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半導(dǎo)體材料硅其他第一頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日
“硅器”
硅是一種常見(jiàn)的物質(zhì),它廣泛的存在于我們的日常生活中,從你手中的手機(jī),到家中的電視,陶瓷餐具,水晶工藝品,無(wú)不包含著硅的身影??梢哉f(shuō),硅在我們的生活中無(wú)處不在。第二頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日遠(yuǎn)古時(shí)候的“硅器”陶瓷,主要成分為硅酸鹽第三頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日天然石英(SiO2)第四頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日生活中的硅金絲水晶球水晶欣賞第五頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日岱岳雄姿觀音第六頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日電腦中的硅芯片主板第七頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日什么是“半導(dǎo)體材料”材料按照導(dǎo)電的能力來(lái)劃分可以分為:導(dǎo)體——金屬等絕緣體——橡膠,塑料等半導(dǎo)體——硅,鍺等等
半導(dǎo)體材料是介于導(dǎo)體與絕緣體之間的,導(dǎo)電能力一般的導(dǎo)體。它的顯著特點(diǎn)是對(duì)溫度、雜質(zhì)和光照等外界作用十分的敏感。第八頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日元素周期表Group12
3456789101112131415161718周期
11
H
氫
2
He
氦23
Li
鋰4
Be
鈹
5
B
硼6
C
碳7
N
氮8
O
氧9
F
氟10
Ne
氖311
Na
鈉12
Mg
鎂
13
Al
鋁14
Si
硅15
P
磷16
S
硫17
Cl
氯18
Ar
氬419
K
鉀20
Ca
鈣
21
Sc
鈧22
Ti
鈦23
V
釩24
Cr
鉻25
Mn
錳26
Fe
鐵27
Co
鈷28
Ni
鎳29
Cu
銅30
Zn
鋅31
Ga
鎵32
Ge
鍺33
As
砷34
Se
硒35
Br
溴36
Kr
氪537
Rb
銣38
Sr
鍶
39
Y
釔40
Zr
鋯41
Nb
鈮42
Mo
鉬43
Tc
锝44
Ru
釕45
Rh
銠46
Pd
鈀47
Ag
銀48
Cd
鎘49
In
銦50
Sn
錫51
Sb
銻52
Te
碲53
I
碘54
Xe
氙655
Cs
銫56
Ba
鋇56-70
鑭系
*71
Lu
镥72
Hf
鉿73
Ta
鉭74
W
鎢75
Re
錸76
Os
鋨77
Ir
銥78
Pt
鉑79
Au
金80
Hg
汞81
Tl
鉈82
Pb
鉛83
Bi
鉍84
Po
釙85
At
砹86
Rn
氡787
Fr
鈁88
Ra
鐳89-102
錒系
**103
Lr
鐒*104
Rf105
Db106
Sg107
Bh108
Hs109
Mt110
Uun111
Uuu112
Uub113
Uut114
Uuq115
Uup116
Uuh117
Uus118
Uuo第九頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日鍺常見(jiàn)半導(dǎo)體材料硅第十頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)金剛石結(jié)構(gòu)
半導(dǎo)體材料之所以具有介于導(dǎo)體與絕緣體之間的性質(zhì),一部分原因是因?yàn)樗奶厥獾慕Y(jié)構(gòu)。科學(xué)分析表明,硅原子是按照金剛石結(jié)構(gòu)的形式占據(jù)空間位置(晶格)。
金剛石結(jié)構(gòu)的排列特點(diǎn)是:晶格立方格子的8個(gè)頂點(diǎn)有一個(gè)原子晶格6個(gè)面的中心各有一個(gè)原子晶格的4個(gè)對(duì)角線離頂點(diǎn)的1/4處各有一個(gè)原子第十一頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日
金剛石結(jié)構(gòu)和常見(jiàn)CO2分子結(jié)構(gòu)比較圖。從不同方向觀察硅晶體
第十二頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日晶體的能帶導(dǎo)體存在一個(gè)電子不能填滿的導(dǎo)帶,故能導(dǎo)電。金屬導(dǎo)體的電阻率約為10-8~10-6歐姆·米;絕緣體只有滿帶和空帶,沒(méi)有導(dǎo)帶,且禁帶很大(3-6eV),故不能導(dǎo)電。絕緣體的電阻率約為108~1020歐姆·米;半導(dǎo)體只有滿帶和空帶,但禁帶很?。?.1-2eV),滿帶中的電子可以在光、熱、電作用下進(jìn)入空帶,形成導(dǎo)帶。電阻率約為10-8~107歐姆·米。第十三頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日本征半導(dǎo)體和雜質(zhì)半導(dǎo)體
純凈半導(dǎo)體又叫本征半導(dǎo)體,就是指晶體中除了本身原子外,沒(méi)有其他雜質(zhì)原子存在。假如在本征半導(dǎo)體中摻入雜質(zhì),使其產(chǎn)生載流子以增加半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力,這種半導(dǎo)體稱(chēng)為雜質(zhì)半導(dǎo)體。第十四頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日n型和p型半導(dǎo)體
