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學(xué)習(xí)報(bào)告絲網(wǎng)印刷的定義利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透漿料,非圖文部分網(wǎng)孔不透漿料的基本原理進(jìn)行印刷。印刷時(shí)在絲網(wǎng)一端倒入漿料,用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力,同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。漿料在移動(dòng)中被刮板從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。印刷過程中刮板始終與絲網(wǎng)印版和承印物呈線接觸,接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng),而絲網(wǎng)其它部分與承印物為脫離狀態(tài),保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當(dāng)刮板刮過整個(gè)印刷區(qū)域后抬起,同時(shí)絲網(wǎng)也脫離基片,并通過回墨刀將漿料輕刮回初始位置,工作臺(tái)返回到上料位置,至此為完整的一個(gè)印刷行程。絲網(wǎng)印刷的五個(gè)要素絲網(wǎng)印刷由五大要素構(gòu)成,即絲網(wǎng)、刮刀、漿料、工作臺(tái)以及基片。刮刀刮刀的作用是將漿料以一定的速度和角度將漿料壓入絲網(wǎng)的漏孔中,刮刀在印刷時(shí)對(duì)絲網(wǎng)保持一定的壓力,刃口壓強(qiáng)在10~15N/cm之間,刮板壓力過大容易使絲網(wǎng)發(fā)生變形,印刷后的圖形與絲網(wǎng)的圖形不一致,也加劇刮刀和絲網(wǎng)的磨損,刮板壓力過小會(huì)在印刷后的絲網(wǎng)上存在殘留漿料。刮刀和回墨刀的拆裝1.刮刀、回墨刀和螺絲2.刮刀螺絲向外(面向自己)3.將刮刀的孔對(duì)準(zhǔn)刮刀軸,平行方向推入。4.裝上螺絲時(shí),注意墊片方向1.2.3.4.回墨刀回墨刀螺絲刮刀刮刀螺絲刮刀和回墨刀的拆裝1.將刮刀固定螺絲鎖上2.將回墨刀固定螺絲先鎖至一半3.將回墨刀開口朝右方向裝上4.將螺絲向右鎖上1.2.3.4.絲網(wǎng)印刷—漿料漿料是由功能組份、粘結(jié)組份和有機(jī)載體組成的一種流體,功能組份一般為貴金屬或貴金屬的混合物。載體是聚合物在有機(jī)溶劑中的溶液。功能組份決定了成膜后的電性能和機(jī)械性能。載體決定了厚膜的工藝特性,是印刷膜和干燥膜的臨時(shí)粘結(jié)劑。功能組份和粘結(jié)組份一般為粉末狀,在載體中進(jìn)行充分?jǐn)嚢韬头稚⒑笮纬筛酄畹暮衲{料。燒結(jié)后的厚膜導(dǎo)體是由金屬與粘結(jié)組份組成。有機(jī)載體包括有機(jī)高分子聚合物、有機(jī)溶劑、有機(jī)添加劑等等。它調(diào)節(jié)了漿料的流變性,固體粒子的浸潤(rùn)性,金屬粉料的懸浮性和流動(dòng)性以及漿料整體的觸變性,決定了印刷質(zhì)量的優(yōu)劣。絲網(wǎng)印刷—網(wǎng)版網(wǎng)版是由不銹鋼織成不同網(wǎng)目大小的網(wǎng)紗及涂在網(wǎng)紗上的乳膠裝在網(wǎng)框架組成。網(wǎng)版圖樣設(shè)計(jì)開孔處則將乳膠去除,刮刀刷過網(wǎng)紗時(shí)可將施放在網(wǎng)版上的漿料透過圖樣開孔處印在基材上,主要決定印刷厚度為乳膠厚度。絲網(wǎng)印刷時(shí)根據(jù)不同的網(wǎng)版張力、乳膠厚度、刮刀下壓力量、刮刀速度、刮刀下刀及離刀遲滯時(shí)間等等參數(shù)可得到不同的印刷厚度。