二封機產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動指南

二封機產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動指南

制造業(yè)是國民經(jīng)濟的主體，是富國之基、強國之本。我國經(jīng)濟社會各領(lǐng)域的發(fā)展，要求制造業(yè)提供更先進的生產(chǎn)技術(shù)水平、高品質(zhì)的消費產(chǎn)品、自主可控的重大技術(shù)裝備。從制造大國轉(zhuǎn)變?yōu)橹圃鞆妵俏覈圃鞓I(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略選擇。發(fā)展先進制造技術(shù)，增強制造領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力和整體實力，推進制造質(zhì)量和產(chǎn)品品牌建設(shè)，才能全面提升我國制造業(yè)水平，這是提升我國綜合國力、保障國家安全、建設(shè)世界強國的必由之路。綠色制造重點面向我國制造業(yè)發(fā)展中高能耗、高污染的問題，以提高資源能源效率和降低環(huán)境負荷為主線，以綠色產(chǎn)品、綠色工廠為目標(biāo)，掌握生態(tài)設(shè)計理論與工具、綠色制造方法與工藝、試驗驗證平臺、綠色標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范等基礎(chǔ)共性技術(shù)，推廣基礎(chǔ)制造工藝綠色化、流程工業(yè)綠色化技術(shù)，提升通用設(shè)備產(chǎn)品能效、工業(yè)廢棄物回收再制造與再資源化等生態(tài)效率水平。（一）基于綠色理念的減量化設(shè)計與創(chuàng)新設(shè)計通過創(chuàng)新研發(fā)，突破新材料應(yīng)用及改性設(shè)計、節(jié)能降噪設(shè)計、個性化定制設(shè)計、可拆解與回收設(shè)計等生態(tài)設(shè)計關(guān)鍵技術(shù)。掌握全生命周期高效綠色循環(huán)再利用基礎(chǔ)理論及關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)戰(zhàn)略性資源高效綠色循環(huán)再利用。研究典型綠色產(chǎn)品新原理、新結(jié)構(gòu)設(shè)計及應(yīng)用關(guān)鍵技術(shù)，開發(fā)一批綠色制造前沿技術(shù)、核心技術(shù)與裝備，開發(fā)推廣綠色產(chǎn)品，引導(dǎo)綠色生產(chǎn)。（二）綠色加工工藝與裝備重點研究基礎(chǔ)工藝綠色化技術(shù)、流程工業(yè)綠色工藝技術(shù)、量大面廣的典型通用設(shè)備產(chǎn)品節(jié)能、減排、降耗技術(shù)。實施重點行業(yè)系統(tǒng)改造的示范應(yīng)用。開發(fā)高效清潔基礎(chǔ)制造工藝及裝備、無害化表面處理工藝技術(shù)、少無切削液清潔加工工藝與設(shè)備、鋼鐵短流程工藝、有色金屬清潔冶煉工藝。開展制造工藝創(chuàng)新和集成應(yīng)用，加快實現(xiàn)重點行業(yè)制造系統(tǒng)和裝備的綠色升級。（三）制造系統(tǒng)能效優(yōu)化關(guān)鍵技術(shù)圍繞制造系統(tǒng)能效優(yōu)化與提升和終端用能產(chǎn)品節(jié)能，突破產(chǎn)品能效及其集成優(yōu)化匹配技術(shù)，制造系統(tǒng)機群綜合能效模型與智能分析技術(shù)、機群綜合能效的智能協(xié)同優(yōu)化控制技術(shù)；掌握系統(tǒng)能效分析與獲取、能效評價、監(jiān)控與優(yōu)化管理、設(shè)備系統(tǒng)能效提升、工藝系統(tǒng)多目標(biāo)決策優(yōu)化、工件比能效率提升等系列關(guān)鍵技術(shù)；在規(guī)模以上企業(yè)開展車間、工廠以及產(chǎn)業(yè)集群的能耗定額管理和高能效優(yōu)化運行，推行制造系統(tǒng)能效評價和優(yōu)化應(yīng)用。