雜質(zhì)半導(dǎo)體中以電子導(dǎo)電為主的稱(chēng)為n(negative)型半導(dǎo)體(硅摻磷、砷等Ⅴ族元素),以空穴導(dǎo)電為主的稱(chēng)為p(positive)型半導(dǎo)體(硅摻硼、鎵等Ⅲ族元素)
。第十五頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體的性質(zhì)
電阻率隨溫度的增加而減小(稱(chēng)為負(fù)溫度系數(shù))微量的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的導(dǎo)電性能有很大的影響光照可以改變半導(dǎo)體的電阻率第十六頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日真空二極電子管的工作原理第十七頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日晶體管的接觸面工作原理第十八頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體在開(kāi)關(guān)和整流器中的運(yùn)用原理:一個(gè)P-N結(jié),它的作用是只讓電流向一個(gè)方向流通,是電的“單向閥”,可以用作開(kāi)關(guān),也可作為整流器。開(kāi)關(guān)時(shí)間可短到幾十~幾百ns,超高速集成電路開(kāi)關(guān)已達(dá)十幾~幾個(gè)ns。第十九頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日npn三極管示意圖三極管的重要特性是具有放大作用第二十頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料制作晶體管晶體管原理圖晶體管結(jié)構(gòu)第二十一頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日
1947年利用半導(dǎo)體材料鍺制成的第一個(gè)晶體三極管在美國(guó)新澤西州貝爾電話實(shí)驗(yàn)室誕生,發(fā)明人是三位美國(guó)科學(xué)家(從左至右)巴丁、肖克利和布拉頓。他們?nèi)双@得1956年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。這一發(fā)明引起現(xiàn)代電子學(xué)的革命,微電子學(xué)誕生了,并獲得迅速發(fā)展。1958年半導(dǎo)體硅集成電路的誕生,吹響了以集成電路為核心的微電子技術(shù)發(fā)展的號(hào)角。微電子技術(shù)正是電子計(jì)算機(jī)和當(dāng)今信息技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。第二十二頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日集成電路
集成電路就是將電子線路中所采用的電阻、電容、二極管、三極管等元件及互聯(lián)線制作在單個(gè)的半導(dǎo)體硅芯片上,具有和單個(gè)分開(kāi)的分立器件制作的電子線路同等或更好的功能。制造工藝:主要是氧化、光刻、擴(kuò)散摻雜和封裝。其芯片的耗能及單位成本很低,并能提供較高的工作速度和可靠性。第二十三頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體與集成電路第二十四頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日內(nèi)存條計(jì)算機(jī)主板集成電路第二十五頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日微電子技術(shù)的發(fā)展年代名稱(chēng)集成度(單位體積中的元件個(gè)數(shù))50年代晶體管10060年代集成電路100070年代大規(guī)模集成電路1萬(wàn)~10萬(wàn)80年代超大規(guī)模集成電路100萬(wàn)~1億90年代更大規(guī)模集成電路100億~200億第二十六頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日芯片換代的標(biāo)志
1密集程度高
2同等功能的元件和整機(jī)的價(jià)格下降
3尺寸減小
4信息容量增大
5運(yùn)算速度提高
由于各元件及各元件間的隔離區(qū)的形狀都是光刻技術(shù)完成的,所以通過(guò)光刻線寬的不斷縮小,可使元件尺寸不斷減小。激光光刻線寬的極限約為0.2微米,用X射線光刻甚至可小于0.1微米。目前利用0.3微米線寬工藝已在10mm×20mm的芯片上集成了1.4億個(gè)元件,集成密度達(dá)70萬(wàn)個(gè)/mm2。第二十七頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日常用的半導(dǎo)體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長(zhǎng)。提純主要有物理提純和化學(xué)提純。單晶的制備主要是利用熔體生長(zhǎng)法,其中提拉法在工業(yè)中最為常用。外延的方法有氣相、液相、固相、分子束外延等。半導(dǎo)體材料的制作工藝硅晶片生產(chǎn)第二十八頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體的生產(chǎn)第二十九頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料的運(yùn)用和意義
