碳環(huán)密封產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)建議書

碳環(huán)密封產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)建議書

研究先進(jìn)制造工藝方法、工藝基礎(chǔ)數(shù)據(jù)庫，研究并整合國內(nèi)外制造工藝相關(guān)數(shù)據(jù)資源，建立健全制造基礎(chǔ)技術(shù)數(shù)據(jù)庫、基礎(chǔ)制造工藝資源環(huán)境屬性數(shù)據(jù)庫等。研發(fā)基礎(chǔ)數(shù)據(jù)采集工具和知識庫管理系統(tǒng)和標(biāo)準(zhǔn)，開發(fā)面向基礎(chǔ)工藝和典型產(chǎn)品全生命周期環(huán)境影響評價(jià)工具。優(yōu)質(zhì)高效、節(jié)能、節(jié)材的先進(jìn)基礎(chǔ)制造工藝和自動(dòng)化、智能化技術(shù)的普及程度不高，能源消耗、材料利用率及污染排放與國際先進(jìn)水平相比存在較大差距。亟需發(fā)展先進(jìn)綠色制造技術(shù)與產(chǎn)品，突破制造業(yè)綠色產(chǎn)品設(shè)計(jì)、環(huán)保材料、節(jié)能環(huán)保工藝、綠色回收處理等關(guān)鍵技術(shù)，支撐制造業(yè)可持續(xù)發(fā)展。我國制造業(yè)發(fā)展取得的成績（一）制造業(yè)總量躍居世界第一，成為名副其實(shí)的制造大國近年來我國制造業(yè)總體規(guī)模已居世界第一位，綜合實(shí)力不斷增強(qiáng)，不僅對國內(nèi)經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)，而且成為支撐世界經(jīng)濟(jì)的重要力量。2014年，我國工業(yè)增加值達(dá)到22．8萬億元，占GDP的比重達(dá)到35．85%。2013年我國制造業(yè)產(chǎn)出占世界比重達(dá)到20．8%。在500余種主要工業(yè)產(chǎn)品中，我國有220多種產(chǎn)量位居世界第一。制造業(yè)的快速發(fā)展，直接促進(jìn)了我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展的速度、質(zhì)量和效益，增強(qiáng)了我國在全球化格局中的國際分工地位。（二）突破了一批核心技術(shù)，形成了一批支撐國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重大裝備產(chǎn)品十幾年來，制造業(yè)各領(lǐng)域涌現(xiàn)出了一批較有影響、意義深遠(yuǎn)的重大成果。國內(nèi)發(fā)電設(shè)備裝機(jī)中國產(chǎn)發(fā)電機(jī)組已達(dá)80%以上，年產(chǎn)千萬噸級大型煉油廠設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)90%，國產(chǎn)100萬千瓦超超臨界火電機(jī)組、國產(chǎn)750千伏交流輸變電成套設(shè)備已投入運(yùn)行。日產(chǎn)4000噸大型新型干法水泥生產(chǎn)線、60萬噸乙烯、30萬噸級合成氨、百萬噸級鉀肥等一大批大型成套技術(shù)裝備實(shí)現(xiàn)自主化。神舟系列航天飛船的成功發(fā)射，實(shí)現(xiàn)了載人航天工程的重大突破。蛟龍?zhí)栞d人潛水器研制和海試成功，標(biāo)志著中國躋身世界載人深潛先進(jìn)國家行列。（三）涌現(xiàn)出一批世界級的大企業(yè)，企業(yè)正在逐步成為技術(shù)創(chuàng)新主體2016年《財(cái)富》世界500強(qiáng)排行榜中，中國企業(yè)達(dá)110家，其中以工業(yè)為主的有50余家。社會創(chuàng)新要素不斷向企業(yè)集聚，工業(yè)企業(yè)研發(fā)投入快速增長，自主創(chuàng)新能力顯著增強(qiáng)。2015年，我國規(guī)模以上制造業(yè)研發(fā)投入強(qiáng)度達(dá)到0．91%；企業(yè)發(fā)明專利申請58．3萬件，占國內(nèi)發(fā)明專利申請受理量的60．2％；企業(yè)獲得發(fā)明專利授權(quán)15．9萬件，占國內(nèi)發(fā)明專利授權(quán)量的60．5％。企業(yè)作為市場主體，在自主創(chuàng)新中繼續(xù)發(fā)揮決定性作用。