（四）資源循環(huán)利用核心技術(shù)突破典型機械裝備及零部件智能再制造和流程行業(yè)在役再制造關(guān)鍵技術(shù)，推動再制造成套技術(shù)與裝備水平上臺階及產(chǎn)業(yè)模式創(chuàng)新，培育形成從舊件到再制造產(chǎn)品的循環(huán)產(chǎn)業(yè)鏈，提高再制造效率及其產(chǎn)業(yè)附加值。掌握大宗材料高效、精細化、高附加值資源化技術(shù)和裝備，推進資源再生利用產(chǎn)業(yè)規(guī)范化、規(guī)?；l(fā)展，逐步擴大產(chǎn)業(yè)規(guī)模，提升資源化效率及其產(chǎn)業(yè)附加值，培育形成新的經(jīng)濟增長點。（五）行業(yè)/區(qū)域綠色工廠、綠色產(chǎn)品集成應(yīng)用示范創(chuàng)新綠色制造產(chǎn)業(yè)新模式，系統(tǒng)研究綠色制造的基礎(chǔ)理論、運行模式、建模仿真技術(shù)，綠色產(chǎn)品、綠色工廠標(biāo)準(zhǔn)體系、評價標(biāo)準(zhǔn)。在汽車、機床、鋼鐵、冶金等行業(yè)/區(qū)域的開展全產(chǎn)業(yè)鏈綠色制造技術(shù)、綠色工廠、綠色產(chǎn)品的集成應(yīng)用示范。高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備堅持主機牽引、夯實基礎(chǔ)、突破核心、工藝驗證，聚焦航空航天和汽車兩個重點服務(wù)領(lǐng)域，重點攻克高檔數(shù)控系統(tǒng)和功能部件等瓶頸，完成150種以上智能、精密、高速、復(fù)合型高端制造業(yè)裝備的研制和示范應(yīng)用，大幅提升國家重點工程、國民經(jīng)濟重點領(lǐng)域關(guān)鍵制造裝備國產(chǎn)化率，在強化高端數(shù)控裝備單機智能化水平提升的基礎(chǔ)上，逐步實現(xiàn)由單機示范應(yīng)用向智能化制造成組成套整體解決方案的提升，擴大專項裝備成果的應(yīng)用成效。（一）航空航天領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備聚焦航空航天典型結(jié)構(gòu)件加工需求，以提高加工效率和質(zhì)量為目標(biāo)，突破關(guān)鍵工藝和編程等核心技術(shù)；開展高檔五軸數(shù)控機床與關(guān)鍵成形裝備等主機的應(yīng)用驗證與示范，推動高檔數(shù)控系統(tǒng)和以擺角銑頭為代表的關(guān)鍵功能部件實現(xiàn)批量化應(yīng)用。（二）汽車制造領(lǐng)域高檔數(shù)控裝備重點研究數(shù)控機床的可靠性快速試驗技術(shù)與制造保障技術(shù)、數(shù)控系統(tǒng)的可靠性第三方測試及可靠性增長技術(shù)，突破數(shù)控機床可靠性MTBF>2000小時的技術(shù)瓶頸，通過示范應(yīng)用與工藝驗證，大幅提升國產(chǎn)數(shù)控機床的組線能力。加強成組成套工藝集成研究，為汽車關(guān)鍵零部件制造提供成套解決方案，實現(xiàn)國產(chǎn)高檔數(shù)控機床在汽車發(fā)動機關(guān)鍵零部件高效柔性加工與批量化制造中的成組成套應(yīng)用。世界制造業(yè)發(fā)展趨勢進入21世紀(jì)以來，在經(jīng)濟全球化和社會信息化的背景下，國際制造業(yè)競爭日益激烈，對先進制造技術(shù)的需求更加迫切。云計算、大數(shù)據(jù)、移動互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等新興信息技術(shù)與制造業(yè)的深度融合，正在引發(fā)對制造業(yè)研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和商業(yè)模式的深刻變革，科技創(chuàng)新已成為推動先進制造業(yè)發(fā)展的主要驅(qū)動力。（一）智能正成為制造業(yè)的關(guān)鍵要素越來越多的制造企業(yè)通過應(yīng)用嵌入式軟件、微電子、互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)等信息技術(shù)，提升產(chǎn)品智能化程度和研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、經(jīng)營管理的智能化水平，打造高端產(chǎn)品和裝備，占據(jù)產(chǎn)業(yè)制高點。