20世紀(jì)是科學(xué)技術(shù)突飛猛進(jìn)的100年,原子能、半導(dǎo)體、激光和電子計(jì)算機(jī)成為20世紀(jì)的“四大發(fā)明創(chuàng)造”。激光和計(jì)算機(jī)是以半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)的,而激光和計(jì)算機(jī)都是信息技術(shù)的重要支撐技術(shù)。因此,半導(dǎo)體材料技術(shù)在信息技術(shù),以至于整個(gè)高科技領(lǐng)域有著舉足輕重的作用。第三十頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料運(yùn)用的樹(shù)狀圖第三十一頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日
半導(dǎo)體材料最常見(jiàn)的用途就是發(fā)光二極管,它主要用在儀器上做數(shù)字顯示。第三十二頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料在照明中的運(yùn)用手機(jī)、電腦、數(shù)碼相機(jī)、汽車(chē)中,都有半導(dǎo)體照明的身影用半導(dǎo)體照明的上海東方明珠電視塔第三十三頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日光生伏特效應(yīng)
當(dāng)入射光子的能量大于禁帶寬度時(shí),光照射在距表面很近的p-n結(jié),就會(huì)在p-n結(jié)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì),接通外電路就可形成電流。這稱(chēng)為光生伏特效應(yīng)。太陽(yáng)能電池就是利用光生伏特效應(yīng)制成的。光生伏特效應(yīng)第三十四頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日太陽(yáng)能電池第三十五頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日光電效應(yīng)和光電傳感器
光電二極管是一個(gè)固態(tài)PN結(jié)器件,器件的一邊(比如P層),做得非常薄,使光可以穿透到結(jié)中,形成一個(gè)與入射的光子通量成正比的電流。這稱(chēng)為光電效應(yīng)。最簡(jiǎn)單的光電傳感器是由一塊芯片上的光電二極管傳感器件和開(kāi)關(guān)的陣列。第三十六頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日半導(dǎo)體材料在顯示器件中的運(yùn)用夏普發(fā)布1/1.8英寸大小800萬(wàn)象素CCD
數(shù)碼產(chǎn)品上常用的液晶顯示屏第三十七頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日小芯片改變大世界
集成電路的普及和發(fā)展給人類(lèi)帶來(lái)了小無(wú)止境的產(chǎn)品,也為人類(lèi)帶來(lái)了大無(wú)邊際的網(wǎng)絡(luò)。
電話網(wǎng)延伸了人們的聽(tīng)力——“銥星”系統(tǒng);電視網(wǎng)延伸了人們的視力;計(jì)算機(jī)網(wǎng)延伸了人們的大腦。第三十八頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日銥星系統(tǒng)
“銥星”系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是由77顆衛(wèi)星組成,運(yùn)行在七條高度為765千米的太空中低軌道上,每條軌道上均勻分布著11顆衛(wèi)星。實(shí)際運(yùn)行的“銥星”系統(tǒng)由66顆通信衛(wèi)星組成。由于衛(wèi)星眾多,所以通信效率極高,可以隨時(shí)為世界上的任何地方的用戶提供電話通信服務(wù),而且不必?fù)?dān)心與其他蜂窩電話系統(tǒng)不相容。目前,太空已有250多顆通信廣播衛(wèi)星運(yùn)行,擔(dān)負(fù)著80%的洲際通信業(yè)務(wù)和全部洲際電視傳播。第三十九頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日計(jì)算機(jī)網(wǎng)的誕生用于減少信息傳輸量的視頻壓縮/解壓縮芯片;用于數(shù)碼錄放音及影像存儲(chǔ)的記憶體元件芯片;
媒體處理芯片;
快速電池充電控制芯片;
路由器芯片等
芯片發(fā)展到一定程度,直接導(dǎo)致了計(jì)算機(jī)網(wǎng)的誕生。各種各樣的芯片大大支持了計(jì)算機(jī)的網(wǎng)絡(luò)化。
芯片把數(shù)字的快速處理和快速傳遞融合在一起,形成了當(dāng)今的信息網(wǎng)絡(luò)。第四十頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日溫差效應(yīng)
當(dāng)半導(dǎo)體材料兩端的溫度不同時(shí),載流子就會(huì)從高溫端流向低溫端,結(jié)果半導(dǎo)體的兩端就會(huì)產(chǎn)生電勢(shì)差,這種現(xiàn)象成為溫差效應(yīng)。利用這種效應(yīng)可以做成溫差發(fā)電堆。第四十一頁(yè),共四十七頁(yè),2022年,8月28日砷化鎵半導(dǎo)體
計(jì)算機(jī)的運(yùn)算速度受到芯片材料中電子運(yùn)動(dòng)速度的限制在砷化鎵單晶材料中電子的遷移率(電子在電場(chǎng)
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