此外,漿料的粘滯性、基材表面的親疏水性、烘干溫度時(shí)間都會(huì)影響到印刷的高度及深度。絲網(wǎng)印刷流程Wafer背電極印刷烘箱背電場(chǎng)印刷烘箱正電極印刷燒結(jié)爐測(cè)試分選入庫(kù)一般電池片結(jié)構(gòu)銀電極作用:輸出電流。電極就是與電池p-n結(jié)兩端形成緊密歐姆接觸的導(dǎo)電材料。與p型區(qū)接觸的電極是電流輸出的正極,與n型區(qū)接觸的電極是電流輸出的負(fù)極。耐高溫?zé)Y(jié)、良好的導(dǎo)電性能及附著力,以及貴金屬成本等因素,決定了用銀而不是其他貴金屬;正面電極由兩部分構(gòu)成,主柵線是直接接到電池外部引線的較粗部分,副柵線則是為了將電流收集起來傳遞到主線去的較細(xì)部分,制作成窄細(xì)的柵線狀以克服擴(kuò)散層的電阻。電極圖形,例如電極的形狀、寬度和密度等,對(duì)于太陽(yáng)電池轉(zhuǎn)換效率影響較大。銀電極電極材料的選擇能與硅形成牢固的接觸;這種接觸應(yīng)是歐姆接觸,接觸電阻??;有優(yōu)良的導(dǎo)電性;純度適當(dāng);化學(xué)穩(wěn)定性好;銀的特性熔點(diǎn):961.78℃,電阻率:1.586×10^-8Ω·m(20℃)銀的特征氧化數(shù)為+1,其活動(dòng)性比銅差,常溫下,甚至加熱時(shí)也不與水和空氣中的氧作用。有很好的柔韌性和延展性,是導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性最好的金屬。銀電極正面電極因?yàn)橐獪p少電極遮光面積,所以使用導(dǎo)電性能良好的銀漿,因?yàn)橄惹暗臏p反射膜已經(jīng)形成正面的電性絕緣,所以銀漿一般摻有含鉛的硼酸玻璃粉(PbO-B2O3-SiOglassfrit),在高溫?zé)Y(jié)時(shí)玻璃粉硼酸成分與氮化硅反應(yīng)并刻蝕穿透氮化硅薄膜,此時(shí)銀可以滲入其下方并與硅形成此種局部區(qū)域性的電性接觸,鉛的作用是銀-鉛-硅共熔而降低銀的熔點(diǎn)。銀與硅形成歐姆接觸有機(jī)物揮發(fā)玻璃料在減反射膜表面聚集玻璃料腐蝕穿過減反射膜玻璃料通過與Si發(fā)生氧化還原反應(yīng)產(chǎn)生腐蝕坑
PbO+SiPb+SiO2Ag晶粒在冷卻過程中于腐蝕坑處結(jié)晶?由于玻璃料對(duì)Si表面腐蝕具有各向異性,導(dǎo)致在Si表面形成了倒三角形的腐蝕坑。因此Ag晶粒在腐蝕坑處結(jié)晶時(shí)與Si表面接觸的一側(cè)呈倒金字塔狀,而與玻璃料接觸的一側(cè)則成圓形。銀晶粒的析出機(jī)理?(1)與PbO和Si發(fā)生的氧化還原反應(yīng)類似,玻璃料中的Ag2O與Si發(fā)生如下反應(yīng):
Ag2O+Si——Ag+SiO2(2)Ag和被腐蝕的Si同時(shí)融入玻璃料中。冷卻時(shí),玻璃料中多余的Si外延生長(zhǎng)在基體上,Ag晶粒則在Si表面隨機(jī)生長(zhǎng)。(3)在燒結(jié)過程中通過氧化還原反應(yīng)被還原出的金屬Pb呈液態(tài),當(dāng)液態(tài)鉛與銀相遇時(shí),根據(jù)Pb-Ag相圖銀粒子融入鉛中形成Pb-Ag相。Pb-Ag熔體腐蝕Si的<100>晶面。冷卻過程中,Pb和Ag發(fā)生分離,Ag在<111>晶面上結(jié)晶,形成倒金字塔形。鋁背場(chǎng)1.背鋁作為背電場(chǎng)能夠阻擋電子的移動(dòng),減小了表面的復(fù)合率,有利于載流子的吸收;2.減少光穿透硅片,增強(qiáng)對(duì)長(zhǎng)波的吸收;3.Al吸雜,形成重?fù)诫s,提高少子壽命;4.鋁的導(dǎo)電性能良好,金屬電阻小,而且鋁的熔點(diǎn)相對(duì)其他的合適金屬來說熔點(diǎn)低,有利于燒結(jié)。5.在燒結(jié)時(shí)p-type的鋁摻雜滲入形成使原本摻雜硼的p-typeSi形成一層數(shù)微米厚的p+-typeSi作為背場(chǎng),以降低背表面復(fù)合速度來提高電池的開路電壓Voc。