同時，制造裝備控制技術(shù)的極大提高，使制造裝備的自診斷、自維護、自恢復(fù)成為現(xiàn)實，并將推動制造裝備向智能化階段邁進。（二）服務(wù)促進產(chǎn)業(yè)模式變革，重塑制造業(yè)價值鏈在同質(zhì)化競爭和供大于求的全球市場環(huán)境下，制造業(yè)產(chǎn)業(yè)價值鏈的高端向研發(fā)和產(chǎn)品運營維護等服務(wù)生命周期轉(zhuǎn)移，更多的制造企業(yè)成為提供產(chǎn)品、服務(wù)、支持、自我服務(wù)和知識的綜合體。服務(wù)與制造相互滲透融合，從生產(chǎn)型制造走向服務(wù)型制造是大勢所趨，產(chǎn)業(yè)模式向定制化的規(guī)模生產(chǎn)和服務(wù)型生產(chǎn)轉(zhuǎn)變特征明顯。（三）可持續(xù)發(fā)展成為制造業(yè)與自然、社會協(xié)調(diào)的重要主題綠色發(fā)展理念逐步成為共識，激勵制造企業(yè)開始重視綠色技術(shù)在產(chǎn)品研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)制造、銷售服務(wù)和回收利用等產(chǎn)品全生命周期中的應(yīng)用，創(chuàng)新高效、節(jié)能、環(huán)保和可循環(huán)的新型制造工藝和裝備，不斷降低資源消耗和環(huán)境影響，實現(xiàn)企業(yè)經(jīng)濟效益和社會效益的協(xié)調(diào)優(yōu)化，符合經(jīng)濟社會可持續(xù)發(fā)展的低碳環(huán)保和循環(huán)利用要求。（四）制造大數(shù)據(jù)和平臺成為高附加值增值服務(wù)的重要支撐工業(yè)大數(shù)據(jù)是制造企業(yè)高附加值增值服務(wù)的來源，制造企業(yè)全業(yè)務(wù)數(shù)據(jù)化在對制造系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集和分析形成業(yè)務(wù)數(shù)據(jù)閉環(huán)的基礎(chǔ)上，將有效支撐企業(yè)制造過程優(yōu)化和經(jīng)營管理決策，促進企業(yè)對市場、用戶的精準(zhǔn)供給和企業(yè)間的資源分享利用，從而打造智慧企業(yè)，并為消費者、用戶以及企業(yè)自身創(chuàng)造顯著的增量價值。新型電子制造關(guān)鍵裝備面向?qū)捊麕О雽?dǎo)體器件、光通訊器件、MEMS（微機電系統(tǒng)）器件、功率電子器件、新型顯示、半導(dǎo)體照明、高效光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的巨大市場需求，開展關(guān)鍵裝備與工藝的研究，重點解決電子器件關(guān)鍵材料裝備、器件制造裝備等高端裝備缺乏關(guān)鍵技術(shù)、可靠性低、工藝開發(fā)不足等問題，推動新技術(shù)研發(fā)與關(guān)鍵裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展，構(gòu)建高端電子制造裝備自主創(chuàng)新體系。（一）寬禁帶半導(dǎo)體/半導(dǎo)體照明等關(guān)鍵裝備研究針對碳化硅（SiC）、氮化鎵（GaN）等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)對關(guān)鍵制造裝備的需求，開展大尺寸（6吋）寬禁帶半導(dǎo)體材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝研究。針對高亮度半導(dǎo)體照明（LED、OLED）大生產(chǎn)線對制造裝備的需求，開展大產(chǎn)能材料制備、器件制造、性能檢測等關(guān)鍵裝備研發(fā)，掌握核心技術(shù)與工藝，滿足大生產(chǎn)線要求。