GB/T 20307-2006納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

ICS37.020.17.040N33中華人民共和國國家標準GB/T20307—2006納米級長度的掃描電鏡測量方法通則Generalrulesfornanometer-scalelengthmeasurementbySEM2006-07-19發(fā)布2007-02-01實施中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標準化管理委員會

GB/T20307一2006三次前言范圍2規(guī)范性引用文件3基本原理4標準樣品和儀器設備5操作方法6數(shù)據(jù)處理？測量結果附錄A（規(guī)范性附錄)被測長度方向的確認和調節(jié)附錄B（規(guī)范性附錄)標準樣品的擴展附錄C（規(guī)范性附錄)長度實測值的不確定度的評定與表示附錄D（資料性附錄）原始記錄格式附錄E（資料性附錄)側量報告格式·.

GB/T20307—2006前本標準的附錄A、附錄B和附錄C為規(guī)范性附錄，附錄D、附錄E為資料性附錄本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出本標準由全國微束分析標準化技術委員會歸口本標準主要起草單位：中國科學院地質與地球物理研究所,同濟大學,中國科學院化學所,中國地質科學院礦產(chǎn)資源研究所,上海理工大學等。本標準主要起草人：張訓彪、曾榮樹、廖宗廷、盧德生、劉芬、李戎、周劍雄、鄧保慶等

GB/T20307-2006納米級長度的掃描電鏡測量方法通則范圍本標準規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級長度的基本原則適用于測量10nm～500nm的點或線的間距規(guī)規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內容)或修訂版均不適用本標準,然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是舌可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件.其最新版本適用于本標準。JJF1059—1999測量不確定度評定與表示BIPMIECIFCCISOIUPACIUPAPOiML-1993《GuidetotheExpressionofUncertaintyinMeasurement》(測量不確定度表示指南)基本原理用掃描電鏡在相同的狀態(tài)下,獲取被測樣品和標準樣品的二次電子像,然后測量出被測樣品和標準樣品圖像中的長度。結合標準樣品的已知長度,計算出被測樣品的長度。A標準樣品和儀器設備標準樣品：首選國家級有證標準樣品，4.1其其次選用省級以上（包括省級）計量技術機構標定的樣品4.2掃描電鏡：二次電子分辨力優(yōu)于2nm.4.3正置立式金相顯微鏡：放大倍數(shù)不小于300倍4.4可調樣品柱：工作面的高度可以調節(jié)。4.5圖像測量設備：量程不小于圖像尺度：讀數(shù)不確定度可以忽略不計5操作方法5.1被測樣品的確認5.1.1被測長度方向的確認5.1.1.1對于有方向性的精確測量，需要按照附錄A,確認被測長度的方向。5.1.1.2對于通過統(tǒng)計規(guī)律,可以消除傾斜誤差和畸變誤差的顆粒樣品?？梢圆淮_認被測長度的方向，直接進行下步操作。5.1.1.3對于被測長度方向處于被測平面上的樣品?？梢圆淮_認被測長度的方向,直接進行下步操作。5.1.2估計被測長度值5.1.2.1將被測樣品固定在高度可調的樣品柱上5.1.2.2用用掃描電鏡觀察被測長度.根