干菲林培訓(xùn)教材

干菲林培訓(xùn)教材1目錄：

一、干菲林工序簡介二、干菲林工序流程圖三、干菲林各流程作用及原理四、主要缺陷、原因及改善措施五、工序潛力展望六、環(huán)保和工業(yè)安全2一、干菲林工序簡介

干菲林工序的作用是在清潔過的銅面上，通過貼膜、曝光、顯影將所需要的線路圖形從菲林上轉(zhuǎn)

移到板面上。

3二、干菲林工序流程圖

自動上板HoldtimeHoldtime

小于4小時小于48小時

自動出板Holdtime

小于48小時完成待到下工序

酸洗、鋁粉磨板自動貼膜自動曝光自動撕Mylar顯影AOI抽檢、目檢4三、干菲林各流程原理及作用(一).IS磨板機1.火山灰磨板機各段分布情況酸洗水洗鋁粉磨板清水洗高壓水洗超聲波水洗循環(huán)水洗熱風(fēng)吹干2.IS磨板機機器規(guī)格板料寬：6.7“-24.5”板料厚:0.004“-0.160”53.各段功能及參數(shù)控制

1).酸洗通過稀硫酸與銅面上氧化銅化學(xué)作用，去除氧化物，提高干膜與銅面附著力，其反應(yīng)原理為：

H2SO4+CUOCUSO4+H2O硫酸控制范圍為3-5%(ml/l），溫度為室溫。

2).水洗清洗板面上殘留酸液和CUSO4水溶液，室溫控制。6

3).鋁粉磨板上下共3對磨刷混合鋁粉將板面打磨并粗化銅面。磨刷的壽命取決于磨痕效果，當(dāng)達(dá)不到磨痕要求(1.0-1.5cm）時須更換磨刷。火山灰含量控制為15-25Vol%。4).清水洗粗略清洗板面和孔內(nèi)鋁粉75).超聲波水洗30-40C的超聲波水洗，目的是震去孔內(nèi)（特別是小孔）火山灰等雜物。6).高壓水洗清洗板面火山灰等雜物，壓力一般控制在40-80bar。7).熱風(fēng)吹干烘干板面，防止氧化，溫度范圍為70C-90C84.磨板效果檢查1).磨痕試驗做法：開動磨板機（除磨轆）直放入一長度為18”或以上的板,待板到3對火山灰磨轆位置,停止運輸,開動磨轆,約5秒鐘后停止磨轆.開動運輸及水洗將板送出,觀察板面磨痕造否均勻,測量全部磨痕的寬度,正確磨痕寬度為1.0-1.5cm。若不在此范圍需調(diào)較磨轆濃度平輪。

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2).水破試驗將磨過的板放入水缸（或用水喉水沖），使板面全部浸水，然后雙手將板拿離水缸，使板面垂直，板面水膜應(yīng)維技30秒（或以上）不破為合格。5.生產(chǎn)中須注意事項1).每班開工前檢查噴咀正確才能生產(chǎn)，每天清洗高壓水洗箱

2).每周清潔一次風(fēng)刀和烘干段運輸轆10（二）自動貼膜（附預(yù)熱裝置）1.定義：基板經(jīng)磨板后，在加熱加壓條件下將干膜粘貼在覆銅箔上。干膜的抗蝕劑層受熱后變軟，流動性增加，借助于熱壓輥的壓力和抗蝕劑中粘結(jié)劑的作用完成。2.HitachiHLM-A60自動貼膜機規(guī)格板寬：200-610mm

板長：200-610mm

板厚：0.1-3.2mm113.干膜簡介干膜光致抗蝕劑簡稱干膜（Dryfilm）為水溶性阻劑膜層，厚度一般有1.2mil、1.5mil和2mil等,分聚酯保護(hù)膜、聚乙烯隔膜和光阻膜三層。聚乙烯隔膜的作用是當(dāng)卷狀干膜在運輸及儲存時間中，防止其柔軟的阻劑膜層與聚乙烯保護(hù)膜之表面發(fā)生沾黏。而保護(hù)膜可防止氧氣滲入阻劑層與其中自由基產(chǎn)生意外反應(yīng)而使及光聚合反應(yīng)，耐堿性會加強對弱堿如碳酸鈉等有一定的抵抗力，未經(jīng)聚合反應(yīng)的干膜則很容易被碳酸鈉溶液沖脫。干膜的儲存期一般為六個月，由制造日期開始計起。注：使用干膜時，首先應(yīng)進(jìn)行外觀檢查。質(zhì)量好的干膜必須無氣泡、顆粒、雜質(zhì)；抗蝕膜厚度均勻；無膠層流動。124.預(yù)熱裝置預(yù)熱作用是烘干銅板，使貼膜前板面有50-65C熱度，以保證與干膜有良好附著力5.貼膜作用通過機器的熱壓作用，使干膜均勻平貼在銅面上，作為圖形轉(zhuǎn)移的載體6.貼膜一般參數(shù)控制貼膜速度：1.0-3.0m/min