（二）光通訊器件關(guān)鍵裝備及工藝研究針對光通訊器件制造對裝備的需求，重點圍繞硅基光電子芯片工藝裝備、InP（銦磷）基等光電子芯片工藝裝備、光纖器件工藝裝備、光電子器件耦合封裝等關(guān)鍵裝備等開展研究，掌握核心技術(shù)，實現(xiàn)產(chǎn)品應(yīng)用，提升國內(nèi)光通訊器件制造能力及工藝水平。（三）MEMS器件/電力電子器件等關(guān)鍵裝備與工藝研究針對MEMS器件、電力電子器件等領(lǐng)域?qū)ρb備的特殊工藝需求，開展材料制備、芯片制造、特種封裝、性能檢測等關(guān)鍵裝備與工藝的研發(fā)，掌握關(guān)鍵技術(shù)、開發(fā)特色工藝，提高國產(chǎn)裝備的工藝適應(yīng)性及可靠性。研究基于國產(chǎn)裝備為主的成套工藝，完成對國產(chǎn)裝備的工藝優(yōu)化、可靠性驗證及集成應(yīng)用，打造自主產(chǎn)業(yè)鏈，提升產(chǎn)業(yè)競爭力。（四）高效光伏電池關(guān)鍵裝備及工藝研究針對下一代高效光伏電池技術(shù)（PERC、HIT、黑硅電池等）對關(guān)鍵裝備及工藝的需求，開展大產(chǎn)能、高轉(zhuǎn)換效率光伏電池制造工藝裝備、自動化制造裝備、核心工藝等研究，降低電池片制造成本，轉(zhuǎn)換效率達到國際領(lǐng)先水平，實現(xiàn)批量銷售。（五）新材料，新器件關(guān)鍵電子裝備與核心部件研究針對石墨烯、碳基電子器件、柔性顯示、光互聯(lián)等國際上不斷出現(xiàn)的新材料、新器件、新工藝對半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)的裝備需求，開展面向電子器件應(yīng)用石墨烯材料制備裝備、大面積轉(zhuǎn)移裝備、石墨烯電子器件制造裝備、柔性顯示有機膜材料制備裝備、柔性顯示有機器件制造及檢測裝備、碳基電子器件制造裝備、光互聯(lián)器件制備裝備、高密度封裝等方面的關(guān)鍵裝備開發(fā)，滿足研發(fā)或產(chǎn)業(yè)化需求，推動新技術(shù)研發(fā)與裝備研發(fā)的協(xié)同發(fā)展。智能機器人推動機器人產(chǎn)業(yè)與人工智能等新一代信息技術(shù)深度融合，突破共性關(guān)鍵技術(shù)，形成具有國際競爭力的機器人產(chǎn)品，協(xié)同標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)、技術(shù)驗證平臺與系統(tǒng)建設(shè)、以及典型示范應(yīng)用，支撐我國機器人技術(shù)和產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展。（一）智能機器人基礎(chǔ)前沿技術(shù)結(jié)合機器人與以人工智能為代表的新一代信息技術(shù)深度融合的國際發(fā)展趨勢，開展機構(gòu)/材料/驅(qū)動/傳感/控制與仿生的創(chuàng)新技術(shù)、智能機器人感知與認(rèn)知技術(shù)、智能機器人學(xué)習(xí)與智能增殖技術(shù)、人機自然交互與協(xié)作共融技術(shù)等重大基礎(chǔ)前沿技術(shù)研究，搭建機器人技術(shù)驗證平臺系統(tǒng)，開展試驗驗證，取得原創(chuàng)性創(chuàng)新成果，為我國新一代智能機器人提供技術(shù)支撐。（二）智能機器人共性關(guān)鍵技術(shù)以攻克制約我國機器人技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的共性關(guān)鍵技術(shù)為目標(biāo)，開展高性能機器人核心零部件（RV減速器、諧波減速器、伺服電機與驅(qū)動器、機器人控制器）、專用傳感器、軟件體系及多任務(wù)操作系統(tǒng)、功能軟件、計量測試/安全與可靠性、應(yīng)用工藝及系統(tǒng)集成等共性關(guān)鍵技術(shù)研究，建立機器人安全性與可靠性技術(shù)體系，機器人性能達到國際同類產(chǎn)品水平，解決我國機器人產(chǎn)業(yè)空心化問題，提升國產(chǎn)機器人的國際競爭力。