（四）初步形成了企業(yè)、高校、院所聯(lián)動(dòng)的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系近年來，我國制造業(yè)加強(qiáng)科技創(chuàng)新、促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化，取得了重要突破和實(shí)質(zhì)性進(jìn)展，形成了產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、較為完備的產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系。建設(shè)了一批國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國家工程技術(shù)研究中心等科研基地；成立了一批國家產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟，為我國制造業(yè)的健康持續(xù)發(fā)展提供了重要保障。影響機(jī)械密封行業(yè)發(fā)展的因素（一）影響機(jī)械密封行業(yè)發(fā)展的有利因素1、國家產(chǎn)業(yè)政策支持機(jī)械密封行業(yè)持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展機(jī)械密封行業(yè)的發(fā)展一直受益于國家產(chǎn)業(yè)政策的大力支持。十二五期間和十三五期間，國家相繼出臺了一系列相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策、規(guī)劃，對裝備制造業(yè)的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)進(jìn)行指導(dǎo)和大力支持?！蛾P(guān)于加快振興裝備制造業(yè)的若干意見》指出，裝備制造業(yè)是為國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國防建設(shè)提供技術(shù)裝備的基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè)和我國經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支柱產(chǎn)業(yè)，為加快裝備制造業(yè)的振興，要以裝備制造業(yè)振興為契機(jī)，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)協(xié)調(diào)發(fā)展。裝備制造業(yè)的快速發(fā)展將拉動(dòng)作為配套的機(jī)械密封產(chǎn)品的需求，促進(jìn)機(jī)械密封行業(yè)的同步快速發(fā)展?！妒逑冗M(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》確定先進(jìn)制造領(lǐng)域重點(diǎn)從系統(tǒng)集成、智能裝備、制造基礎(chǔ)和先進(jìn)制造科技創(chuàng)新示范工程四個(gè)層面，圍繞13個(gè)主要方向開展重點(diǎn)任務(wù)部署。制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件作為主要方向之一，發(fā)展內(nèi)容包括：圍繞高端液壓件與密封件開展新型高功率重量比和高能量密度液壓件的設(shè)計(jì)方法研究，研究密封可靠性設(shè)計(jì)、延壽、運(yùn)行試驗(yàn)技術(shù)，開發(fā)高參數(shù)密封件等。相關(guān)政府部門出臺的一系列支持和鼓勵(lì)政策為機(jī)械密封行業(yè)的發(fā)展指明了方向，營造了良好的政策環(huán)境。2、國民經(jīng)濟(jì)穩(wěn)定發(fā)展和一帶一路等國家戰(zhàn)略實(shí)施帶動(dòng)機(jī)械密封行業(yè)發(fā)展自改革開放以來，我國經(jīng)濟(jì)保持高速發(fā)展，工業(yè)增加值基本保持了平穩(wěn)快速增長態(tài)勢。根據(jù)國家統(tǒng)計(jì)局的數(shù)據(jù)顯示，2010-2019年間，我國工業(yè)增加值從16．51萬億元增長至31．71萬億元，年復(fù)合增長率達(dá)7．52%。機(jī)械密封行業(yè)的終端下游涉及石油化工、煤化工、管道輸送、電力、冶金、制藥、食品、船舶、、航空航天等眾多行業(yè)，行業(yè)分布廣泛，我國整體工業(yè)發(fā)展的良好趨勢將對機(jī)械密封行業(yè)的發(fā)展起到有力的拉動(dòng)作用。