GB/T 39144-2020氮化鎵材料中鎂含量的測定二次離子質(zhì)譜法

ICS77040

H17.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T39144—2020

氮化鎵材料中鎂含量的測定

二次離子質(zhì)譜法

Testmethodformagnesiumcontentingalliumnitridematerials—

Secondaryionmassspectrometry

2020-10-11發(fā)布2021-09-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T39144—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所北京聚睿眾邦科技有限公司東莞市中

:、、

鎵半導(dǎo)體科技有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院廈門市科力電子有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人馬農(nóng)農(nóng)何友琴陳瀟劉立娜何烜坤楊素心閆方亮楊麗霞顏建鋒

:、、、、、、、、、

倪青青

。

Ⅰ

GB/T39144—2020

氮化鎵材料中鎂含量的測定

二次離子質(zhì)譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氮化鎵材料中鎂含量的二次離子質(zhì)譜測試方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于氮化鎵材料中鎂含量的定量分析測定范圍為不小于14-3

,5×10cm。

注氮化鎵材料中的鎂含量以每立方厘米中的原子數(shù)計(jì)

:。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461

分析儀器性能測定術(shù)語

GB/T32267

3術(shù)語和定義

和界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264、GB/T22461GB/T32267。

4方法原理

在高真空真空度優(yōu)于-6條件下氧離子源產(chǎn)生的一次離子經(jīng)過加速純化聚焦后轟擊氮

(10Pa),,、、,

化鎵樣品表面濺射出多種粒子將其中的離子即二次離子引出通過質(zhì)譜儀將不同質(zhì)荷比的離子分

,。(),

開記錄并計(jì)算樣品中鎂與鎵的離子計(jì)數(shù)率之比利用相對靈敏度因子定量分析并計(jì)算出氮化鎵材料中

,,

的鎂含量

。

5干擾因素

51二次離子質(zhì)譜儀存在記憶效應(yīng)若測試過鎂含量較高的樣品儀器樣品室內(nèi)會殘留高含量鎂影響

.,,,

鎂含量的測試結(jié)果

。

52儀器型號不同或者同一儀器的狀態(tài)不同例如電子倍增器效率光圈大小一次束流大小聚焦?fàn)?/p>

.(、、、

態(tài)等會影響本方法的檢出限

),。

53在樣品架窗口范圍內(nèi)的樣品分析面應(yīng)平整以保證每個樣品移動到分析位置時其表面與離子收

.,,

集光學(xué)系統(tǒng)的傾斜度不變否則會降低測試的準(zhǔn)確度

,。

54樣品表面吸附的鎂離子可能影響鎂含量的測試結(jié)果

.。

55測試的準(zhǔn)確度隨著樣品的表面粗糙度增大而顯著降低應(yīng)通過對樣品表面化學(xué)機(jī)械拋光或者化學(xué)

.,

腐蝕拋光降低表面粗糙度

。

56標(biāo)準(zhǔn)樣品中鎂含量的不均勻性會限制測試結(jié)果的準(zhǔn)確度

.