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中華人民共和國國家計量技術規(guī)范2錫膏厚度測量儀校準規(guī)范s9發(fā)布 9實施國家市場監(jiān)督管理總局 發(fā)布2錫膏厚度測量儀校準規(guī)范rs

2歸 口 單 位:全國新材料與納米計量技術委員會主要起草單位:廣東省計量科學研究院山東省計量科學研究院蘇州市計量測試院中國計量科學研究院參加起草單位:廣州計量檢測技術研究院天津大學本規(guī)范委托全國新材料與納米計量技術委員會負責解釋本規(guī)范主要起草人:黃敏晗廣東省計量科學研究院趙東升山東省計量科學研究院王云祥蘇州市計量測試院)曹叢山東省計量科學研究院)施玉書中國計量科學研究院)參加起草人:司衛(wèi)征廣州計量檢測技術研究院)張欣宇廣東省計量科學研究院)胡曉東天津大學)目 錄引言………………………

Ⅱ)1范圍……………………2引用文件………………3概述……………………4計量特性………………1厚度測量示值誤差…………………2厚度測量重復性……………………5校準條件………………1環(huán)境條件……………2測量標準及其他設備………………6校準項目和校準方法…………………7校準結(jié)果表達…………8復校時間間隔…………

1)1)1)1)1)1)2)2)2)2)2)3)附錄A 標準臺階塊的結(jié)構(gòu)與規(guī)格……………………

4)附錄B 示值誤差不確定度的評定示例附錄C 錫膏厚度測量儀校準記錄格

………………

5)7)附錄D 錫膏厚度測量儀校準證書內(nèi)頁)格

……

8)Ⅰ引 言F1通用計量術語及定義F1測量不確定度評定與表示4測量儀器特性評定》共同構(gòu)成支撐本校準規(guī)范制定工作的基礎性系列文件?!?本規(guī)范參考了5磁性、電渦流式覆層厚度測量儀1X射線熒光鍍層測厚儀校準規(guī)范》的相關內(nèi)容。本規(guī)范為首次發(fā)布。Ⅱ錫膏厚度測量儀校準規(guī)范范圍本規(guī)范適用于測量范圍不大于m的錫膏厚度測量儀的校準。引用文件本規(guī)范引用了下列文件:0國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文件,其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范。概述錫膏厚度測量儀是一種非接觸式的測量儀器,利用光學原理快速測量印刷電路板上錫膏的厚度。它的作用是檢測和分析錫膏印刷的質(zhì)量,及早發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)過程中的工藝缺陷??煞譃榧す馊菧y量法和莫爾輪廓測量法。錫膏厚度測量儀的結(jié)構(gòu)示意圖見圖。可分為激光三角測量法和莫爾輪廓測量法。理,理—攝像系統(tǒng)—光源激光或白光—印刷電路板—錫膏塊。圖1錫膏厚度測量儀的結(jié)構(gòu)示意圖計量特性21厚度測量示值誤差2注:首次校準時按用戶和制造商達成的技術協(xié)議進行校準,復校時按用戶的要求進行校準。1校準條件環(huán)境條件溫度℃。相對濕度:5測量標準及其他設備可根據(jù)儀器測量范圍和實際使用情況選用不同的標準臺階塊,

校準時推薦使用的標準臺階塊的結(jié)構(gòu)和規(guī)格見附錄標準臺階塊應確保表面潔凈避免劃痕、腐蝕和氧化。標準臺階塊高度值的擴展不確定度應不大于m或不大于被校儀器的最大允許誤差的。校準項目和校準方法校準前,需確保儀器處于正常的工作狀態(tài)及沒有影響校準計量性能的因素后方可進行校準。標準器和被校準儀器的等溫時間應符合儀器說明書的要求如說明書無要求,應不少于0。首先按使用說明書對被校儀器進行參數(shù)設置,

