第三節(jié)線紋尺的檢定

第三節(jié)線紋尺的檢定第1頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三本節(jié)主要內(nèi)容一、線紋尺概述：1、特點；2、主要用途；3、種類二．線紋尺的檢定需定期檢定，方法有兩種。1、相對測量法：常用的儀器；測量原理；適用范圍；測量方式2、絕對測量法：光電光波比長儀的工作原理、檢定精度。

第2頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三任務(wù)：線紋尺的檢定測量對象和被測量問題1：線紋尺是什么？（外形、特點、分類、用途）問題2：測線紋尺的什么量？測量單位和標準量長度單位-米高等級線紋尺光波波長測量方法（依規(guī)程）相對測量原理：（二等以下）

儀器：光學(xué)式比長儀光電式比長儀絕對測量原理光電光波比長儀接觸形式、定位、環(huán)境條件測量不確定度1等：Δ=±（0.1+0.4L）um（金屬）2等：Δ=±（0.2+0.8L）um（金屬）3等：Δ=±（5+10L）um（金屬）標準鋼卷尺：Δ=（40+10L）um第3頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三一、概述

線紋尺是一種具有等分刻度的多值量具，它是以任意兩條刻線間的垂直距離確定其長度的一種高精度基準器和標準器。通過它可以把精密儀器及各種精密零件的尺寸與“米”定義基準器所復(fù)現(xiàn)的長度聯(lián)系起來，從而達到量值統(tǒng)一的目的?！局饕猛尽?/p>

量傳與精密測長標準。【種類】

可從不同角度分類按計量學(xué)功能及材料分有:

基準線紋尺（工作基準尺）；標準線紋尺;

金屬線紋尺；玻璃線紋尺；標準鋼卷尺。第4頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三第5頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三二、線紋尺的檢定（非接觸、大尺寸）1、相對測量法

原理：用精度等級比被檢線紋尺高一等的標準線紋尺與被檢線紋尺的同名刻線間距相比較，借助于光學(xué)或光電顯微鏡讀出兩支線紋尺刻線間距的偏差值。適用范圍：主要用于二等以下線紋尺的檢定。常用儀器：有光學(xué)式比長儀和光電式比長儀。問１：用線紋比長儀進行相對測量時測量的方式有哪些？

并聯(lián)縱動式(表2-3）并聯(lián)橫動式串聯(lián)縱動式問２：如何消除比長儀的系統(tǒng)誤差？第6頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三2、絕對測量法用絕對測量法檢定線紋尺是在光電光波比長儀上進行的。該方法適用于高精度標準線紋尺的檢定。光電光波比長儀的工作原理見圖2-6。問３：元件10，13的作用是什么？問４：光電光波比長儀如何鑒相？第7頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三相移板和三面直角棱鏡的工作原理見圖2-7和圖2-8。由于移相板的作用可以獲得1、3象限同相，2、4象限同相的兩部分光，而且它們的相位差90

。第8頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三雙管差動式光電顯微鏡12（圖2-9）能對運動狀態(tài)的刻線作精確的瞄準，精確可達0.01～0.02m。當(dāng)被檢線紋尺隨可動角錐棱鏡7移動了一個被測距離（間隔）L時，光程差的改變?yōu)?/p>

2L（k＋）0/n

式中：

k＋—

干涉條紋變化的整數(shù)級和小數(shù)級0—

激光在真空的波長問３：雙管差動式光電顯微鏡如何實現(xiàn)高精度瞄準？第9頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三線紋尺干涉比長儀結(jié)構(gòu)圖第10頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三第11頁，共12頁，2023年，2月20日，星期三思考題：１、為什么在測長機上用相對法能檢５等量塊，用絕對測量法只能檢６等量塊？２、1m長的線紋尺測量其示值誤差時，應(yīng)如何選擇支撐點？３、１m對棒允許的最大示值誤差為