年產(chǎn)300萬(wàn)單晶硅拋光片、60萬(wàn)硅外延片項(xiàng)目申請(qǐng)立項(xiàng)環(huán)境影響評(píng)估報(bào)告

銀笛（揚(yáng)州）微電子有限公司建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)PAGEPAGE3本報(bào)告由環(huán)保資料網(wǎng)--收集整理歸檔資料，核準(zhǔn)通過(guò)。未經(jīng)允許，請(qǐng)勿外傳！歸檔資料，核準(zhǔn)通過(guò)。未經(jīng)允許，請(qǐng)勿外傳！銀笛（揚(yáng)州）微電子有限公司年產(chǎn)300萬(wàn)單晶硅拋光片、60萬(wàn)硅外延片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)（簡(jiǎn)本）銀笛（揚(yáng)州）微電子有限公司目錄TOC\o"1-2"\h\z\u1 總論 11.1 任務(wù)由來(lái) 11.2 評(píng)價(jià)目的 11.3 編制依據(jù) 21.4 評(píng)價(jià)原則 41.5 評(píng)價(jià)重點(diǎn) 51.6 評(píng)價(jià)因子 51.7 評(píng)價(jià)等級(jí) 51.8 評(píng)價(jià)范圍 61.9 評(píng)價(jià)工作技術(shù)路線 72 建設(shè)項(xiàng)目周?chē)貐^(qū)環(huán)境概況 82.1 自然環(huán)境概況 82.2 社會(huì)環(huán)境狀況 132.3 經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)總體規(guī)劃 132.4 開(kāi)發(fā)區(qū)環(huán)境功能區(qū)劃 182.5 評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn) 182.6 建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)目標(biāo) 203 工程分析 223.1 本項(xiàng)目概況 223.2 生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗 273.3 主要生產(chǎn)、公用及貯運(yùn)設(shè)備 353.4 公用工程 353.5 污染源分析 374 污染防治措施 504.1 大氣污染防治措施評(píng)述 504.2 水污染防治措施評(píng)述 524.3 噪聲污染防治措施評(píng)述 564.4 固體（廢液）污染防治措施評(píng)述 564.5 非正常排放防范措施 574.6 綠化 574.7 排污口規(guī)范化設(shè)置 594.8 環(huán)保投資及“三同時(shí)” 595 清潔生產(chǎn)與循環(huán)經(jīng)濟(jì)分析 625.1 產(chǎn)業(yè)政策相符性分析 625.2 清潔生產(chǎn) 625.3 循環(huán)經(jīng)濟(jì) 646 環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評(píng)價(jià) 656.1 大氣環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)與評(píng)價(jià) 656.2 地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)及評(píng)價(jià) 677 環(huán)境影響預(yù)測(cè)及評(píng)價(jià) 727.1 大氣環(huán)境影響預(yù)測(cè)及評(píng)價(jià) 727.2 地表水環(huán)境影響分析 857.3 聲環(huán)境影響分析 857.4 固廢環(huán)境影響分析 878 施工期環(huán)境影響分析與防治 888.1 施工期環(huán)境影響分析 888.2 施工期環(huán)境影響防治 899 總量控制分析 929.1 總量控制要求 929.2 總量控制原則 929.3 總量控制因子 929.4 總量控制指標(biāo) 929.5 總量平衡方案 9310 環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià) 9410.1 風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)等級(jí)的確定 9410.2 風(fēng)險(xiǎn)識(shí)別 9510.3 源項(xiàng)分析 9610.4 事故防范 9710.5 結(jié)論 10111 項(xiàng)目廠址可行性分析 10211.1 項(xiàng)目選址與規(guī)劃相容性 10211.2 項(xiàng)目選址與評(píng)價(jià)區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀的相容性分析 10211.3 本項(xiàng)目實(shí)施后對(duì)周?chē)h(huán)境的影響 10312 公眾參與 10412.1 