必要時進行系統(tǒng)調(diào)校

。在被校儀器的有效測量范圍內(nèi)選擇不少于3個校準點,選取相應高度的標準臺階塊。在每個標準臺階塊的有效區(qū)域內(nèi),分別在同一測量區(qū)域重復測量0次并記錄儀器示值,計算0次示值的ii個標準臺階塊的測量結(jié)果,根據(jù)公式)計算儀器厚度測量的示值誤差,根據(jù)公式)計算實驗標準偏差i,作為第i個校準點的厚度測量的重復性。式中:

iii )i使用第i個標準臺階塊時的儀器示值誤差;i使用第i個標準臺階塊時的儀器示值平均值;ii個標準臺階塊的校準值。nini23

)i式中:ii次測量的儀器示值;0次測量的儀器示值的算術平均值。校準結(jié)果表達經(jīng)校準的錫膏厚度測量儀出具校準證書。校準證書包括的信息應符合—0中2的要求。2復校時間間隔由于復校時間間隔的長短是由錫膏厚度測量儀的使用狀況、使用者、設備本身質(zhì)量等諸因素所決定的,因此,送校單位可根據(jù)儀器實際使用情況自主決定復校時間間隔。建議復校時間間隔一般不超過1年。3附錄A標準臺階塊的結(jié)構(gòu)與規(guī)格標準臺階塊的三維示意圖如圖1所示,剖面圖如圖2所示。H圖1標準臺階塊的三維示意圖H圖2標準臺階塊的剖面圖臺階面積一般應不小于12。建議使用的高度H見表。錫膏厚度測量儀要求被測面不能為鏡面反射,故標準塊的臺階面和基準面應進行啞光處理。表1建議使用的臺階高度H 單位為微米序號臺階高度H1025304550607080校準時,應根據(jù)被校儀器的有效測量范圍和客戶的使用情況選用適當?shù)臉藴逝_階塊。4附錄B測量方法

示值誤差不確定度的評定示例錫膏厚度測量儀的示值誤差是用標準臺階塊進行校準的,根據(jù)實際測量應用范圍和條件的不同,設定好相關的測量程序和條件,并按要求進行必要的儀器預校準后再進行測量。本次評定以分辨力1m的錫膏厚度測量儀,測量7m的標準臺階塊為例。測量模型根據(jù)測量方法

,用標準臺階塊對錫膏厚度測量儀校準時,示值誤差可以表示為:式中:

H )示值誤差m儀器示值的平均值;H標準臺階塊的校準值不確定度傳播公式H,所以靈敏系數(shù)1δ2=δ1h Hu1、u2分別表示h和H的標準不確定度,因h和H的標準不確定度不相關,則合成標準不確定度uc為:2=2

22

)c標準不確定度分量的計算

i i 1 2i=1儀器示值引入的標準不確定度分量,錫膏厚度測量儀的測量重復性引入的不確定度分量可以通過0,錫膏厚度測量儀的測量重復性引入的不確定度分量可以通過0次重復連續(xù)測量得到 測量結(jié)果為、n11nhi2n11nhi2s= m實際測量時采用0次重復測量結(jié)果的平均值,則01m0錫膏厚度測量儀分辨力引入的標準不確定度分量2,錫膏厚度測量儀分辨力為1其量化誤差引起的標準不確定度分量為均勻分布 則5×2×u可以忽略不計,故u2 1m標準臺階塊引入的標準不確定度分量標準臺階塊引入的不確定度主要來源于標準臺階塊的高度測量結(jié)果不確定度,可根據(jù)校準證書給出的擴展不確定度來計算。由標準臺階塊的校準證書測量結(jié)果的擴展不確定度U,則2m標準不確定度一覽表 。錫膏厚度測量儀校準時的標準不確定度一覽表見表1表1不確定度分量一覽表標準不確定度分量i不確定度來源標準不確定度值μmcici·uiμmu1儀器示值414u2標準臺階塊5-15合成標準不確定度=22=22)1 2擴展不確定度, :取包含因子k=2

則擴展不確定度為Um6附錄C錫膏厚度測量儀校準記錄格式委托方名稱委托方地址制造廠型號規(guī)格儀器編號

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