6.因?yàn)楣杵障禂?shù)差,當(dāng)厚度變薄時(shí)襯底對(duì)入射光的吸收減少,此時(shí)背場(chǎng)的存在對(duì)可以抵達(dá)硅片深度較深的長(zhǎng)波長(zhǎng)光吸收有幫助,所以短路電流密度Jsc的影響就更明顯。7.p和p+的能階差也可以提升Voc,p+可以形成低電阻的歐姆接觸所以填充因子FF也可改善。鋁背場(chǎng)對(duì)鋁漿的技術(shù)要求形成鋁背p-p+結(jié),提高開路電壓;形成硅鋁合金對(duì)硅片進(jìn)行有效地吸雜,提高效率;能與硅形成牢固的歐姆接觸;有優(yōu)良的導(dǎo)電性;化學(xué)穩(wěn)定性好;有適宜大規(guī)模生產(chǎn)的工藝性;價(jià)格較低。鋁的特性熔點(diǎn):660.37℃,具有良好的導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性和延展性。在空氣中其表面會(huì)形成一層致密的氧化膜,使之不能與氧、水繼續(xù)作用。鋁板對(duì)光的反射性能也很好,鋁背場(chǎng)的形成1.將鋁漿印刷在硅的表面。2.將沉積好的硅片放進(jìn)峰值溫度超過577℃(鋁硅合金共熔溫度)的鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐里進(jìn)行燒結(jié)。3.當(dāng)溫度低于577℃時(shí),鋁硅不發(fā)生作用,當(dāng)溫度升到共晶溫度577℃時(shí),在交界面處,鋁原子和硅原子相互擴(kuò)散,隨著時(shí)間的增加和溫度的升高,硅鋁熔化速度加快,最后整個(gè)界面變成鋁硅熔體,在交界面處形成組成為11.3%硅原子和88.7%鋁原子的熔液。印刷品質(zhì)漿料本身的性質(zhì)對(duì)產(chǎn)品有很大的影響:(1)因?yàn)椴牧蠠崤蛎浵禂?shù)的差異,漿料成分的不同也會(huì)造成太陽(yáng)能電池的翹彎問題;(2)燒結(jié)后漿料的附著性也是一個(gè)問題,要通過拉力測(cè)試;(3)背場(chǎng)有鋁球形成,原因:①硅片表面織構(gòu)化過程時(shí)造成表面高低差過大;②干燥時(shí)間太短;③在燒結(jié)時(shí)鋁顆粒間相互融溶而使顆粒間距縮短;工藝參數(shù)對(duì)印刷的影響參數(shù)影響刮刀壓力(pressure)刮刀壓力越小,填入網(wǎng)孔的墨量就越多印刷速度(speed)濕重在某一速度下達(dá)到最大值,低于此速度,速度增大濕重增大,高于此值,速度增大濕重較小印刷高度(down-stop)down-stop值越大,濕重越小絲網(wǎng)間距(snap-off)絲網(wǎng)間距增大,油墨的轉(zhuǎn)移量也增大,但隨著刮刀壓力的增加,絲網(wǎng)間距對(duì)油墨轉(zhuǎn)移量影響趨小刮刀截面對(duì)刮刀的截面形狀來說,刮刀邊越銳利,線接觸越細(xì),出墨量就越大;邊越圓,出墨量就越少軟件主要分Cyc攔le、Pri劍nt、Oper艱ator等界面非印刷相冊(cè)關(guān)的硬件見參數(shù)瞎印刷參啄數(shù)抖常車用操作界怎面軟件控制輝參數(shù)意義EnableMagazineLoader機(jī)器運(yùn)行時(shí)從承載盒中吸取硅片EnablePrinting選項(xiàng)不勾選時(shí),印刷過程被跳過EnableFlip-Over不勾選時(shí),翻轉(zhuǎn)器不工作EnableLoadBreakageWafer不勾選時(shí),翻轉(zhuǎn)器不檢查是否硅片破損EnableOvenHeating允許爐子加熱EnableUnloadOven爐子只出硅片而不進(jìn)硅片EnableBypassOven硅片在行走擘上直接進(jìn)入下一工序Dispenser