近年來，國家引導(dǎo)經(jīng)濟(jì)不斷向高質(zhì)量發(fā)展軌道轉(zhuǎn)換，我國工業(yè)在供給側(cè)改革不斷深入、節(jié)能環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)不斷提高、結(jié)構(gòu)調(diào)整不斷改善的背景下有望獲得更高質(zhì)量的發(fā)展，帶動(dòng)機(jī)械密封產(chǎn)品市場需求的持續(xù)增長。此外，隨著我國一帶一路等國際化戰(zhàn)略的不斷推進(jìn)，國內(nèi)機(jī)械密封行業(yè)廠商也將迎來走出去的發(fā)展機(jī)遇。一帶一路沿線國家的石油化工（含管道輸送）等工業(yè)發(fā)展也將為國內(nèi)機(jī)械密封產(chǎn)品的出口形成需求拉動(dòng)。伴隨產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級，近年來我國環(huán)保、航空航天、核電、生物制藥等行業(yè)發(fā)展迅速，尤其是對高端機(jī)械密封產(chǎn)品需求穩(wěn)定的新興行業(yè)崛起迅速。這些行業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)了對機(jī)械密封產(chǎn)品的需求增加。例如，在環(huán)保行業(yè)中，大型污水處理設(shè)備中的壓縮機(jī)、離心泵均需要機(jī)械密封產(chǎn)品。城鎮(zhèn)化的不斷推進(jìn)、工業(yè)產(chǎn)生廢水量的不斷增加及環(huán)保要求的不斷提高都要求污水處理能力不斷提升，相關(guān)環(huán)保設(shè)施的投入增加帶動(dòng)了相關(guān)設(shè)備及機(jī)械密封產(chǎn)品的需求。加上石油化工、煤化工、火電、冶金等行業(yè)的供給側(cè)改革深入、節(jié)能環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)提升、項(xiàng)目建設(shè)向大型化發(fā)展，中高端機(jī)械密封產(chǎn)品的市場需求將得到進(jìn)一步釋放。（二）影響機(jī)械密封行業(yè)發(fā)展不利因素國內(nèi)機(jī)械密封行業(yè)企業(yè)在低端產(chǎn)品市場競爭激烈；在對技術(shù)和創(chuàng)新能力要求嚴(yán)格的高端產(chǎn)品領(lǐng)域，僅少數(shù)企業(yè)可以進(jìn)行生產(chǎn)，許多產(chǎn)品仍然依賴進(jìn)口。受計(jì)劃經(jīng)濟(jì)期間重主機(jī)、輕配套思想的影響，長期以來，機(jī)械密封行業(yè)存在整體投入較少、基礎(chǔ)差、底子薄、實(shí)力弱等問題。國外機(jī)械密封行業(yè)巨頭在研發(fā)能力和研發(fā)投入方面遠(yuǎn)超國內(nèi)企業(yè)，國內(nèi)多數(shù)企業(yè)技術(shù)開發(fā)能力弱，缺乏自主研發(fā)實(shí)力，限制了企業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。高端機(jī)械密封對基礎(chǔ)密封材料的要求較高，目前國內(nèi)基礎(chǔ)材料生產(chǎn)廠商在高質(zhì)量產(chǎn)品的研發(fā)投入和生產(chǎn)方面還有待提高。中高端機(jī)械密封產(chǎn)品生產(chǎn)過程中所需的高性能石墨、工程陶瓷、高分子復(fù)合材料等密封基礎(chǔ)材料進(jìn)口依賴程度高，一定程度上限制了國內(nèi)中高端機(jī)械密封產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)。雖然在國內(nèi)機(jī)械密封市場中，國內(nèi)產(chǎn)品已逐步對進(jìn)口產(chǎn)品形成替代，尤其是中低端機(jī)械密封產(chǎn)品已經(jīng)基本達(dá)到完全進(jìn)口替代。但是，國際巨頭（如約翰克蘭、伊格爾博格曼）通過在華新建工廠對國內(nèi)廠商的發(fā)展形成了較大競爭壓力。國際巨頭在國內(nèi)本土化的產(chǎn)品定位在中低端市場，憑借其技術(shù)、資金和品牌等優(yōu)勢，通過在國內(nèi)新建工廠進(jìn)一步壓縮了其生產(chǎn)成本，加上其自身的品牌價(jià)值，國際巨頭在國內(nèi)市場競爭中獲得了一定的比較優(yōu)勢，對本就集中在中低端市場的國內(nèi)企業(yè)形成了較大的競爭壓力。因此，國內(nèi)機(jī)械密封生產(chǎn)廠商在發(fā)展過程中，不僅需要在高端產(chǎn)品的研發(fā)和進(jìn)口替代方面持續(xù)投入資金、人力等資源與國際巨頭競爭，還需要應(yīng)對國際巨頭本土化生產(chǎn)策略在中低端市場帶來的市場份額侵蝕壓力。