無塵潔凈室工程凈化原理

PAGEPAGE1/6無塵潔凈室一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除，并一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。作為)所接觸之大氣的潔凈度日及溫100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微無塵是必然的要求。伍.0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米10001K級別。凈化原理凈化原理編輯氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→高效送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（細菌）→回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。技術(shù)參數(shù)10－15次/15－25次/小時；千級50－52次/小時;百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；溫度:冬季>16℃±2℃；夏季<26℃±2℃；新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20%－30%；結(jié)構(gòu)材料50mm門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板?！癙EF”阻燃型的保溫板做保溫。組成系統(tǒng)作用過濾器過濾器的基本知識過濾器是潔凈室的主要凈化設(shè)備，是空氣凈化的主要手段。因此，對于從事潔凈室設(shè)計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。1.過濾器的分類按過濾器的性能（效率、阻力、容塵量）來劃分，通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六類過濾器。我國國家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下：國家標(biāo)準(zhǔn)《高效空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將高效過濾器按性能劃分為A、B、CDD（0.1μm高效過濾器或超低透過率過濾器。性能指標(biāo)性能類別

額定風(fēng)量下的大氣塵限徑計數(shù)效率（E%）

a）初效≥5.0μm80>E>20≤50中效≥1.0μm70>E>20≤80高中效≥1.0μm90>E>70≤100亞高效≥0.5μm99.9>E>95≤150國外將超高效過濾器（ULPA）的過濾效率指標(biāo)規(guī)定為對于≥0.12μm粒子的過濾效率E≥99.9995%。性能指標(biāo)性能類額定風(fēng)量下的效率（E%）別初阻力（Pa）A額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.9≤190B額定風(fēng)量和20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率≥99.99≤220關(guān)于我國和歐美對過濾器的分類比較如下：我國標(biāo)關(guān)于我國和歐美對過濾器的分類比較如下：我國標(biāo)一般通風(fēng)用潔凈室用14295粗效中效高中效亞高效高效超高效UCMH2ML L 119 UAS571MM7C C HHRAE標(biāo) 1 1 H15 H16 1 3 M 1準(zhǔn) L L M 3 4 U1 96 8 1 HC 02 148≥99.99C20%額定風(fēng)量下的鈉焰效率≤2509≥99.99D20%額定風(fēng)量下的≥0.1μm≤2809傳遞窗傳遞窗目的：不耐高溫、高壓滅菌方法滅菌的物品傳人屏障系統(tǒng)的滅菌方法。(中華人民共和國國家科學(xué)技術(shù)委員會令第2《動物飼養(yǎng)設(shè)施條件要求》(中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)，2001)。操作規(guī)程：1、用0.5%過氧乙酸或5%碘伏液擦拭待傳遞的物品。2、打開傳遞窗外側(cè)門，迅速放置待傳遞物品，用0.5%過氧乙酸噴霧消毒傳遞窗，關(guān)閉傳遞窗外側(cè)門。3、開啟傳遞窗內(nèi)的紫外燈，紫外照射待傳遞物品不少于15分鐘。4、通知屏障系統(tǒng)內(nèi)的實驗人員或工作人員，打開傳遞窗內(nèi)側(cè)門，取出物品風(fēng)淋室結(jié)構(gòu)：系列風(fēng)淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構(gòu)件裝備而成，配置離心機風(fēng)機及初效和高效空氣過濾器，具有外型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。2、原理：風(fēng)淋室內(nèi)的空氣由風(fēng)機的作用經(jīng)初效過濾器進入靜壓箱，經(jīng)高效空氣過濾器3:風(fēng)淋室是操作人員進入潔凈室時使用的人身凈化裝置，它利用高速潔阻止外界污染進入潔凈區(qū)域。它也可應(yīng)用于大件貨物的吹淋。4、設(shè)備組成：主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風(fēng)機組、吹嘴、電控等部分組成。FFU層流罩FFU(1)采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db;電動機采用DC/EC(50%(<1/2HP)的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，DC/EC75～80%;在調(diào)速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。但FF瓣出口靜壓不能過大，一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s250Pa以內(nèi)。具體情況下的評價：FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。潔凈度要求嚴(yán)的潔凈室，末級過濾器滿布率100%時，對大的系統(tǒng)采用FFU;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當(dāng)前IC布率≤40%FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。原材料和設(shè)備除了人員進出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設(shè)備進出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。至于搬出則反向而行，但不須經(jīng)洗滌程序。原材料及設(shè)備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設(shè)備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設(shè)已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。無塵潔凈室用品有如紙張文具桌子、椅子、晶片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、真空洗塵器等。潔凈衣材料以洗后或使用其他處理后仍不會變質(zhì)或發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不材質(zhì)為無塵紙（或無纖紙）潔凈室用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件，容易洗滌，底則采用塑膠底，布質(zhì)部分在使用過程中若有不舒適感或妨害手指脂觸感者則停止使用，手套表面有粉質(zhì)時須去除或停用，原則上以使用無粉之Vinyl手套為佳。（清潔急救網(wǎng)合作工廠伙伴為清潔同行提供無塵車間實地演示）無塵衣、鞋0.2μm2～35天～1星期，洗滌完畢干燥后應(yīng)立即密封。洗滌衣置放場所須為潔凈室，備用品或新品存放柜內(nèi)，正使用者則吊掛衣架上，以為方便取用在潔凈室中，人是決定微粒污染物產(chǎn)生的重要因素。潔凈室內(nèi)工作的人員都應(yīng)當(dāng)充分紹潔凈室工作人員應(yīng)遵循的規(guī)程，有關(guān)服裝和個人用品方面的要求，供讀者參考。至于珠寶首飾，工作人員可以戴結(jié)婚和訂婚戒指，但最好不要戴有尖角或者邊沿鋒利可能會干擾潔凈室或者實驗室的正常活動。個人物品，例如香煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能的。在進入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產(chǎn)品。一次性鞋套最好每天更換一到兩著鞋套走出更衣室，又穿著同一雙鞋套走進來。最好戴蓬松的圓帽。正如前面所說的，頭發(fā)，包括劉海，必須完全藏在帽子里，不能者更衣室外面戴過的帽子也不能再次使用了。對于穿著的潔凈服，建議每周更換一到兩次，或者只要衣服一臟就立即更換。各家公觸會污染衣服。如果需要戴手套，必須使用潔凈室專用的無粉乳膠手套或者丁腈膠手套。因為有的人換手套。不要隨便拉拽手套和猛地脫下手套，應(yīng)該慢慢地把手套從手上退下來。吸塵器系統(tǒng)潔凈室吸塵器是無塵廠房、車間專用的強力真空專用吸塵器，可迅速、便捷、高效地完成清潔工作。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。當(dāng)你使用專用吸塵器時，可以減少您清潔廠房的次數(shù)，因為它不會二次擴散灰塵，并可凈化室內(nèi)空氣。有完備的各類吸嘴，任何角落皆可輕松清潔干凈。超強的吸力可吸除更深層的粉塵。設(shè)計新穎輕巧，符合人體工學(xué)，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。專用吸塵器可專門針對防塵爆及有毒粉塵，如石棉，鉛等物質(zhì)，美國太空總署特別指定使用專用專用吸塵器清除貨倉內(nèi)的微細粉塵。潔凈室吸塵器的主要組成：大扒頭：當(dāng)清掃地面面積較大時，使用大扒頭可有效快速的提高工作效率。小扒頭：清掃面積相對較小時，小扒頭可方便快捷的掃除工作臺底部的