設(shè)置自動(dòng)添加漿料的頻率EnableWaferAlignment允許在印刷之前通過攝像來校準(zhǔn)硅片EnableScreenAlignment對(duì)網(wǎng)板上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行定位CheckBreakageBefore檢查硅片在印刷前是否破碎PaperChange印刷次數(shù)達(dá)到設(shè)置的數(shù)字時(shí),機(jī)器停運(yùn)行SingleNest強(qiáng)制機(jī)器只在設(shè)定的那個(gè)臺(tái)面上印刷印刷參甩數(shù)PRIN柳TING貢A這lter化nate揮squ廈eege柴e單程印辣刷:刮泉刀向前侍運(yùn)動(dòng)印趁刷一片朗片子,模向后返港回印刷貝下一片惜;Doub合le旦sque度egee兩次印裹刷:對(duì)肆每一塊給片子向撫前印刷錄一次,屋再向后傍印刷一酬次;Squ吃eeg盤ee豆and提Fl始o(jì)od印刷后回軟料(常用批);Floo陶dan亞dsq茅ueeg鴉ee回料后印扣刷;SCR盡EEN鼓Sn貴ap-差off網(wǎng)版間蘇距印刷辦時(shí)電池準(zhǔn)到網(wǎng)板脈的距離;Park網(wǎng)版停卷止位置駱,印刷特完成后戰(zhàn)電池到錦網(wǎng)板的艷距離;Spe傍ed庫(kù)upw綱ard網(wǎng)板上升啊速度;QU義EEG蛙EE傘D課own母-st禽op刮板高度翼,這是印序刷時(shí)刮刀躁的位置;Park刮板的幣停止位獎(jiǎng)置,印家刷和回盛墨完成知后,印存刷頭的鞭停止位順置;Pre包ssu逐re刮刀壓力;ADV繁ANC箭EME句NT懲Pos柄iti述on1刮刀起始弊位置;Pos虜iti拼on2印刷后的拾返回位置;Pos歇itio戴n3印刷后殃停止位請(qǐng)置Posi餓tion蟻4印刷后屆開始返所回時(shí)位父置,機(jī)駁器印刷叨時(shí)括刀浩后退的疊開始位扯置。FLO尿OD顯SUE豪EGE趣E攪Pri乓nti喬ng辰spe肌ed印刷速披度;Flo棕ods決peed回料速度X,遍Y,就The乞ta挨pie井ce鐵off嗎set學(xué)s網(wǎng)板位釘置在三滾個(gè)方向惰上偏移哀量。印刷參數(shù)Sna族p-o司ff網(wǎng)版間距交印刷時(shí)電裙池到網(wǎng)板薯的距離。已這個(gè)參數(shù)觸關(guān)系到Z向電機(jī)幟的運(yùn)動(dòng)炭,因?yàn)闇?zhǔn)向下是架正向,作所以這陽(yáng)個(gè)參數(shù)器是一個(gè)墨負(fù)數(shù)。敗絲網(wǎng)間代距的零房誠(chéng)點(diǎn)由壓魚力傳感騾器來決罷定,每滅次照點(diǎn)舍時(shí)會(huì)進(jìn)粥行一次綿零點(diǎn)的糊尋找。萍絲網(wǎng)間先距的調(diào)捧節(jié)規(guī)律具是設(shè)置別值越大尋,透墨俘量越高左,當(dāng)?shù)娇噙_(dá)一定般高度時(shí)盤,油墨亭無法觸彩及承印揪物表面唐時(shí)就會(huì)馬造成印械刷不全進(jìn)或無法寶印刷;謎設(shè)置值梳越小,撤透墨量兼越低,炎當(dāng)?shù)偷焦S一定高腹度時(shí),胖硅片無執(zhí)法在設(shè)雙定的脫懸離速度與和真空押的帶動(dòng)洞下脫離臉網(wǎng)版而宵粘黏在召網(wǎng)版上排就是粘協(xié)片;Park網(wǎng)版停械止位置伍,印刷掌完成后結(jié)電池到測(cè)網(wǎng)板的譯距離,廚這個(gè)參度數(shù)也是柱個(gè)負(fù)數(shù)宣。此值那設(shè)定偏釀低時(shí)會(huì)膀造成網(wǎng)危版在印量刷完成佩后由于筆位置較相低而刮忘花印刷晃圖形;Spee下dup店ward網(wǎng)板上升庭速度,這附是Z向電機(jī)盟在印刷柔完成后娘從印刷銹位置向垃上移動(dòng)昂至停止古位置的州速度。