GB/T 38518-2020柔性薄膜基體上涂層厚度的測(cè)量方法

ICS2522001

A29..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38518—2020

柔性薄膜基體上涂層厚度的測(cè)量方法

Measurementofcoatingthicknessonflexiblefilmsubstrate

2020-03-06發(fā)布2021-02-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

柔性薄膜基體上涂層厚度的測(cè)量方法

GB/T38518—2020

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20202

*

書號(hào)

:155066·1-64276

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T38518—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)金屬與非金屬覆蓋層標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC57)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉紫微吳偉林初城姜彩芬曾毅齊振一樂軍宋力昕

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38518—2020

柔性薄膜基體上涂層厚度的測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了柔性薄膜基體上涂層包含有機(jī)無機(jī)與金屬涂層厚度掃描電子顯微鏡測(cè)量的基本

(、)

方法及原理標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備操作方法數(shù)據(jù)處理的方法

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度不大于的柔性薄膜基體上厚度為的涂層的厚度測(cè)量

3mm10nm~0.5mm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電子顯微鏡測(cè)量方法通則

GB/T20307—2006

3基本方法及原理

31截面制備

.

針對(duì)柔性薄膜基體采用機(jī)械拋光容易發(fā)生扭曲變形或磨粒嵌入等問題采用氬離子束拋光機(jī)可以

,

有效對(duì)柔性薄膜基體截面進(jìn)行拋光在掃描電子顯微鏡的二次電子像或者背散射電子像下能夠清晰區(qū)

,

分柔性薄膜基體與基體上的涂層

。

氬離子束拋光機(jī)主要由帶渦輪真空泵的樣品室和用于樣品定位的光學(xué)顯微鏡組成拋光過程中

。,

樣品固定在樣品座上在光學(xué)顯微鏡下選擇樣品拋光區(qū)域然后用遮擋板遮住樣品非目標(biāo)區(qū)域僅露出需

,,

拋光區(qū)域抽真空后氬氣通過離子源產(chǎn)生離子束經(jīng)加速集束后轟擊樣品拋光區(qū)域與樣品表面層發(fā)生

,,、,

碰撞將能量傳遞給樣品表面的原子分子而使之產(chǎn)生濺射從而形成對(duì)樣品的拋光作用

,、,。

32厚度測(cè)量

.

用掃描電子顯微鏡在相同加速電壓和工作距離下獲取待測(cè)樣品截面和標(biāo)準(zhǔn)樣品的二次電子像或

,

背散射電子像然后測(cè)量出待測(cè)樣品圖像中柔性薄膜基體上涂層的厚度和標(biāo)準(zhǔn)樣品圖像中的網(wǎng)格長(zhǎng)度

,。

結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品的已知長(zhǎng)度計(jì)算涂層的厚度

,。

4標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備

41標(biāo)準(zhǔn)樣品

.

采用國(guó)家級(jí)有證書標(biāo)準(zhǔn)樣品或省級(jí)以上含省級(jí)計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)標(biāo)定的樣品

()。

4