（三）新一代機器人技術(shù)與平臺開展主/被動結(jié)合新型機構(gòu)與驅(qū)動、模塊化柔順關(guān)節(jié)、關(guān)節(jié)變剛度彈性驅(qū)動、生物-機械界面與接口的人機相容性設(shè)計、人機安全共存、智能交互、協(xié)同作業(yè)等新一代機器人核心技術(shù)研究，研制以協(xié)作型多自由度輕型臂、協(xié)作型雙臂機器人、移動操作臂等為代表的新一代互助協(xié)作型作業(yè)機器人和以上肢外骨骼、下肢外骨骼、全身外骨骼等為代表的新一代人體行為增強型機器人試驗樣機系統(tǒng)，為后續(xù)產(chǎn)品化奠定技術(shù)基礎(chǔ)，實現(xiàn)新一代機器人技術(shù)研究與世界同步，搶占技術(shù)與產(chǎn)業(yè)制高點。（四）機器人關(guān)鍵產(chǎn)品/平臺/系統(tǒng)研發(fā)研發(fā)新型作業(yè)機器人、醫(yī)療/康復(fù)機器人、面向老年人/殘障人士的生活輔助機器人、特殊環(huán)境服役自主作業(yè)機器人、機器人云端在線服務(wù)平臺、機器人智能作業(yè)技術(shù)及系統(tǒng)等高端機器人關(guān)鍵產(chǎn)品/平臺/系統(tǒng)，豐富我國機器人產(chǎn)品種類，完善我國機器人產(chǎn)品譜系建設(shè)，提升我國機器人的整體性能與智能水平，創(chuàng)新服務(wù)領(lǐng)域和商業(yè)模式，支撐我國機器人技術(shù)與產(chǎn)業(yè)向高端發(fā)展，徹底轉(zhuǎn)變低水平重復(fù)的局面。（五）系統(tǒng)集成與應(yīng)用推進我國機器人面向制造業(yè)典型行業(yè)/重點領(lǐng)域、醫(yī)療/康復(fù)、助老助殘/智慧家庭/社會服務(wù)、安全與救援/科學(xué)工程等行業(yè)/領(lǐng)域的系統(tǒng)集成與應(yīng)用，實現(xiàn)我國機器人技術(shù)與產(chǎn)品在國家重點行業(yè)/領(lǐng)域高端應(yīng)用和典型領(lǐng)域拓展應(yīng)用，提高國產(chǎn)機器人國際競爭力，為國產(chǎn)機器人產(chǎn)業(yè)化奠定基礎(chǔ)，加速推進我國智能機器人技術(shù)與產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。（六）極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝針對移動通信、大數(shù)據(jù)、新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，重點圍繞28-14納米技術(shù)節(jié)點進行工藝、裝備和關(guān)鍵材料的協(xié)同布局，形成28-14納米裝備、材料、工藝、封測等較完善的產(chǎn)業(yè)鏈，推動全產(chǎn)業(yè)鏈專項成果的規(guī)模化應(yīng)用，促進產(chǎn)業(yè)生態(tài)的改善和技術(shù)升級，實現(xiàn)技術(shù)促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展目標(biāo)。（七）光刻機及核心部件研發(fā)干式光刻機產(chǎn)品并實現(xiàn)銷售；研制28納米浸沒式光刻機產(chǎn)品，進入大生產(chǎn)線考核；開展配套光學(xué)系統(tǒng)、雙工件臺等核心部件產(chǎn)品研發(fā)，并集成到整機；構(gòu)建關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)品開發(fā)平臺，提升光刻機自主創(chuàng)新能力；建設(shè)光刻機光學(xué)系統(tǒng)等關(guān)鍵部件生產(chǎn)基地，具備批量生產(chǎn)能力。（八）高端關(guān)鍵裝備及零部件面向集成電路14-10納米先進工藝，重點開展刻蝕、薄膜、化學(xué)機械處理、摻雜和檢測等關(guān)鍵裝備及其配套核心零部件產(chǎn)品研發(fā)，通過大生產(chǎn)線考核并進入銷售。（九）成套工藝及知識產(chǎn)權(quán)（IP）庫以移動通信應(yīng)用為重點，開發(fā)14納米及相關(guān)產(chǎn)品工藝；以大數(shù)據(jù)應(yīng)用為重點，開發(fā)立體堆疊閃存（3D-D）存儲器工藝，開展7-5納米關(guān)鍵技術(shù)研究；面向新能源、智能制造、物聯(lián)網(wǎng)等重點領(lǐng)域大宗產(chǎn)品制造需求，開發(fā)特色產(chǎn)品工藝平臺；取得核心知識產(chǎn)權(quán)并實際應(yīng)用。