璃此值設(shè)碰定過慢算時(shí),會(huì)待使硅片吉來不及將脫離網(wǎng)抹版而造魯成粘片謹(jǐn);QUE歌EGE彼E食Do番wn-谷sto單p刮刀高度戚,這是印改刷時(shí)刮刀覆的位置,瘡這個(gè)參數(shù)吸的零點(diǎn)以移網(wǎng)版承載碧漿料的一彩面為準(zhǔn),突由于絲網(wǎng)鼻間距和刮過板高度為慰?jī)蓚€(gè)不同鋸的電機(jī)進(jìn)習(xí)行控制,連所以他們觀并不與sna阻pe-寺off相關(guān)聯(lián),銀如果操作蚊人員改變牌了snap泉-off,一定要途同步修改傭這個(gè)參數(shù)覽,但一般執(zhí)在壓力模踐式下,此價(jià)值變更的據(jù)意義不大辦;Par陵k刮刀的停蛋止位置,累印刷和回先墨完成后臟,印刷頭風(fēng)的停止位破置。Pre殃ssu蛋re刮刀壓力糕,印刷時(shí)潮括刀下降鞠到Dow等n-s仔top位置,常這個(gè)位窮置的參橫數(shù)必須漏設(shè)置得踩比電池蠟稍低(0.3-豪0.4m島m應(yīng)該足夠中了),這樣凡實(shí)際的倚壓力(償左邊顯煌示的數(shù)設(shè)值)才型能達(dá)到粘設(shè)置值愉。單位轎是牛頓牙,在壓琴力模式嫁下,印講刷壓力亦越大,銷瞬時(shí)刮艷刀下降筒的位置東就會(huì)越遇低,很哪可能會(huì)麗遠(yuǎn)超過0.3腫-0.飲4mm告,對(duì)網(wǎng)版和室印刷質(zhì)量習(xí)造成比較殃大的損害角,所以在燥日常設(shè)定枝印刷壓力棟時(shí)需以小據(jù)為宜。實(shí)尤際參數(shù)設(shè)器定時(shí),壓利力越大,剛承印量越姐小,壓力遮越小,承疲印量越大粘,,壓力敢的變化實(shí)侍際是刮刀渣位置的變稠化。印刷工序地注意點(diǎn)1、第一道錫背面銀電旦極,第二店道背面鋁搶背場(chǎng)的印啟刷和烘干侵,主要監(jiān)堆控印刷后撈的濕重;圍第三道正塊面銀電極荷的印刷,殊主要監(jiān)控志印刷后的歲濕重和次際柵線的寬貸度。第二灘道道濕重杰過大,一之方面浪費(fèi)珠漿料,同貸時(shí)還會(huì)導(dǎo)故致其不能世在進(jìn)高溫超區(qū)之前充殿分干燥,兔甚至不能水將其中的撈所有有機(jī)潮物趕出從饅而不能將央整個(gè)鋁漿貫層轉(zhuǎn)變?yōu)榛旖饘黉X,漁另外濕重蛇過大可能貨造成燒結(jié)雖后電池片圈弓片。濕釘重過小,呢所有鋁漿副均會(huì)在后間續(xù)的燒結(jié)籌過程中與濫硅形成熔足融區(qū)域而笑被消耗,屋而該合金三區(qū)域無論映從橫向電慢導(dǎo)率還是多從可焊性劍方面均不盲適合于作友為背面金多屬接觸,駕另外還有勺可能出現(xiàn)航鼓包等外紙觀不良。灘第三道道殘柵線寬度圣過大,會(huì)曬使電池片玩受光面積邁較少,效同率下降;印刷工序神注意點(diǎn)2、隱裂牽片:保給持電池加片背面也和印刷好臺(tái)面平贏整,注衰意各道合印刷臺(tái)鬧面和網(wǎng)霞版內(nèi)不頸要有碎訪片等大接的異物瞧,必要跟時(shí)更換細(xì)臺(tái)面紙碑,清洗幫網(wǎng)版并球處理混順有異物社的漿料醉;3、粘片臂:按照狠形式來另分可以拳分為連麗續(xù)的粘最片和非傘連續(xù)的引粘片。愚對(duì)于連家續(xù)的粘撤片,往輪往是由椒于印刷殲參數(shù)設(shè)營(yíng)置不合喬理導(dǎo)致義的,主愈要有sna善p-o悉ff設(shè)置太低舟,或者網(wǎng)賓版的PAR水K位置太小低,印作刷壓力朝過大等誓原因,跡有時(shí)臺(tái)里面真空回不足也集會(huì)造成激此類問葡題,也額有些情砌況下如阻果漿料朽的粘度炕過大也堂會(huì)造成譽(yù)粘片,采特別是趟對(duì)于攪叛拌不足仙的漿料哀尤其容吹易發(fā)生仰粘片;因?qū)τ诜墙赃B續(xù)粘吵片,一晨般是正退對(duì)某個(gè)鈴臺(tái)面的娛問題,艘一般可寨能是由乘于臺(tái)面贏紙透氣濃性比較帶差,或梯者某個(gè)士臺(tái)面的顆真空有貿(mào)問題;4、結(jié)點(diǎn)和鮮斷線:發(fā)橫生在3道,一般狗是由于漿廈料在網(wǎng)版辣內(nèi)停留時(shí)幕間較長(zhǎng),傲漿料變干利,聚集成棒大的顆粒廈,或者漿革料內(nèi)有大當(dāng)?shù)漠愇?,侄刮條經(jīng)過遣時(shí),大顆彎粒將網(wǎng)孔戲撐大,該摸部位印刷總的漿料比翼其他部位疲多,形成喪所謂結(jié)點(diǎn)隸,而嚴(yán)重凍時(shí)這些顆艱?;虍愇锿鈺?huì)堵塞網(wǎng)撕孔,漿料療無法透過纖,造成斷嶺柵。一般亭用無塵布其蘸取松油駕醇擦拭網(wǎng)頓版。頻繁妨出現(xiàn)時(shí)需貼要檢查漿表料粘度是獄否過大,幟若漿料正巴常,則需寒更改相關(guān)掩工藝參數(shù)角以解決,氏必要時(shí)清光洗或更換侵網(wǎng)版。絲網(wǎng)印刷古注意事項(xiàng)1、保持印贊刷平臺(tái)的遞清潔,隨時(shí)清除別平臺(tái)上的摟任何碎片捕和異物,防止產(chǎn)艙生碎片鼠或損壞科網(wǎng)版。2、及時(shí)袍清理行掛走臂和訓(xùn)烘箱里罷的碎片,防止堵塞劣電機(jī)或產(chǎn)菠生新的碎絨片。3、印刷臺(tái)環(huán)上的貼紙聚要平整、驅(qū)干凈,否布則易引起退碎片或報(bào)割警。4、根據(jù)消具體情修況,及時(shí)調(diào)整臣印刷參數(shù)霸。5、出現(xiàn)彈報(bào)警時(shí)箭應(yīng)首先興查看報(bào)睡警信息鹽顯示,然后采若取相應(yīng)男措施。6、機(jī)器自始動(dòng)運(yùn)行時(shí)脆不要打開該或調(diào)用需盈手動(dòng)狀態(tài)溉下運(yùn)行的段軟件功能施(如攝像單校正,輸膜入輸出顯籮示控制等狀),否則缸會(huì)造成死械機(jī)。7、設(shè)備斜運(yùn)行中貸禁止修茶改系統(tǒng)茅時(shí)間,倚否則會(huì)亡造成死悅機(jī)。燒結(jié)原稿理印刷了漿婦料的硅片顯經(jīng)過烘干羽排焦過程帆后使?jié){料罰中的大部藝分有機(jī)溶蘭劑揮發(fā),繳膜層收縮抓為固狀物虹緊密粘附商在硅片上思,這時(shí)可頓視為金屬葛電極材料抓和硅片接龍觸在一起有。所謂的星燒結(jié)過程貍是要使電敏極和硅片顏本身形成根歐姆接觸漫,其原理瞇為當(dāng)電極橋里金屬材嘩料和半導(dǎo)乞體單晶硅揮加熱到共座晶溫度時(shí),單晶硅艘原子以巨一定比蹤蝶例融入捧到熔融州的合金異電極材恩料中.單晶硅原舅子融入到沙電極金屬詳中的整個(gè)要過程一般描只需要幾約秒鐘的時(shí)展間。融入質(zhì)單晶硅原好子數(shù)目取板決于合金井溫度和電梨極材料的石體積,燒鏡結(jié)合金溫種度越高,個(gè)電極金屬屑材料體積備越大,則狡融入的硅刻原子數(shù)目窮就越多,押這時(shí)的合而金狀態(tài)被蹲稱為晶體櫻電極金屬蓋的合金系虧統(tǒng).如果此時(shí)丹的溫度降每低,系統(tǒng)開警始冷卻僻形成再形結(jié)晶層,這時(shí)原先萍溶入到電估極金屬材自料中的硅釀原子重新哪以固態(tài)形淋式結(jié)晶出濤來,也就是在挑金屬和晶幟體接觸界問面上生長(zhǎng)批出一層外您延層.如果外延回層內(nèi)含有焦足夠的量把的與原先蠢晶體材料銷導(dǎo)電類型網(wǎng)相同的雜鼻質(zhì)成分,迅就獲得了榴用合金法斥工藝形成桂的歐姆接興觸;如果妻在結(jié)晶層答含有足夠畏量的與原考先晶體材絡(luò)料導(dǎo)電類持型異型的目雜質(zhì)成分價(jià)就獲得了減用合金工序藝形成的P-N結(jié)。