壓轆溫度:100-120C

壓膜壓力:0.2-0.4MPa

13(三).自動曝光1.自動曝光定義已粘有干膜的板，經(jīng)在曝光機里與曝光菲林進(jìn)行機器自動對孔完畢后，曝光燈發(fā)出紫外光（波長250-450m)投射在其上，將曝光菲林上線路圖形轉(zhuǎn)移到感光干膜上。吸收紫外光的干膜發(fā)生交聯(lián)聚合反應(yīng)后硬化變色；未吸收紫外光的干膜未聚合，沖板后溶掉142.ACP610SCT自動曝光機規(guī)格板厚:0.4mm-3.2mm

最小板尺寸:寬邊不小于190mm,長邊不小于60mm

最大板尺寸:534mm623mm

底尺寸:20”26”解像度:2mil

精準(zhǔn)度:±10m153.ACP610SCT自動曝光機主要工作原理及工作參數(shù)主要工作原理：ACP610SCT自動曝光機是自動進(jìn)板，通過CCD監(jiān)控兩定位孔與菲林對位，合格后自動曝光、自動出板的全自動曝光，所用光源是仿平行光源（POK）。主要工作參數(shù)：曝光真空度：-0.50—-0.65bar

菲林真空度:-0.8—-1.0bar

抽真空時間:62Sec

曝光燈工作時間:1000hr164.曝光能量控制21格曝光尺中取7-9格范圍中曝光感度5.環(huán)境控制和生產(chǎn)注意事項

A.環(huán)境控制溫度：18-22C濕度：45-65%塵粒數(shù)：0.5m塵粒小于1kB.生產(chǎn)注意事項菲林不能有擦傷、沙眼、灰塵、變形等，并按規(guī)定次數(shù)更換

17(四）.自動撕Mylar(保護(hù)膜)1).作用:利用風(fēng)刀和靜電作用將保護(hù)膜撕拉出來,剩下阻劑膜層來顯影2).MortonCSR2600自動撕Mylar機規(guī)格板長(min,max):7.87”30”

板厚(min,max):7.78”25.60”板厚:0.004“-0.126”最大速度:3m/min18(五）.顯影1.定義:將菲林上沒有曝光(即沒有聚合反應(yīng))的地方用0.8-1.2gle

的碳酸鈉藥水溶解,余下硬化的圖案,其反應(yīng)原理為:CO32-+RESIST-COOHHCO3-RESISTCOO-2.顯影流程

進(jìn)板

出板水洗的作用是去除板面上Na2CO3溶液,烘干是防止板面氧化和干膜繼續(xù)溶解Na2CO3溶液水洗水洗烘干193.顯影效果檢驗及方法露銅點測試，測試方法：使用點長度超過藥水缸總長一半的未曝光的生產(chǎn)板，按生產(chǎn)條件進(jìn)入顯影機，等最后一塊板完全進(jìn)入到藥水缸時停顯影泵（運輸、水洗仍開動），等板從烘干段出來后，觀察板面的干凈程度，例若于顯影段50%處板面干凈，未達(dá)50%處仍有余留，則顯影點為50%，例若于顯影段40%處板面已干凈，其余仍有余留，則顯影點為40%204.自動加藥量按干膜特性及說明書加5.除泡菲林渣溶于碳酸鈉內(nèi)會產(chǎn)生泡沫，影響顯影效果，需加入適當(dāng)除泡劑6.一般顯影參數(shù)顯影溫度：28-32C，顯影壓力：1.0-2.0Kg/Cm27.保養(yǎng)為減少機體內(nèi)外污物存在，每天和每周（產(chǎn)量約65kft2

/ww）需定時進(jìn)行保養(yǎng)21

A.每天保養(yǎng)事項每班清潔全部過濾袋，吸水海綿，檢查噴咀和風(fēng)刀是否堵塞，否則清理或更換。

B.每周保養(yǎng)（I）.清潔烘干段的運輸轆、風(fēng)刀（II）.清洗藥水缸22程序為：

4%-6%4%-6%0.8/-1%40-45OC

常溫室溫

NaOH溶液洗水洗鹽酸液洗水洗NaOH溶液洗23四、目檢常見缺陷、原因及改善措施1).缺陷:干膜松主要原因:1)磨板后板面有污痕或水痕2)貼膜壓力或溫度不夠3)顯影速度過慢改善措施:1)消除污痕來源,檢查烘干風(fēng)刀是否堵2)將壓力或溫度調(diào)至合適范圍3)將速度調(diào)至合適范圍

242).缺陷：干膜碎主要原因：1）貼膜壓力過大2）干膜超出板邊，到撕Mylar時帶起菲林碎3）自動撕Mylar機滑刀不夠銳利4）顯影壓力過大改善措施：1）將貼膜壓力調(diào)至合適范圍2）干膜尺寸不得大于板尺寸3）更換滑刀4）將顯影壓力調(diào)至合適范圍253).缺陷：崩孔主要原因：自動曝光機參數(shù)不合適，對歪孔改善措施：將曝光參數(shù)調(diào)至合適范圍4).