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Y1601樣機(jī)產(chǎn)能測(cè)試1、Y1601樣機(jī)產(chǎn)能測(cè)試目 2 3、數(shù)據(jù)記 4、數(shù)據(jù)分 5、結(jié) 11、模擬高產(chǎn)能機(jī)臺(tái)機(jī)器人調(diào)3、測(cè)量Y1601樣機(jī)實(shí)際產(chǎn)能是否與理論計(jì)算值（按我方、4、不同計(jì)算方法下，機(jī)器人速度和實(shí)際產(chǎn)能的關(guān)系2我方機(jī)器人速度計(jì)算單次伸臂并收回時(shí)間為根據(jù)右圖機(jī)器人完成整個(gè)動(dòng)作所用時(shí)間為T1=2TX+2TR

3Sankyo方給出的機(jī)器人速度計(jì)算T2=2TX+3TR

4原始計(jì)算 的4；T3為兩個(gè)工藝模塊之間的晶圓傳遞時(shí) ROBOT對(duì)準(zhǔn)A點(diǎn)取WAFER，然后移動(dòng)到B點(diǎn)放下根據(jù)右圖機(jī)器人完成整個(gè)動(dòng)作所用時(shí)間為T3=TX+5測(cè)試設(shè)備：Y1601樣6測(cè)試工具：秒表 機(jī) 代替 7Y1601樣機(jī)實(shí)測(cè)產(chǎn)能記注：1、表中機(jī)器人速度值為百分比，例如：70代表最大速度的70%8轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速UP/DN1實(shí)測(cè)產(chǎn)能 92TX+2TR關(guān)系（我方計(jì)算方法TX+2TR間關(guān)系（原始計(jì)算方法TX+2TR間關(guān)系（原始計(jì)算方法 1、通過(guò)機(jī)臺(tái)機(jī)器人測(cè)試，Sankyo機(jī)器人承諾的速度滿足現(xiàn)構(gòu)架240WPH的產(chǎn)能要求2、按照Sankyo承諾速度，實(shí)際產(chǎn)能與2TX+3TR關(guān)系如圖一折線所示，當(dāng)2TX+3TR=7s時(shí)，產(chǎn)247wph，比預(yù)期目標(biāo)240wph留有3%的余量。當(dāng)產(chǎn)能為240wph時(shí)，2TX+3TR=7.44s，時(shí)間上6.29%的余5、比較我方計(jì)算

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