標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 26312-2010《蒸發(fā)金》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)之一,主要針對(duì)通過(guò)蒸發(fā)法制備的金材料進(jìn)行了規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了蒸發(fā)金的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。適用于電子工業(yè)中用于薄膜沉積工藝的蒸發(fā)源材料。
根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn),蒸發(fā)金按照純度被劃分為不同等級(jí),明確了各級(jí)別蒸發(fā)金的具體化學(xué)成分要求,包括但不限于金含量、銀、銅等雜質(zhì)的最大允許量。同時(shí),對(duì)蒸發(fā)金產(chǎn)品的外觀質(zhì)量也做了詳細(xì)的規(guī)定,比如表面應(yīng)平整光滑,無(wú)裂紋、氣孔及其他明顯缺陷。
在測(cè)試方法部分,GB/T 26312-2010列出了測(cè)定蒸發(fā)金純度及檢測(cè)特定雜質(zhì)含量的方法,包括重量法、原子吸收光譜法等科學(xué)準(zhǔn)確的分析手段。此外,還提供了關(guān)于如何進(jìn)行取樣以確保樣品代表性的指導(dǎo)原則。
對(duì)于產(chǎn)品驗(yàn)收,該標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定了具體的檢驗(yàn)項(xiàng)目與合格判定條件,并且指出了當(dāng)供需雙方對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量存在爭(zhēng)議時(shí)可采取的仲裁檢驗(yàn)程序。最后,在包裝、標(biāo)識(shí)、運(yùn)輸和儲(chǔ)存章節(jié)里,則是給出了確保蒸發(fā)金從生產(chǎn)到使用過(guò)程中品質(zhì)不受影響的一系列措施建議。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2011-01-14 頒布
- 2011-11-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介
ICS7712099
H68..
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T26312—2010
蒸發(fā)金
Goldforevaporating
2011-01-14發(fā)布2011-11-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布
中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T26312—2010
前言
本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出
。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口
(SAC/TC243)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司賀利氏招遠(yuǎn)貴金屬材料有限公司賀利氏
:、、
招遠(yuǎn)常熟電子材料有限公司北京有研億金新材料股份有限公司
()、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人杜連民向翠華禹潔麗房晉周曉光毛松林王衛(wèi)東付建彬閆琳
:、、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T26312—2010
蒸發(fā)金
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸發(fā)金的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存
、、、、、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于制造半導(dǎo)體器件用芯片時(shí)背金用蒸發(fā)金
。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
所有部分金化學(xué)分析方法
GB/T11066()
貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法
GB/T15077
所有部分高純金化學(xué)分析方法
GB/T25934()
3要求
31產(chǎn)品分類
.
311蒸發(fā)金產(chǎn)品按化學(xué)成分分為和兩種牌號(hào)
..Z-Au99.999Z-Au99.99。
312蒸發(fā)金產(chǎn)品主要以片狀柱狀和線盤狀為主產(chǎn)品形狀及供貨狀態(tài)應(yīng)滿足表的要求需方有
..、,1。
其他要求時(shí)由供需雙方協(xié)商解決
。
表1
形狀定義供貨狀態(tài)
柱狀直徑為長(zhǎng)度為的線材
0.5mm~8mm、2mm~100mm
片狀長(zhǎng)為寬為厚為的片材
5mm~20mm、5mm~20mm、0.5mm~3mm硬態(tài)
直徑為重量在的線材盤成線盤
線盤狀0.5mm~2mm、100g~500g
狀為主線盤直徑一般為
,100mm~300mm
32產(chǎn)品標(biāo)記示例
.
321柱狀蒸發(fā)金標(biāo)記
..
?
Z-Au99.999,□×□mm
長(zhǎng)度
直徑
示例直徑為長(zhǎng)度為成分為的柱狀蒸發(fā)金產(chǎn)品標(biāo)記
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