高檔數(shù)控機(jī)床與基礎(chǔ)制造裝備堅(jiān)持主機(jī)牽引、夯實(shí)基礎(chǔ)、突破核心、工藝驗(yàn)證，聚焦航空航天和汽車兩個(gè)重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域，重點(diǎn)攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸，完成150種以上智能、精密、高速、復(fù)合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應(yīng)用，大幅提升國家重點(diǎn)工程、國民經(jīng)濟(jì)重點(diǎn)領(lǐng)域關(guān)鍵制造裝備國產(chǎn)化率，在強(qiáng)化高端數(shù)控裝備單機(jī)智能化水平提升的基礎(chǔ)上，逐步實(shí)現(xiàn)由單機(jī)示范應(yīng)用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升，擴(kuò)大專項(xiàng)裝備成果的應(yīng)用成效。（一）航空航天領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備聚焦航空航天典型結(jié)構(gòu)件加工需求，以提高加工效率和質(zhì)量為目標(biāo)，突破關(guān)鍵工藝和編程等核心技術(shù)；開展高檔五軸數(shù)控機(jī)床與關(guān)鍵成形裝備等主機(jī)的應(yīng)用驗(yàn)證與示范，推動(dòng)高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關(guān)鍵功能部件實(shí)現(xiàn)批量化應(yīng)用。（二）汽車制造領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備重點(diǎn)研究數(shù)控機(jī)床的可靠性快速試驗(yàn)技術(shù)與制造保障技術(shù)、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術(shù)，突破數(shù)控機(jī)床可靠性MTBF>2000小時(shí)的技術(shù)瓶頸，通過示范應(yīng)用與工藝驗(yàn)證，大幅提升國產(chǎn)數(shù)控機(jī)床的組線能力。加強(qiáng)成組成套工藝集成研究，為汽車關(guān)鍵零部件制造提供成套解決方案，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)高檔數(shù)控機(jī)床在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)關(guān)鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應(yīng)用。（三）智能裝備與先進(jìn)工藝重點(diǎn)解決高端裝備產(chǎn)品質(zhì)量較差、檔次不高，缺乏核心工藝，智能化程度不足，可靠性及精度保持性難題，研制一批代表性智能加工裝備、先進(jìn)工藝裝備和重大智能成套裝備，支撐我國高端裝備向高精尖和智能化互聯(lián)方向發(fā)展，引領(lǐng)裝備的智能化升級。激光制造面向航空航天、高端裝備、電子制造、新能源、新材料、醫(yī)療儀器等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的迫切需求，實(shí)現(xiàn)高端產(chǎn)業(yè)激光制造裝備的自主開發(fā)，形成激光制造的完整產(chǎn)業(yè)體系，促進(jìn)我國激光制造技術(shù)與產(chǎn)業(yè)升級，大幅提升我國高端激光制造技術(shù)與裝備的國際競爭力。（一）激光與材料的相互作用機(jī)理面向航空航天、新能源、電子制造、醫(yī)療等領(lǐng)域的國家重大需求，探索激光與材料相互作用的復(fù)雜物化過程，研究超快激光制造的新原理、新方法、新應(yīng)用。開展大功率激光/短波長激光與材料相互作用機(jī)理、高精高效制造方法等方面的研究，掌握激光高品質(zhì)表面制造、精細(xì)制造、極端微結(jié)構(gòu)、高精高效制造等制造機(jī)制與實(shí)現(xiàn)方法。（二）激光器與核心功能部件研究激光器動(dòng)力學(xué)，掌握激光晶體/光學(xué)晶體、半導(dǎo)體激光芯片等激光器關(guān)鍵功能部件的國產(chǎn)化。針對高端制造用激光器的迫切需求，開展工業(yè)化光纖/半導(dǎo)體大功率激光器制造技術(shù)、工業(yè)化超快（飛秒、皮秒）激光器制造技術(shù)、工業(yè)化短（紫外、深紫外）波長激光器制造技術(shù)等方面的研究，開展激光器標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)，實(shí)現(xiàn)高性能激光器及核心關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。