燒結(jié)作用合和目的就是把印作刷到硅片吸上的電極借在高溫下緞燒結(jié)成電激池片,最終使蠢電極和狠硅片本扮身形成取歐姆接斯觸,從而提窗高電池傅片的開沙路電壓漠和填充盈因子2個(gè)關(guān)鍵升因素參輝數(shù),是電極怨的接觸妄具有電芽阻特性,達(dá)到生產(chǎn)告高轉(zhuǎn)效率獲電池片的醉目的.燒結(jié)過籌程中有計(jì)利于PECV老D工藝所唱引入-H向體內(nèi)擴(kuò)資散,可以燙起到良好拾的體鈍化癥作用。燒結(jié)方木式:高嗚溫快速督燒結(jié)加熱方葛式:紅膊外線加館熱燒結(jié)過程燒結(jié)是一訪個(gè)擴(kuò)散、搭流動(dòng)和物棟理化學(xué)反參應(yīng)綜合作料用的過程敞。在印刷障狀況穩(wěn)定皆的前提下蛇,溫區(qū)溫膠度、氣體謠流量、帶槳速是燒結(jié)安的三個(gè)關(guān)是鍵參數(shù)。由于要率形成合罰金必須夕達(dá)到一映定的溫阿度,Ag、Al與Si形成合罩金的穩(wěn)緞定又不嶺同,所愿以必須公設(shè)定不學(xué)同的溫扭度來分堵別實(shí)現(xiàn)嘆合金化盒。將印刷好思的上,下電極和片背場(chǎng)的硅卡片經(jīng)過網(wǎng)摧印刷機(jī)的勉傳送帶傳收到燒結(jié)爐其中,經(jīng)過烘干排破焦、燒臨結(jié)和冷綱卻過程來論完成燒秧結(jié)工藝嬸最終達(dá)袋到上下救電極和捐電池片啟的歐姆格接觸。①烘干排丟焦一在網(wǎng)帶援的上、射下都裝糖有加熱貞帶,由隸溫控儀珠控制其斬溫度。幸目的是強(qiáng)將印刷五有漿料裳硅片烘瓣干,并熔使?jié){料拾內(nèi)絕大廚部分焦精油揮發(fā)性出來。亭如果溫愉度設(shè)置才不合理山,不能鉛使大部異分焦油雙從漿料努中揮發(fā)姨出來,獲剩下的手焦油在擊進(jìn)入下雹一區(qū)域溝時(shí)會(huì)對(duì)沫燒結(jié)的敘效果影住響很嚴(yán)程重,對(duì)狼轉(zhuǎn)換率獻(xiàn)有高達(dá)0.2%的影響。飼為了保證版設(shè)備安全蕉,在每個(gè)政區(qū)域都設(shè)否有2個(gè)熱電渾偶,一蘭個(gè)用于管溫度控瘡制,一墾個(gè)用于舉過溫保辣護(hù)。①烘干避排焦二為了減殼少腔室腔內(nèi)熱量搖的損失桐,在設(shè)援備腔室液內(nèi)部的軌四周安厘裝上隔蔑熱板,宏并在腔墊室外的駛兩邊裝腹上了鋁桶的隔熱銅反射板春,讓整逗個(gè)腔室偽始終保鉗持一個(gè)品穩(wěn)定的恢溫度,藥有利于奧工藝的幫穩(wěn)步進(jìn)怖行。對(duì)流器:為了能吉讓從漿笨料中揮纖發(fā)的焦獄油全部呢從抽風(fēng)割管道中穩(wěn)抽走,排設(shè)計(jì)了徑一個(gè)對(duì)哭流加熱施器。從傲烘干區(qū)糧上部的靈對(duì)流加慶熱器中羅吹出溫耕度受控逆的氣體彎,吹到狀腔室中筒,在從稠烘干區(qū)肉的兩頭清將氣體禁抽出,裳保證從舅硅片揮慰發(fā)出來泊的焦油晝被對(duì)流穴加熱器秒吹出的曉熱氣帶輕出腔室守內(nèi),而根不會(huì)導(dǎo)薄致硅片徑揮發(fā)出疑來的熱目焦油在違機(jī)器出映口處冷帖凝而回祥流到設(shè)警備里。欲對(duì)流盒遼子內(nèi)置視在加熱易盒子里項(xiàng),經(jīng)過纖過濾的界大氣被福熱空氣痰風(fēng)扇吸鞠入到一束個(gè)溫度耗可控的威加熱器煩中,最持后進(jìn)入醋到腔室影內(nèi)。但飯為保證童安全操保作,如車果吸入抓的空氣練總量在司增加,唇相應(yīng)離狐開的總米量必須致是合適珍的。②快速加尿熱燒結(jié)根據(jù)工素藝要求惹,需要傷此腔室及的燈管盾能提供停很高(款高到100艙0℃)的溫度漏,并且能之在高溫下役工作。一臟般用石英劑玻璃管加川熱器。此烤種設(shè)備用驚氣流把快頸速加熱箱潮分成4獨(dú)立的覺加熱系香統(tǒng),以寧保證每禿個(gè)腔室落溫度的惕獨(dú)立性寬,可形告成一個(gè)閃一個(gè)的青溫度階絮梯,從留而使最夜后一個(gè)舌溫區(qū)的侄溫度在斑很短時(shí)葬間達(dá)到京一個(gè)很甚高的溫紀(jì)度。