JJG 28-2019平晶

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程

JJG28—2019

平晶

OpticalFlats

2019-09-27發(fā)布2020-03-27實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJG28—2019

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平晶檢定規(guī)程?JJG28—2019?

??

?????????????

?代替JJG28—2000?

VerificationRegulationofOpticalFlats??

歸口單位全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位湖南省計(jì)量檢測(cè)研究院

:

中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

參加起草單位蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

:

中國(guó)兵器工業(yè)第研究所

205

本規(guī)程委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJG28—2019

本規(guī)程主要起草人

:

陳勇湖南省計(jì)量檢測(cè)研究院

()

張恒中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

曾琰湖南省計(jì)量檢測(cè)研究院

()

劉麗娟湖南省計(jì)量檢測(cè)研究院

()

參加起草人

:

韓森蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司

()

柏文琦湖南省計(jì)量檢測(cè)研究院

()

王生云中國(guó)兵器工業(yè)第研究所

(205)

JJG28—2019

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計(jì)量性能要求

4…………(3)

平行度

4.1………………(3)

工作面平面度

4.2………………………(3)

非工作面的平面度

4.3…………………(4)

穩(wěn)定性

4.4………………(4)

通用技術(shù)要求

5…………(5)

外觀及表面質(zhì)量

5.1……………………(5)

外形尺寸

5.2……………(5)

長(zhǎng)平晶十字刻線位置

5.3………………(6)

兩端面夾角

5.4………………………(6)

工作面與圓柱母線的垂直度

5.5………(7)

計(jì)量器具控制

6…………(7)

檢定項(xiàng)目和主要檢定設(shè)備

6.1…………(7)

檢定條件

6.2……………(7)

檢定方法

6.3……………(9)

檢定結(jié)果處理

6.4………………………(12)

檢定周期

6.5……………(12)

附錄平晶表面疵病的尺寸及數(shù)量

A…………………(13)

附錄相移式激光等厚干涉測(cè)量法

B…………………(15)

附錄等厚干涉測(cè)量法

C………………(18)

附錄等傾干涉測(cè)量法

D………………(20)

附錄四面互檢法檢定長(zhǎng)平晶數(shù)據(jù)處理示例

E………(22)

附錄長(zhǎng)平晶自重變形量

F……………(25)

附錄檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁(yè)格式

G………(27)

Ⅰ

JJG28—2019

引言

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義國(guó)家計(jì)量檢定規(guī)程編寫

JJF1001—2011《》、JJF1002—2010《

規(guī)則測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成本規(guī)程修訂工作的基

》、JJF1059.1—2012《》

礎(chǔ)性系列技術(shù)法規(guī)

。

本規(guī)程與平晶相比除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下

JJG28—2000《》,,:

更正了平晶的印刷錯(cuò)誤

———JJG28—2000《》:

中式u5u更正為u5u見(jiàn)現(xiàn)版

JJG28—20006.3.8.2b)(6):2=1,:b=a[

1212

式

(5)];

附錄中表的表頭第列EiLiLnKn更正為Ei

JJG28—2000CC.18:=(/),:=

LiLnKn見(jiàn)現(xiàn)版表

(/)Δ(E.1);

?d2??d?2

附錄中式F?÷F更正為F?÷F

JJG28—2000D(D.2):Δ=è?×96,:Δ=è?×96

9696

見(jiàn)現(xiàn)版式

[(C.2)]。

長(zhǎng)平晶兩次周期檢定平面度之差從放寬為見(jiàn)

———310mm0.020μm0.030μm(

4.4)。

依據(jù)量塊取消了等量塊改用等量塊見(jiàn)

———JJG146—2011《》,6,5(6.3.2)。

取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉儀上檢定的方法

———。

增加相移式等厚測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)概述測(cè)量方法見(jiàn)附錄等相關(guān)內(nèi)容

———、(B)。

增加標(biāo)準(zhǔn)平晶F范圍內(nèi)的平面度計(jì)算方法見(jiàn)附錄

———96(C)

本規(guī)程的歷次版本發(fā)布情況

:

———JJG28—2000;

———JJG28—1991;

———JJG28—1980。

Ⅱ

JJG28—2019

平晶檢定規(guī)程

1范圍

本規(guī)程適用于平晶包括平面平晶平行平晶和長(zhǎng)平晶的首次檢定后續(xù)檢定和

(、)、

使用中檢查

。

2引用文件

本規(guī)程引用下列文件

:

無(wú)色光學(xué)玻璃

GB/T903—2019

平面平晶

JB/T7401—1994

平行平晶

JB/T7402—1994

光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的干涉儀測(cè)量第

ISO14999-4:2015(E)4

部分在中所明確規(guī)定的公差說(shuō)明和評(píng)價(jià)

:ISO10110(Opticsandphotonics—Interfero-

metricmeasurementofopticalelementsa