（三）復(fù)雜構(gòu)件表面的激光精細(xì)制造技術(shù)與裝備研究激光表面精細(xì)制造、激光清洗、激光拋光等核心技術(shù)，探索器件表面功能性結(jié)構(gòu)的激光高質(zhì)、高效制造機(jī)理與新技術(shù)，研究關(guān)鍵構(gòu)件表面微結(jié)構(gòu)成形機(jī)理與實(shí)現(xiàn)方法，并掌握激光光束路徑規(guī)劃及高速掃描、激光制造裝備在線監(jiān)測與補(bǔ)償、激光制造過程精密在線檢測等裝備關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)航空航天、微電子、生物醫(yī)療等領(lǐng)域典型復(fù)雜構(gòu)件的激光精密加工技術(shù)與裝備，提升國產(chǎn)激光制造技術(shù)與裝備的競爭力。（四）大功率激光高效制造技術(shù)與裝備研究特殊工況下的激光制造機(jī)理與失效行為，突破大型構(gòu)件激光制造裝備的設(shè)計(jì)制造技術(shù)瓶頸，攻克大型構(gòu)件定位、質(zhì)量在線檢測等關(guān)鍵技術(shù)，研究激光切割、激光打孔、激光沖擊強(qiáng)化、激光焊接以及激光復(fù)合制造等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)面向飛機(jī)、船舶、高鐵等大型構(gòu)件制造中的高端激光制造技術(shù)、裝備與標(biāo)準(zhǔn)。（五）先進(jìn)激光精密微細(xì)制造技術(shù)與裝備針對航空航天、微電子、新型微小航空器件、光子集成器件等領(lǐng)域，突破激光衍射極限的納米尺度制造、復(fù)雜微納操縱及激光納米連接、激光光束整形與協(xié)同控制等關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)硬脆材料高效精密制造、異種材料的激光高性能連接制造、極端微納結(jié)構(gòu)精細(xì)制造等技術(shù)與裝備，并設(shè)計(jì)和加工若干具有重大應(yīng)用前景的新型功能器件。密封行業(yè)產(chǎn)品簡介在化學(xué)工業(yè)和石油化工等工業(yè)領(lǐng)域中，從原料到成品，往往需要經(jīng)過多道工序，因此該等行業(yè)也被稱為過程工業(yè)，過程工業(yè)的典型代表包括石油化工、煤化工等化工行業(yè)以及醫(yī)藥、食品等制造業(yè)。在過程工業(yè)中，既包括物理處理的過程，也包括化學(xué)變化的過程，其中絕大多數(shù)過程是在液相或氣相狀態(tài)下，并處于一定的壓力和溫度條件下進(jìn)行的，因此大多數(shù)機(jī)器設(shè)備本身以及設(shè)備之間的連接系統(tǒng)都存在流體（液體、氣體、粉體）的密封性問題。由于傳動(dòng)軸貫穿設(shè)備內(nèi)外，過程設(shè)備在工作過程中，軸與設(shè)備腔體之間存在一個(gè)圓周間隙，需要在此間隙處安裝密封作為阻止輸送流體泄漏的軸封裝置。若未安裝密封裝置，當(dāng)設(shè)備內(nèi)壓力高于外界壓力，機(jī)器設(shè)備內(nèi)部的流體可能向外部泄漏，反之，外界的流體也可能進(jìn)入機(jī)器設(shè)備內(nèi)部，造成工藝流體或環(huán)境污染。密封便是用于防止以上情況出現(xiàn)的重要零部件，因此也被稱為流體密封。過程設(shè)備（如壓縮機(jī)、泵和釜等）的工作原理是由電機(jī)/汽輪機(jī)等動(dòng)力裝置帶動(dòng)軸上的葉輪高速旋轉(zhuǎn)，使充滿在葉輪內(nèi)的液體或氣體介質(zhì)在離心力的作用下能夠?qū)ν忾L距離輸送。密封是過程設(shè)備中使用最廣泛的零部件之一，其性能不僅是評價(jià)過程設(shè)備完好率的關(guān)鍵指標(biāo)，也是決定工業(yè)安全和經(jīng)濟(jì)效率的重要因素。另外，化工行業(yè)設(shè)備工況惡劣，造成密封使用壽命有限，因此，密封件具有工業(yè)消耗品的屬性，需要定期和不定期更換。密封可分為靜密封和動(dòng)密封，沒有相對運(yùn)動(dòng)或相對靜止的結(jié)合面的密封稱為靜密封，彼此有相對運(yùn)動(dòng)的結(jié)合面間的密封稱為動(dòng)密封。動(dòng)密封根據(jù)運(yùn)動(dòng)件相對機(jī)體的運(yùn)動(dòng)方式分為往復(fù)軸密封和旋轉(zhuǎn)軸密封；根據(jù)密封面是否有間隙，又分為接觸式密封和非接觸式密封。并將干氣密封劃分為機(jī)械密封下屬的細(xì)分品種，導(dǎo)致理論知識和實(shí)際應(yīng)用之間的差異。