JJF 1914-2021 金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范1金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范rls8發(fā)布 8實施國家市場監(jiān)督管理總局 發(fā)布1金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范rs

1歸 口 單 位:全國幾何量長度計量技術(shù)委員主要起草單位:江蘇省計量科學(xué)研究院無錫市計量測試院參加起草單位:泰州市計量測試院本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人:馬建龍江蘇省計量科學(xué)研究院)王樹剛無錫市計量測試院)吳 湘無錫市計量測試院)王曉飛江蘇省計量科學(xué)研究院)參加起草人:李 惠無錫市計量測試院)石 峰江蘇省計量科學(xué)研究院吳新峰泰州市計量測試院)目 錄引言………………………

Ⅱ)1范圍……………………2引用文件………………3概述……………………4計量特性………………1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差……………2物鏡放大倍率誤差…………………3示值誤差……………5校準(zhǔn)條件………………1環(huán)境條件……………2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器………………………6校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法…………………1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差……………2物鏡放大倍率誤差…………………3示值誤差……………7校準(zhǔn)結(jié)果的表達………………………8復(fù)校時間間隔…………

1)1)1)1)1)1)1)1)1)2)2)2)2)3)3)3)附錄A 示值誤差的校準(zhǔn)不確定度評定示例…………

4)Ⅰ引言0國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則1通用計量術(shù)語及定義》和2測量不確定度評定與表示共同構(gòu)成支撐本規(guī)范制定工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。本規(guī)范在制定過程中參照了T8顯微鏡放大率數(shù)值、允差和符號》和9金相顯微鏡本規(guī)范為首次發(fā)布。Ⅱ金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范范圍本規(guī)范適用于單目鏡、雙目鏡觀察式及帶有圖像傳感器接收式的金相顯微鏡的校準(zhǔn)。引用文件本規(guī)范引用了下列文件:0國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則9金相顯微鏡凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文件,其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范。概述金相顯微鏡是用于觀察和測量金屬微組織結(jié)構(gòu)的一種光學(xué)儀器。根據(jù)金相顯微鏡觀察物體圖像的方式,可分為目鏡觀察式和圖像傳感器接收式的金相顯微鏡。計量特性 雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差上下:不大于2;左右:外側(cè)不大于2;內(nèi)側(cè)不大于4。物鏡放大倍率誤差物鏡放大倍率最大允許誤差一般不超過5。示值誤差示值誤差一般不超過表1的規(guī)定

。表1示值誤差物鏡放大倍率Γ××?！力！潦局嫡`差±1L)±3L)±2L)注L測量長度。注:校準(zhǔn)工作不判斷合格與否,上述計量特性要求僅供參考。校準(zhǔn)條件環(huán)境條件

( ) 。校準(zhǔn)金相顯微鏡的室內(nèi)溫度在5℃范圍內(nèi)校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響校準(zhǔn)的灰塵、振動和腐蝕性氣體。1被校準(zhǔn)儀器和校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器在室內(nèi)連續(xù)平衡溫度的時間不少于。校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器 。校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器見表2

表2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器序號計量特性校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,分度值1,:m2物鏡放大倍率誤差標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,分度值1,:;倍率計,分度值1,:;×標(biāo)準(zhǔn)分劃目鏡:分度值為1,任意兩分劃線間的最大允許誤差不超過5,十字分劃中心與目鏡外圓機械軸同軸度為,十字分劃刻線面與目鏡定位面之間距離為)m3示值誤差標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,分度值1,:;標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,分度值1U12注:允許使用其他滿足測量不確定度要求的標(biāo)準(zhǔn)器進行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法首先檢查儀器外觀、各部分相互作用及視場清晰度。在確定儀器的光源、濾色片、孔徑光闌、粗細(xì)調(diào)焦手輪及附件完好無損,運行正常,確定物鏡、目鏡等附件無影響測量的霉斑等因素后再進行校準(zhǔn)。雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差把分度值為1m的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺放置在工作臺左右方向

縱向

選用×物鏡,調(diào)焦至目鏡目標(biāo)清晰,在右目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場兩側(cè)的刻度值及2,然后在左目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場邊緣兩側(cè)的刻度值3及4,則兩視場中心在左右方向的相對偏差縱按公式)計算:把分度值為1

2)-4)2

)橫向在右目鏡的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺放置在工作臺上下方向中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場邊緣兩側(cè)的刻度值1及2,然后在左目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場兩側(cè)的刻度值34,則兩視場中心在上下方向的相對偏差橫按公式)計算:

( ) ( )δ橫=

21

-432

)該項目須在雙目鏡的瞳距為內(nèi)側(cè)和外側(cè)兩位置時分別校準(zhǔn)物鏡放大倍率誤差目鏡帶有分劃尺在工作臺上放置相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

調(diào)焦至目鏡目標(biāo)清晰,2并使目鏡中的分劃尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分劃尺的左端刻線與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺零刻線對齊,在目鏡分劃尺的尾刻線處讀出標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的實際值L。則物鏡倍率誤差物按公式)計算:L物mL0 )L式中:C目鏡分劃尺的分度值;m目鏡分劃尺的總格數(shù)目鏡無分劃尺在工作臺上放置相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

取下目鏡,

將倍率計置于目鏡筒上,調(diào)節(jié)物鏡的像面距離,使標(biāo)準(zhǔn)玻璃刻度尺在倍率計分劃尺上成清晰像。方法同。示值誤差示值誤差應(yīng)該分別在不同物鏡放大倍率下進行。目鏡式示值誤差在工作臺上放置相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

調(diào)焦至目鏡中目標(biāo)清晰,并使目鏡中的分劃尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線平行,將目鏡中標(biāo)尺的左端零刻線對準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺零刻線,觀察目鏡中分劃尺上被測點的刻線與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的對應(yīng)刻線一致性,在分劃尺上讀出對應(yīng)測量點的讀數(shù)值i。按照公式)計算目鏡式示值誤差L:式中:

LiL

)i分劃尺的讀數(shù)值,;L對應(yīng)測量點標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的實際尺寸,。,目鏡式示值誤差應(yīng)在被檢分劃尺在視場的全長范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個位置進行 取最大誤差值作為校準(zhǔn)結(jié)果。,圖像式示值誤差首先在工作臺上放置相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺

,調(diào)焦至顯示屏目標(biāo)清晰

。然后用測量程序測量出標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線間的距離,應(yīng)在視場范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個位置進行。方法同。取最大誤差值作為校準(zhǔn)結(jié)果。校準(zhǔn)結(jié)果的表達經(jīng)過校準(zhǔn)的金相顯微鏡出具校準(zhǔn)證書。校準(zhǔn)證書應(yīng)包含校準(zhǔn)結(jié)果、示值誤差以及不確定度。校準(zhǔn)證書應(yīng)符合0中2的要求。復(fù)校時間間隔復(fù)校時間間隔根據(jù)實際使用的具體情況確定,建議一般不超過1年。3附錄A示值誤差的校準(zhǔn)不確定度評定示例測量方法在工作臺上放置標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺

,調(diào)焦至成像清晰,

并細(xì)微調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺位置,使測量線紋段成像于目鏡視野或影像屏幕的中間合適位置,利用目力讀數(shù)或者儀器測量軟件采集測量,測出對應(yīng)刻線像之間的距離,計算出示值誤差L。使用測量軟件時,應(yīng)注意在測量軟件模塊中選擇與被校物鏡對應(yīng)的定標(biāo)系數(shù)。測量模型 ( )式中:

LiL

1L示值誤差,;i測量讀數(shù)值,;L標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺對應(yīng)測量點間的實際尺寸,。測量不確定分析依據(jù)測量模型,輸入量i和L之間是相互獨立的,互不相關(guān),所以合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度的計算公式為:L=iL)式中: 1?i2?i=1i L故L=iL) )標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評定由標(biāo)準(zhǔn)線紋尺實際尺寸引入的不確定分量本規(guī)范表1中對標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,按照分度值不同有不同的技術(shù)指標(biāo)要求。分度值1m的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋時:,半寬,按照均勻分布,包含因子因此可得L1amk 3選用分度值1m的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺時U1,則L1Umk 2由測量重復(fù)性引入的不確定分量i選用一臺金相顯微鏡,調(diào)整好位置后,重復(fù)測量對應(yīng)刻線像的尺寸0次,得到的測量數(shù)據(jù)見表。4測量次數(shù)1234567測量次數(shù)1234567890測量結(jié)果2211211212sx=

3m∑ni∑ni2n-1Lx33mn ni 3分辨力導(dǎo)致的標(biāo)準(zhǔn)不確定度d)按照公式)計算。在目鏡觀察的測量條件下,分辨力一般為儀器分度值d的,即d。d)d

)儀器分度值d按照公式)計算: 2m'式中:

)m目鏡分劃尺標(biāo)稱分度值,一般為1;物鏡的標(biāo)稱放大倍率。如:對于目鏡分劃尺標(biāo)稱分度值1,物鏡標(biāo)稱放大倍率為0倍的金相顯微鏡:dm11m' 0d)d1m23 23注對于目鏡觀察式的金相顯微鏡,將測