（十）關(guān)鍵材料面向45-28-14納米集成電路工藝，重點研發(fā)300毫米硅片、深紫外光刻膠、拋光材料、超高純電子氣體、濺射靶材等關(guān)鍵材料產(chǎn)品，通過大生產(chǎn)線應(yīng)用考核認(rèn)證并實現(xiàn)規(guī)?；N售；研發(fā)相關(guān)超高純原材料產(chǎn)品，構(gòu)建材料應(yīng)用工藝開發(fā)平臺，支撐關(guān)鍵材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新生態(tài)體系建設(shè)與發(fā)展。（十一）封裝測試面向移動互聯(lián)和汽車電子等重大領(lǐng)域需求，圍繞處理器、存儲器、14-10納米工藝節(jié)點晶圓等產(chǎn)品開發(fā)下一代封裝集成與測試新技術(shù)以及相關(guān)的關(guān)鍵裝備和材料產(chǎn)品；實現(xiàn)可集成數(shù)?；旌想娐?、射頻、微機電系統(tǒng)（MEMS）和光電等多功能異質(zhì)材料芯片的三維系統(tǒng)集成技術(shù)的量產(chǎn)應(yīng)用；建成有影響力的封裝集成產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)研發(fā)平臺，取得較完善的知識產(chǎn)權(quán)體系。工業(yè)傳感器針對工業(yè)互聯(lián)、智能制造的高端需求，順應(yīng)傳感器微型化、集成化、智能化發(fā)展趨勢，形成一批高端傳感器和儀器儀表產(chǎn)品，支撐我國智能制造發(fā)展，解決微納傳感器硅基兼容制造、封裝、可靠性、集成化等核心共性技術(shù)，引領(lǐng)未來發(fā)展。（一）工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)用微納傳感器研究無源無線多參數(shù)監(jiān)測傳感器，高能量密度振動能量收集器等前沿技術(shù)。研發(fā)傳感器與電路協(xié)同設(shè)計技術(shù)及設(shè)計工具，傳感器與電路單片集成工藝技術(shù)，硅基功能薄膜兼容制造等關(guān)鍵共性技術(shù)。開發(fā)單片集成傳感器，陣列傳感器，多功能傳感器，低功耗傳感器，無線集成傳感器等產(chǎn)品。（二）離散制造業(yè)用微納傳感器研究柔性襯底傳感器，芯片級原子效應(yīng)傳感器等前沿技術(shù)，研發(fā)數(shù)字全場激光超聲檢測技術(shù)，高精度二維三維光柵測試等關(guān)鍵共性技術(shù)。研發(fā)運動部件溫度、應(yīng)變、振動傳感器，轉(zhuǎn)速傳感器，微型繼電器，微型電場傳感器，多維位移同步測量傳感器，微型高精度姿態(tài)測量單元等產(chǎn)品。（三）流程工業(yè)用微納傳感器研究高精度諧振式壓力傳感器，微型聲矢量傳感器等前沿技術(shù)。研發(fā)傳感器芯片與封裝材料特性測試技術(shù)及其數(shù)據(jù)庫，微傳感器可靠性及其測試等關(guān)鍵共性技術(shù)。研發(fā)高溫壓力傳感器、風(fēng)速風(fēng)向傳感器、紅外高溫傳感器、工業(yè)現(xiàn)場氣體檢測傳感器等產(chǎn)品。（四）智能制造用儀器儀表研究智能儀器儀表可靠性建模、設(shè)計與仿真，參數(shù)標(biāo)定與校準(zhǔn)、非線性補償方法等動態(tài)測試與性能評估，關(guān)鍵部件芯片化等前沿技術(shù)；研發(fā)復(fù)雜工業(yè)測量儀表在線標(biāo)定，高端智能測量儀表設(shè)計、精確自動補償、生產(chǎn)工藝、裝配等，在線分析儀器小型化關(guān)鍵部件、微弱信號精密檢測等共性關(guān)鍵技術(shù)；研發(fā)高精度壓力/質(zhì)量/流量/物位儀表，壓力/質(zhì)量流量儀表在線批量化標(biāo)定裝置，小型化在線分析儀、感知/控制/驅(qū)動一體化控制器等產(chǎn)品。