考慮到行業(yè)人士的使用習(xí)慣和可理解性，機(jī)械密封指接觸式機(jī)械密封，不包括干氣密封；關(guān)于行業(yè)介紹部分，機(jī)械密封指機(jī)械端面密封，即包括干氣密封。機(jī)械端面密封產(chǎn)品性能對下游企業(yè)的安全生產(chǎn)、節(jié)能環(huán)保、長周期運(yùn)行等方面有舉足輕重的影響。機(jī)械端面密封作為各類旋轉(zhuǎn)設(shè)備最關(guān)鍵的核心零部件之一，是旋轉(zhuǎn)設(shè)備運(yùn)行中不可或缺的組成部分，對設(shè)備的安全運(yùn)行發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。密封件出現(xiàn)故障后不僅會導(dǎo)致生產(chǎn)癱瘓，還可能引發(fā)嚴(yán)重的安全生產(chǎn)和環(huán)保事故。以石化廠為例，一旦機(jī)械密封發(fā)生故障，流體旋轉(zhuǎn)設(shè)備將不得不停工檢修，特別是關(guān)鍵設(shè)備的密封出現(xiàn)故障，會導(dǎo)致工廠停工，造成重大經(jīng)濟(jì)損失，引發(fā)重大安全生產(chǎn)和環(huán)保事故。因此，機(jī)械密封是保障流體旋轉(zhuǎn)設(shè)備安全運(yùn)行的關(guān)鍵零部件，其國產(chǎn)化和進(jìn)口替代進(jìn)程將直接影響我國重大裝備配套的國產(chǎn)化和進(jìn)口替代進(jìn)程，也是滿足我國高端裝備制造和國家重大工程發(fā)展的客觀需要。極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝針對移動(dòng)通信、大數(shù)據(jù)、新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點(diǎn)領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，重點(diǎn)圍繞28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)進(jìn)行工藝、裝備和關(guān)鍵材料的協(xié)同布局，形成28-14納米裝備、材料、工藝、封測等較完善的產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)全產(chǎn)業(yè)鏈專項(xiàng)成果的規(guī)?；瘧?yīng)用，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)生態(tài)的改善和技術(shù)升級，實(shí)現(xiàn)技術(shù)促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)。（一）光刻機(jī)及核心部件研發(fā)干式光刻機(jī)產(chǎn)品并實(shí)現(xiàn)銷售；研制28納米浸沒式光刻機(jī)產(chǎn)品，進(jìn)入大生產(chǎn)線考核；開展配套光學(xué)系統(tǒng)、雙工件臺等核心部件產(chǎn)品研發(fā)，并集成到整機(jī)；構(gòu)建關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)品開發(fā)平臺，提升光刻機(jī)自主創(chuàng)新能力；建設(shè)光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)等關(guān)鍵部件生產(chǎn)基地，具備批量生產(chǎn)能力。（二）高端關(guān)鍵裝備及零部件面向集成電路14-10納米先進(jìn)工藝，重點(diǎn)開展刻蝕、薄膜、化學(xué)機(jī)械處理、摻雜和檢測等關(guān)鍵裝備及其配套核心零部件產(chǎn)品研發(fā)，通過大生產(chǎn)線考核并進(jìn)入銷售。（三）成套工藝及知識產(chǎn)權(quán)（IP）庫以移動(dòng)通信應(yīng)用為重點(diǎn)，開發(fā)14納米及相關(guān)產(chǎn)品工藝；以大數(shù)據(jù)應(yīng)用為重點(diǎn)，開發(fā)立體堆疊閃存（3D-D）存儲器工藝，開展7-5納米關(guān)鍵技術(shù)研究；面向新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點(diǎn)領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，開發(fā)特色產(chǎn)品工藝平臺；取得核心知識產(chǎn)權(quán)并實(shí)際應(yīng)用。