標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 16942-1997是一項(xiàng)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 氫》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氫氣的質(zhì)量要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求,旨在確保氫氣作為電子工業(yè)原材料時(shí)的純度與安全性,滿足半導(dǎo)體制造、平板顯示及其他高科技電子設(shè)備生產(chǎn)過程中的嚴(yán)格需求。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的氫氣,規(guī)定了其技術(shù)條件及試驗(yàn)、檢驗(yàn)、包裝、標(biāo)識(shí)、運(yùn)輸和儲(chǔ)存的具體要求。
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規(guī)范性引用文件:列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范文件。
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術(shù)語和定義:對(duì)標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語給出明確的定義,幫助讀者理解標(biāo)準(zhǔn)具體內(nèi)容。
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要求:
- 純度:詳細(xì)規(guī)定了氫氣的純度要求,包括對(duì)雜質(zhì)(如氧氣、氮?dú)?、水、碳?xì)浠衔锏龋┑淖畲笤试S含量,以ppm(百萬分之一)為單位進(jìn)行限定。
- 物理化學(xué)性質(zhì):如露點(diǎn)、密度、壓力等指標(biāo)也需符合一定的標(biāo)準(zhǔn)。
- 其它特性:可能還包括對(duì)毒性和可燃性的控制要求,確保使用安全。
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試驗(yàn)方法:介紹了如何通過科學(xué)方法檢測氫氣的純度、雜質(zhì)含量及其它關(guān)鍵性能指標(biāo),確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
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檢驗(yàn)規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等,確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量可控。
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包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存:
- 包裝:要求氫氣的容器應(yīng)能有效防止外界污染,且能承受相應(yīng)的壓力,保證運(yùn)輸安全。
- 標(biāo)志:明確標(biāo)記產(chǎn)品信息,包括但不限于生產(chǎn)商名稱、批號(hào)、純度等級(jí)、生產(chǎn)日期等。
- 運(yùn)輸:提供運(yùn)輸過程中的安全措施和注意事項(xiàng),確保氫氣的安全運(yùn)輸。
- 儲(chǔ)存:說明了氫氣儲(chǔ)存條件,如溫度、壓力、避光避熱等要求,以防變質(zhì)或危險(xiǎn)事故的發(fā)生。
實(shí)施意義:
該標(biāo)準(zhǔn)的制定與執(zhí)行對(duì)于提升電子工業(yè)用氫氣的質(zhì)量控制水平、保障生產(chǎn)安全、促進(jìn)電子產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要意義。它為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)氫氣的供應(yīng)商和用戶提供了一套統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)體系,有助于提升整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的標(biāo)準(zhǔn)化水平和國際競爭力。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 16942-2009
- 1997-08-13 頒布
- 1998-05-01 實(shí)施



文檔簡介
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16942-1997電子工業(yè)用氣體Gasesforlectronicindustry--Hydrogen1997-08-13發(fā)布1998-05-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
GB/T16942-1997前本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)SEMIC3.19-93鋼瓶裝氫標(biāo)準(zhǔn)》95年版)制定的,在技術(shù)要求上與之等同,試驗(yàn)方法與之等效。在將SEMIC3.19一93轉(zhuǎn)化為本國標(biāo)準(zhǔn)時(shí),結(jié)合我國實(shí)際情況,刪去了SEMIC3.19一93中僅作為參考的說明和物理常數(shù)及注釋等內(nèi)容,試驗(yàn)方法中增加了抽樣、采樣和氫氣純度三條,除氮含量的測定采用SEMIC3.19一93的方法外,其余各項(xiàng)雜質(zhì)含量的測定分別采用我國相應(yīng)的通用試驗(yàn)方法國家標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)對(duì)檢測限和標(biāo)樣要求按SEMI標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定進(jìn)行了適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。以上變動(dòng)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)無實(shí)質(zhì)性差異,使標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容更加完整。本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國化學(xué)工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:陳雅麗、戴培述。
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)用氣體CB/T16942-1997Gasesforelectronicindustry-Hydrogen范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法和包裝、標(biāo)志、安全等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氫為原料經(jīng)純化制取的鋼瓶裝氫氣。氫主要被用來提供還原氣敘,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。分子式:H:相對(duì)分子質(zhì)量:2.016(按1991年國際相對(duì)原子質(zhì)量)2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文,通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí),所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂,使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T3634—1995氫氣GB/T5832.1—86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點(diǎn)法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學(xué)法GB/T6681—86氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T8984.1—1997氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB/T8984.3-1997氣體中總烴的測定火焰離子化法3要求電子工業(yè)用氫技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。表1技術(shù)指標(biāo)V/V氫純度,10-99.9995復(fù)含最:10-氧含量,10~0-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含量,10一0.5總烴(以甲燒計(jì))含量,10-0
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