（五）特種專用儀器儀表研究力熱平衡結(jié)構(gòu)設(shè)計、多傳感器三維納米定位等納米三坐標(biāo)測量，工件姿態(tài)和運動參數(shù)測量、空間坐標(biāo)測量、大型零部件尺寸和形位誤差測量、激光跟蹤等大型裝備制造智能化測量等前沿技術(shù)，研發(fā)工業(yè)現(xiàn)場級虛擬測量、工業(yè)設(shè)施現(xiàn)場故障診斷、特種執(zhí)行機構(gòu)和控制閥設(shè)計、制造和仿真等共性關(guān)鍵技術(shù)，研制激光跟蹤測量儀器、現(xiàn)場級虛擬測量儀表、復(fù)雜機械運行故障檢測等工業(yè)現(xiàn)場專用診斷儀器、特種執(zhí)行機構(gòu)和控制閥等。網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造以推進互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務(wù)與制造融合發(fā)展為主線，以重塑制造業(yè)技術(shù)體系、生產(chǎn)模式、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價值鏈以及促進制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級為目標(biāo)，探索一批引領(lǐng)發(fā)展的制造與服務(wù)新模式，突破一批網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造理論、關(guān)鍵技術(shù)與標(biāo)準(zhǔn)，研發(fā)一批互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件，創(chuàng)建一批互聯(lián)網(wǎng)+制造服務(wù)平臺。（一）網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造模式與理論圍繞推進互聯(lián)網(wǎng)與制造業(yè)、服務(wù)業(yè)與制造業(yè)融合發(fā)展以及打造智慧企業(yè)的創(chuàng)新需求，探索云制造等網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造新模式；研究智慧空間與工業(yè)大數(shù)據(jù)、服務(wù)型制造與制造服務(wù)融合等前沿理論；研發(fā)與構(gòu)建產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)融合、多模式智能供應(yīng)鏈、服務(wù)價值鏈協(xié)同、多學(xué)科支撐的工業(yè)大數(shù)據(jù)精準(zhǔn)分析、在線運維與預(yù)測運營等核心模型與關(guān)鍵技術(shù)。為重塑制造業(yè)技術(shù)體系、產(chǎn)業(yè)形態(tài)和價值鏈提供理論支撐。（二）互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件圍繞基于互聯(lián)網(wǎng)的協(xié)同制造服務(wù)新模式，面向創(chuàng)新設(shè)計、企業(yè)經(jīng)營與資源管理、產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)以及工業(yè)云、工業(yè)大數(shù)據(jù)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等平臺系統(tǒng)的構(gòu)建，研發(fā)復(fù)雜產(chǎn)品全數(shù)字化優(yōu)化和仿真、產(chǎn)品全生命周期/服務(wù)生命周期管理、資源管理與智能供應(yīng)鏈協(xié)同、基于OT的智能服務(wù)、工業(yè)大數(shù)據(jù)分析等平臺系統(tǒng)與軟件，形成互聯(lián)網(wǎng)+協(xié)同制造工業(yè)軟件系統(tǒng)，支撐網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造創(chuàng)新發(fā)展。