建設(shè)項(xiàng)目環(huán)評(píng)公眾參與公示 10412.2 公眾意見(jiàn)問(wèn)卷調(diào)查 10413 環(huán)境經(jīng)濟(jì)損益分析 10913.1 經(jīng)濟(jì)效益分析 10913.2 社會(huì)效益分析 10913.3 環(huán)境效益分析 10914 環(huán)境管理與監(jiān)控計(jì)劃 11114.1 環(huán)境管理 11114.2 環(huán)境監(jiān)控計(jì)劃 11214.3 排污口規(guī)范化設(shè)置 11315 結(jié)論與建議 11515.1 結(jié)論 11515.2 建議 119總論任務(wù)由來(lái)主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)本項(xiàng)目概況本項(xiàng)目名稱、建設(shè)地點(diǎn)、建設(shè)性質(zhì)、投資總額、環(huán)保投資本項(xiàng)目建設(shè)內(nèi)容占地面積、廠區(qū)布置職工人數(shù)、工作制度生產(chǎn)工藝流程及原輔料能源消耗生產(chǎn)工藝流程固定固定切片快速退火倒角分檔檢測(cè)研磨磨片檢測(cè)腐蝕A/B分檔檢測(cè)粗拋光RCA清洗檢測(cè)純水洗檢測(cè)包裝出貨單晶硅棒水S1W1S2W2S3純水洗氮?dú)庋鯕饽テ瑒㏒4水W3水純水洗A：混酸B：堿液氮?dú)釧：G7、8S11B：S12水A：W11B：W12純水洗水W13純水洗精拋光研磨劑S13精磨劑S14水W14RCA清洗W4~10S6~10G2~6圖3-1單晶硅拋光片工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖溶劑G1S5清洗W15~21S15~19G9~13水W22SPM清洗SPM清洗純水洗DHF清洗純水洗APM清洗HPM清洗純水洗DHF清洗純水洗圖3-2RCA清洗工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖硫酸、雙氧水氫氟酸氨水、雙氧水鹽酸、雙氧水氟化氫GSW4GSW5GSW6W7W8W9W10GSGS純水洗熱水洗純水洗水水水水水水水純水洗純水洗硅襯底材料檢測(cè)外延生長(zhǎng)測(cè)試檢驗(yàn)真空包裝外延爐石英管清洗HCl+N2、H2、SiHCl3、PH3、B2H6、N2、石英、石墨G14S20、S21混酸G17~18S23水洗純水W26圖3-3硅外延生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖圖3-4外延爐石英管清洗工序及產(chǎn)污節(jié)點(diǎn)圖S24水SPM清洗純水洗堿清洗純水洗硫酸、雙氧水水水氨水G15S22W23W24G16S23W25主要原輔料及能源消耗主要原輔料、能源消耗見(jiàn)表3-3。主要生產(chǎn)、公用及貯運(yùn)設(shè)備公用工程供電供水供熱純水制備自來(lái)水自來(lái)水加絮凝劑原水箱原水泵機(jī)械過(guò)濾器活性炭吸附器熱交換器5μ保安過(guò)濾Ⅰ級(jí)高壓泵器Ⅰ級(jí)RO裝置器Ⅱ級(jí)高壓泵器Ⅱ級(jí)RO裝置器真空脫氣裝置中間水箱中間水泵EDI裝置氮封純水箱純水泵拋光樹(shù)脂床TOC殺菌器器超過(guò)濾器器生產(chǎn)工藝用水水箱水泵循環(huán)冷卻系統(tǒng)器冷卻器圖3-5超純水制備工藝流程圖清洗裝置清洗裝置pH調(diào)節(jié)加阻垢劑排水氫氣、氮?dú)獾墓?yīng)污染源強(qiáng)及污染物排放量分析污染防治措施大氣污染防治措施評(píng)述大氣污染源大氣污染防治措施及可行性分析廢氣廢氣吸附設(shè)備風(fēng)管集氣罩引風(fēng)機(jī)排放圖4-1有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)流程圖洗滌液洗滌液廢氣洗滌塔主風(fēng)管支風(fēng)管引風(fēng)機(jī)廢氣洗滌循環(huán)水池進(jìn)入廢水處理系統(tǒng)排放圖4-2酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖（3）特種廢氣對(duì)外延生產(chǎn)工序產(chǎn)生的特種廢氣HCl、SiHCl3以及微量的PH3和B2H6經(jīng)過(guò)收集后進(jìn)入濕式外延清洗器，采用5段水噴淋和水洗方式對(duì)外延尾氣進(jìn)行充分的水洗和稀釋，將其中絕大部分的HCl、SiHCl3、B2H6和微量的PH3溶解于水，經(jīng)過(guò)水洗后的尾氣在設(shè)備中被大量的空氣稀釋，再通過(guò)管道向室外高空排放；廢氣洗滌水進(jìn)入廢水處理設(shè)施處理。濕式外延清洗器設(shè)有手動(dòng)的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并采用氮?dú)饷芊庋b置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒(méi)有尾氣泄漏；通過(guò)水流量表和調(diào)節(jié)閥，用于水流量調(diào)節(jié)，以滿足使用；采用不銹鋼做骨架，增加強(qiáng)度和仿腐蝕能力；其他均采用透明PVC材料，