注入機(jī)市場(chǎng)份額的61%，中低束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)分別占比20%和18%。五、中國(guó)離子注入機(jī)現(xiàn)狀1、市場(chǎng)規(guī)模2016年中國(guó)離子注入機(jī)的市場(chǎng)規(guī)模約為23.22億元，2020年增長(zhǎng)至44.53億元，年復(fù)合增長(zhǎng)率為17.68%，近3年復(fù)合增長(zhǎng)率為28.23%。從過(guò)去市場(chǎng)表現(xiàn)來(lái)看，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)規(guī)模增速均高于行業(yè)增速，未來(lái)隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠加速擴(kuò)張，對(duì)離子注入機(jī)的采購(gòu)需求將隨之快速增長(zhǎng)，中國(guó)市場(chǎng)有望持續(xù)領(lǐng)跑全球增速。2、進(jìn)出口目前高端集成電路離子注入機(jī)仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口，就數(shù)量而言，進(jìn)口和出口整體皆表現(xiàn)為穩(wěn)步增長(zhǎng)趨勢(shì)，進(jìn)口增速略高于出口增速，尤其2021年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)也需求大幅度上升背景下，離子注入機(jī)進(jìn)口量增加154臺(tái)，進(jìn)口金額增長(zhǎng)48.5%至9.13億美元，出口而言雖然出口量有所上升，但產(chǎn)品主要為中低端產(chǎn)品，對(duì)比進(jìn)出口均價(jià)而言，單臺(tái)離子注入機(jī)進(jìn)口均價(jià)是出口均價(jià)的40倍以上。3、進(jìn)口來(lái)源地就我國(guó)離子注入機(jī)進(jìn)口來(lái)源分布而言，美國(guó)是最大供給國(guó)，數(shù)據(jù)顯示2021年我國(guó)從美國(guó)進(jìn)口234臺(tái)離子注入機(jī)，金額達(dá)6.11億美元，除此之外，日韓等半導(dǎo)體發(fā)展較快的發(fā)達(dá)國(guó)家也是進(jìn)口關(guān)鍵來(lái)源國(guó)，分別從日本和韓國(guó)進(jìn)口74和35臺(tái)。六、離子注入機(jī)競(jìng)爭(zhēng)格局全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及Axcelis、等企業(yè)，前者占據(jù)了70%左右的市場(chǎng)份額，而后者則占據(jù)了20%左右的市場(chǎng)份額。日本也擁