（三）基于互聯(lián)網(wǎng)+的創(chuàng)新設(shè)計探索支撐制造業(yè)要素資源共享互聯(lián)及社會力量參與互動的研發(fā)設(shè)計新模式；攻克互聯(lián)網(wǎng)+環(huán)境下設(shè)計資源共享、研發(fā)設(shè)計價值鏈協(xié)同以及眾創(chuàng)空間構(gòu)建新技術(shù)；研發(fā)支持云制造的設(shè)計資源共享與協(xié)同創(chuàng)新平臺、典型行業(yè)眾創(chuàng)服務(wù)平臺以及制造業(yè)產(chǎn)品眾包設(shè)計服務(wù)平臺。推進制造業(yè)從企業(yè)創(chuàng)新到眾創(chuàng)眾包的發(fā)展轉(zhuǎn)變。（四）資源管理與智能供應(yīng)鏈攻克互聯(lián)網(wǎng)+環(huán)境下基于工業(yè)云與工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)經(jīng)營管理及資源集成共享技術(shù)、智能供應(yīng)鏈協(xié)同與精準(zhǔn)服務(wù)技術(shù)；研發(fā)制造核心企業(yè)和第三方服務(wù)商主導(dǎo)的多模式制造企業(yè)經(jīng)營管理與資源集成共享云平臺、智能供應(yīng)鏈管理集成平臺與產(chǎn)業(yè)價值鏈協(xié)同云平臺；構(gòu)建企業(yè)制造資源協(xié)同空間。推動從企業(yè)運行向價值鏈協(xié)同運營轉(zhuǎn)變。（五）產(chǎn)品全生命周期制造服務(wù)攻克制造服務(wù)價值鏈重構(gòu)、產(chǎn)品服務(wù)生命周期管理、在線運維與預(yù)測運營等關(guān)鍵技術(shù)；研發(fā)產(chǎn)品服務(wù)生命周期集成管理平臺、制造服務(wù)價值鏈協(xié)同云服務(wù)平臺以及高端裝備智能預(yù)測與精準(zhǔn)服務(wù)云平臺；打造制造與服務(wù)融合的服務(wù)價值鏈協(xié)同新體系。支撐制造業(yè)向制造+服務(wù)轉(zhuǎn)型升級。（六）工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動的網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造平臺攻克產(chǎn)品數(shù)據(jù)鏈、資源數(shù)據(jù)鏈、供應(yīng)數(shù)據(jù)鏈、制造數(shù)據(jù)鏈、服務(wù)數(shù)據(jù)鏈及其無縫集成、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動的企業(yè)智能決策與預(yù)測預(yù)警等關(guān)鍵技術(shù)；研發(fā)基于工業(yè)大數(shù)據(jù)的企業(yè)業(yè)務(wù)管控與決策分析、企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間構(gòu)建等技術(shù)系統(tǒng)；打造云制造服務(wù)平臺、工業(yè)大數(shù)據(jù)驅(qū)動的網(wǎng)絡(luò)協(xié)同制造平臺等；構(gòu)建企業(yè)智慧數(shù)據(jù)空間，開展平臺典型應(yīng)用。智能裝備與先進工藝重點解決高端裝備產(chǎn)品質(zhì)量較差、檔次不高，缺乏核心工藝，智能化程度不足，可靠性及精度保持性難題，研制一批代表性智能加工裝備、先進工藝裝備和重大智能成套裝備，支撐我國高端裝備向高精尖和智能化互聯(lián)方向發(fā)展，引領(lǐng)裝備的智能化升級。（一）智能機床重點研究新一代智能機床的技術(shù)特征、總體結(jié)構(gòu)、核心模塊和關(guān)鍵技術(shù)，攻克智能主軸/智能伺服進給/智能終端等智能單元、基于模型的復(fù)雜曲面直接插補、機床通用通信接口協(xié)議規(guī)范、加工狀態(tài)自感知/自學(xué)習(xí)/自適應(yīng)/自優(yōu)化、虛擬機床及虛擬加工、基于工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)和加工過程大數(shù)據(jù)的監(jiān)控及遠程服務(wù)、全生命周期可靠性評估與增長等核心關(guān)鍵技術(shù)，研制出具有國際一流技術(shù)水平的新一代