標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 14601-2009 電子工業(yè)用氣體 氨》與《GB/T 14601-1993 電子工業(yè)用氣體 高純氨》相比,主要在以下幾個方面進行了調(diào)整和更新:
-
范圍擴展:2009版標(biāo)準(zhǔn)不僅涵蓋了高純度氨氣的要求,還對不同級別電子工業(yè)用氨氣的規(guī)格和測試方法進行了詳細(xì)規(guī)定,以適應(yīng)電子工業(yè)發(fā)展的多樣化需求。
-
技術(shù)指標(biāo)提升:新標(biāo)準(zhǔn)對氨氣的純度要求更加嚴(yán)格,特別是對于微量雜質(zhì)含量的限制,反映了電子工業(yè)對氣體質(zhì)量控制的高標(biāo)準(zhǔn),以確保半導(dǎo)體和其他精密電子產(chǎn)品制造的質(zhì)量和性能。
-
檢測方法改進:隨著分析技術(shù)的進步,2009版標(biāo)準(zhǔn)引入了更先進的檢測手段和分析方法,提高了檢測精度和效率,確保了測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
-
增加了規(guī)范性引用文件:為了與國際標(biāo)準(zhǔn)接軌并確保技術(shù)內(nèi)容的先進性,新標(biāo)準(zhǔn)引用了更多最新發(fā)布的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn),為產(chǎn)品質(zhì)量控制提供了更為堅實的理論基礎(chǔ)。
-
包裝、標(biāo)志、運輸和儲存要求更新:考慮到安全和環(huán)保要求的提高,2009版標(biāo)準(zhǔn)對氨氣的包裝材料、標(biāo)識信息、安全運輸及儲存條件提出了更具體和嚴(yán)格的規(guī)定,以減少事故風(fēng)險,保護操作人員健康和環(huán)境安全。
-
術(shù)語和定義明確化:新標(biāo)準(zhǔn)對相關(guān)術(shù)語和定義進行了修訂和補充,使得標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容表述更加清晰,便于理解和執(zhí)行。
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2009-10-30 頒布
- 2010-05-01 實施



文檔簡介
犐犆犛71.100.20
犌86
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
犌犅/犜14601—2009
代替GB/T14601—1993
電子工業(yè)用氣體氨
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犃犿犿狅狀犻犪
20091030發(fā)布20100501實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
書
犌犅/犜14601—2009
前言
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T14601—1993《電子工業(yè)用氣體氨》。
本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T14601—1993相比主要變化如下:
———修改標(biāo)準(zhǔn)的名稱;
———修改適用范圍(GB/T14601—1993的第1章,本版的第1章);
———修改規(guī)范性引用文件(GB/T14601—1993的第2章,本版的第2章);
———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容(GB/T14601—1993的第3章,本版的第3章);
———增加對氨尾氣處理的要求(見4.3);
———刪去按GB5831規(guī)定的方法測定氧含量(GB/T14601—1993的4.2.1);
———修改氧、氮、一氧化碳含量的測定(GB/T14601—1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);
———增加氫、氬含量的測定(見4.4);
———增加二氧化碳含量的測定(見4.4);
———修改烴含量的測定(GB/T14601—1993的4.5,本版的4.4);
———修改水含量的測定方法(GB/T14601—1993的4.6,本版的4.5);
———增加金屬離子的測定方法(見4.6);
———修改標(biāo)志、包裝、貯運及安全(GB/T14601—1993的第6章、第7章,本版的第5章);
———增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦放電離子化氣相色譜法測定氨中的氫、氧(氬)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烴(C1~C3)含量組分的方法寫入該附錄(見附錄A)。
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為規(guī)范性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分會歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有
限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T14601—1993。
Ⅰ
書
犌犅/犜14601—2009
電子工業(yè)用氣體氨
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氨的技術(shù)要求,試驗方法,檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運輸、貯存及安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè),氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式:NH3。
相對分子質(zhì)量:17.031(按2005年國際相對原子質(zhì)量)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB190—2009危險貨物包裝標(biāo)志
GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
GB7144氣瓶顏色標(biāo)志
GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定
氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程
壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程
3技術(shù)要求
3.1氨電子級產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。
表1電子級產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
項目電子級
-2
氨(NH3)純度(體積分?jǐn)?shù))/10≥99.9995
-6
氧(O2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<1
-6
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<1
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6<1
-6
烴(C1~C3)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<1
-6
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<3
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6≤5
3.2氨光電子級產(chǎn)品應(yīng)符合表2的要求,重金屬含量應(yīng)符合表3的規(guī)定。
表2光電子級產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)
項目光電子級
-2
氨(NH3)純度(體積分?jǐn)?shù))/10≥99.99994
-6
氧(O2)(氬)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<
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