這濫樣設(shè)計(jì)霧還可以非是每個(gè)重隔離區(qū)旋域橫向乏位置溫憤度的不龍均勻性返在一個(gè)斯很小的揭范圍內(nèi)滅。在此賓腔室內(nèi)練每個(gè)抽參風(fēng)口都厘特別設(shè)繩計(jì)了一歸個(gè)帶加率熱裝置陜的文氏閥,能保抽證腔室朱內(nèi)產(chǎn)生給的廢氣上流很快狠離開腔途室,避他免在燒滴結(jié)溫區(qū)咸廢氣對(duì)確硅片的慎污染,測(cè)還能讓譯產(chǎn)生的障廢氣流柴不在管光道口處安冷凝。閃對(duì)于溫觸度的測(cè)缺試,2個(gè)熱偶鹿被安裝疏在加熱鋸區(qū)域。忽一個(gè)用萄于溫度親控制,冒一個(gè)用辟于超溫懲報(bào)警。憐最后一初個(gè)溫區(qū)揭中安裝誤了2個(gè)熱偶,縱于皮帶正都上方20m蹤蝶m處,他比們反映拘了形成棚歐姆接盡觸的共每晶溫度國(guó)的真實(shí)獨(dú)值,他完們的值鉗可以在旗加熱菜找單看到酒,可以濕直接了紙解內(nèi)部瘋的實(shí)際翠溫度。黎為了能瞧讓溫度育急劇下警降,在心高溫區(qū)呀出口處侍的側(cè)壁煮、上下銀部分都秋裝有水柱冷系統(tǒng)裳。為了弟保證大督部分熱呼量都輻擠射到腔您室內(nèi),飽在全部橡的加熱僚盒子周傲圍都覆接蓋上保您溫層,瞞在外層示還覆蓋繳有雙層砌的鋁反挎射板,習(xí)有效延壯長(zhǎng)了燈位管的使蛋用壽命垮。③冷卻冷卻盒子姜是一個(gè)可心循環(huán)的盒大子,為了鄉(xiāng)豐冷卻電池伯片和皮帶蜜,運(yùn)送冷濁卻水的管收道安裝在它皮帶的上解部和下部縮慧。冷卻風(fēng)沿扇分別安創(chuàng)裝在循環(huán)扇水管道的次上方和下諷方。風(fēng)速秘可以調(diào)整抱,上部的甘風(fēng)扇將周純圍的空氣朋通過冷卻藥管道送到甩硅片和皮斗帶上,下古面的風(fēng)扇泉吸走通過啟皮帶周圍泳和硅片底層部的空氣漿。燒結(jié)要箱達(dá)到的似效果(1)正面Ag穿過SiNH擴(kuò)散進(jìn)硅慶但不可到撿達(dá)p-n;(2)背面Ag、Al擴(kuò)散進(jìn)堤硅。這樣,Ag、Ag/淚Al、Al將與硅華形成合嬌金,建慎立了良胡好的電匪極歐姆族接觸,謎起到良鼠好的收樂集電子紙的效果涌。燒結(jié)設(shè)庭備概述燒結(jié)爐設(shè)備軟件烘干區(qū)燒結(jié)區(qū)冷卻區(qū)溫度調(diào)持節(jié)上下功率勻調(diào)節(jié)燒結(jié)傳鉛送帶系近統(tǒng)入口新帶附屬捉于舊帶完整的寧傳送帶圈軌道懸鏈重量壓力滾晴軸驅(qū)動(dòng)滾軸燒結(jié)爐照結(jié)構(gòu)燒結(jié)各溫捎區(qū)作用溫區(qū)作用烘干區(qū)使有機(jī)溶劑脫離漿料燒結(jié)區(qū)使電極、背場(chǎng)可形成良好的歐姆接觸,減小串阻燒結(jié)溫悔度曲線Allo么ying散abo距vet雙heA皂l-Si歪eut炭ecti紙cCon眼tac倍tF現(xiàn)orm銷ati都o(jì)nSolv覺ent央Evap凡orat須ionCool眾ing律part鋁硅合金銳化冷卻區(qū)溶劑蒸發(fā)形成良加好歐姆群接觸燒結(jié)需要謎注意的問昏題(1)在船設(shè)定溫粘度的同賓時(shí)也要鉗考慮到Al的沸點(diǎn)較職低,當(dāng)超劃過其沸點(diǎn)曠時(shí),將有Al進(jìn)入工煌藝環(huán)境勁。這些令會(huì)擴(kuò)散棒入電池提正面的p-n處,對(duì)其倒發(fā)生破壞茂作用。(2)燒薦結(jié)時(shí)會(huì)輩有一定甚量的H從硅片栽中逸出決,必然刑減弱H對(duì)硅片的奪鈍化作用斧。所以要舍有激冷的茶步驟以避創(chuàng)免過多H的逸出哲。(3)高排溫前,扶一定要鞠保證漿隨料中的燈
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