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  • 2013-10-17 頒布
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YS/T 937-2013鎳鉑靶材_第1頁
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文檔簡介

ICS7715099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T937—2013

鎳鉑靶材

Nickel-platinumtarget

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T937—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員歸口

(SAC/TC243)。

本標準負責起草單位有研億金新材料股份有限公司北京有色金屬研究總院

:、。

本標準參加起草單位寧波江豐電子股份有限公司中國有色金屬工業(yè)標準計量質量研究所

:、。

本標準主要起草人朱曉光顧新福楊永剛向磊何金江郭力山呂保國姚力軍王學澤

:、、、、、、、、、

李勇軍尚再艷孫秀霖陳彩霞張麗李娜劉紅賓夏乾坤蔣宇輝

、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T937—2013

鎳鉑靶材

1范圍

本標準規(guī)定了鎳鉑靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標志包裝運輸貯存質量證明書及合同

、、、、、、

或訂貨單內容

()。

本標準適用于半導體薄膜用的各類鎳鉑靶材

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產品幾何技術規(guī)范表面結構輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1031(GPS)

金屬平均晶粒度測定法

GB/T6394

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

變形金屬超聲檢驗方法

GJB1580A

濺射靶材背板結合質量超聲波檢驗方法

YS/T837-

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

靶材target

濺射沉積技術中的陰極部分該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子原子或離子的形式

。、

脫離陰極而在陽極表面沉積

。

32

.

靶坯targetblank

陰極上用作目標材料的部分

。

33

.

背板backingplate

用來支撐或固定靶坯的部分靶材與背板可以通過焊接如釬焊電子束焊擴散焊等機械復合

。(、、)、、

粘接等方式連接

。

4要求

41產品分類

.

411鎳鉑靶材分類按照結構形式分為單體和復合兩種

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