（四）關(guān)鍵材料面向45-28-14納米集成電路工藝，重點(diǎn)研發(fā)300毫米硅片、深紫外光刻膠、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等關(guān)鍵材料產(chǎn)品，通過大生產(chǎn)線應(yīng)用考核認(rèn)證并實(shí)現(xiàn)規(guī)?；N售；研發(fā)相關(guān)超高純原材料產(chǎn)品，構(gòu)建材料應(yīng)用工藝開發(fā)平臺，支撐關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新生態(tài)體系建設(shè)與發(fā)展。（五）封裝測試面向移動(dòng)互聯(lián)和汽車電子等重大領(lǐng)域需求，圍繞處理器、存儲器、14-10納米工藝節(jié)點(diǎn)晶圓等產(chǎn)品開發(fā)下一代封裝集成與測試新技術(shù)以及相關(guān)的關(guān)鍵裝備和材料產(chǎn)品；實(shí)現(xiàn)可集成數(shù)模混合電路、射頻、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）和光電等多功能異質(zhì)材料芯片的三維系統(tǒng)集成技術(shù)的量產(chǎn)應(yīng)用；建成有影響力的封裝集成產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)研發(fā)平臺，取得較完善的知識產(chǎn)權(quán)體系。新型電子制造關(guān)鍵裝備面向?qū)捊麕О雽?dǎo)體器件、光通訊器件、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）器件、功率電子器件、新型顯示、半導(dǎo)體照明、高效光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的巨大市場需求，開展關(guān)鍵裝備與工藝的研究，重點(diǎn)解決電子器件關(guān)鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關(guān)鍵技術(shù)、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題，推動(dòng)新技術(shù)研發(fā)與關(guān)鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展，構(gòu)建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。（一）寬禁帶半導(dǎo)體/半導(dǎo)體照明等關(guān)鍵裝備研究針對碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)對關(guān)鍵制造裝備的需求，開展大尺寸（6吋）寬禁帶半導(dǎo)體材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導(dǎo)體照明（LED、OLED）大生產(chǎn)線對制造裝備的需求，開展大產(chǎn)能材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備研發(fā)，掌握核心技術(shù)與工藝，滿足大生產(chǎn)線要求。（二）光通訊器件關(guān)鍵裝備及工藝研究針對光通訊器件制造對裝備的需求，重點(diǎn)圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP（銦磷）基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關(guān)鍵裝備等開展研究，掌握核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品應(yīng)用，提升國內(nèi)光通訊器件制造能力及工藝水平。（三）MEMS器件/電力電子器件等關(guān)鍵裝備與工藝研究針對MEMS器件、電力電子器件等領(lǐng)域?qū)ρb備的特殊工藝需求，開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝的研發(fā)，掌握關(guān)鍵技術(shù)、開發(fā)特色工藝，提高國產(chǎn)裝備的工藝適應(yīng)性及可靠性。研究基于國產(chǎn)裝備為主的成套工藝，完成對國產(chǎn)裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗(yàn)證及集成應(yīng)用，打造自主產(chǎn)業(yè)鏈，提升產(chǎn)業(yè)競爭力。（四）高效光伏電池關(guān)鍵裝備及工藝研究針對下一代高效光伏電池技術(shù)（PERC、HIT、黑硅電池