ESD靜電防護管理規(guī)范及測量標準

XXX有限公司XX-XX-13-A/2ESD管理規(guī)范及測量標準文件履歷/XXX有限公司 發(fā)布XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2目錄目的適用范圍規(guī)范性引用文件術語職責與權限ESD職責異常處理6ESDESDEPAEPA標識環(huán)境要求接地要求人員管理要求防靜電物品要求ESDESDESD7．記錄與表格8．附錄[2]XXX股份有限公司ESD管理規(guī)范及測量標準XX-XX-13-A/0目的本標準旨在規(guī)定ESD節(jié)提供明確可靠的ESD率，提高客戶的滿意度。適用范圍（供應商和合作方的供應鏈體系內部要求須不低于本文件標準，當高于本標準時按高標準執(zhí)行）本標準適合于靜電敏感器件靜電敏感電壓大于100V的保護。規(guī)范性引用文件ANSI—美國國家標準學會ANSI/ESDS20.20-2007—靜電放電(ESD)協會標準IEC61340-5-1—國際電工委員會標準GB50169—電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規(guī)范定義ESD (Electro-StaticDischarge)—靜電放電：當帶電體周圍的場強超過周圍介質的絕緣擊穿場強時，因介質產生電離而使帶電體上的電荷部分或全部消失的現象。ESSD（ElectrostaticSensitivity靜電敏感器件：ESD器件。EPA（ESDProtected防靜電工作區(qū)：為保障靜電敏感器件(ESSD)免受靜電傷害而采用必要的防靜電材料和設備建立和裝備起來的HBM（Human-BodyModel）—人體放電模式：描述人體帶了靜電后接觸處于接地的器件，發(fā)生放電的情況。MM（MachineModel）—機器放電模式：描述設備、機器等金屬物體帶了靜電后接觸處于接地的器件，發(fā)生放電的情況。CDM（Charged-DeviceModel）—組件放電模式：描述器件帶靜電后接觸一個接地的導體發(fā)生放電的情況。ElectrificationByFriction—摩擦起電：[3]ESD管理組ESD管理組長ESD協調干事用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號電荷的過程。Stripping Electrification—剝離起電：剝離兩個緊密結合的物體時引起電荷分離而使兩物體分別帶電的過程。Attached Electrification—吸附起電：人體由于吸附場所中的帶電微粒而使之產生靜電的過程。Induced ElectrificationElectrostaticDissipation—靜電消散：帶電體上的電荷由于靜電中和,和靜電泄漏,靜電放電而使之部分或全部消失的現象。ElectrostaticNeutralization—靜電中和：帶電體上的電荷與其內部和外部相反符號的電荷(電子或離子)的復合而使所帶靜電部分或全部消失的現象。BreakdownVoltage使電介質擊穿的最低電壓。職責與權限ESDESDESD度，定期組織ESDESD工程部工程部ESD制造中心制造中心質量管理部質量管理部ESD采購物流部采購物流部技術中心技術中心總裁辦總裁辦ESD人力資源部人力資源部專員ESD專員專員（兼外協）ESD專員ESD專員專員ESD專員ESD測試員-ESD測試員-ESD測試員-ESD測試員-PQC測試工程師電子倉班長領料員兼5.2職責詳見下表：序號崗位職責負責全集團靜電防護和管理體系的建立、運行和維持，通過定期1）ESD管理組組長組織自查、內部審核等方式，對體系存在的問題及時進行糾正和預防，并組織開展體系內的持續(xù)改進工作。[4] ESD和工廠糾正、預防措施的效果驗證以及開展持續(xù)改進等工作。工程部制造中心技術中心總裁辦總裁辦人力資源部各部門ESD

落實、指導和宣貫,包括對各個部門和異地工廠關于EPAEPA作。1、應按照本標準的要求，作好本部門EPA區(qū)域的劃分，并按照EPA的管理要求，在工程部的指導下組織制定、實施系統的靜電防護措施，指定專人按本標準定期檢測、檢查本區(qū)域各項靜電防護效果，確保符合本標準各項要求。針對存在的問題組織開展糾正和預防工作，配合管理小組做好持續(xù)改善的相關工作；2ESD提出申購，總部或各異地工廠采購部門統一采購；3、制造中心或各異地工廠的PQC負責以上項目的來料檢驗，也包括著裝類ESD防護品，合格后才能領用；4ESD（倉庫、工程等）由制造中心或各異地工廠設備科電工負責；②管理部門（如樣機室、實驗室等）由總裁辦電工負責。5驗證、評估糾正和預防措施的落實效果。負責著裝類ESD防護品采購及更換著裝類ESD防護品。負責組織ESD培訓；同時負責本部門ESDESD。負責各職能部門內部ESD（一級、二級）培訓。5.3異常處理ESDESD員處，由ESDESDESDESD組長，由ESD[5]工作內容與要求ESD什么叫靜電，即相對靜止不動的電荷，通常指因不同物體之間相互摩擦而產生的在物體表面所帶的正負電荷。因為電子產品生產中靜電放電是靜電危害最主要的部分，所以ESD2000V，靜電不易感知的原因：電量小，放電時間短。靜電產生的原因生電子的得失，使物質失去電平衡，產生靜電現象；靜電的危害失效的漏電流增加，擊穿電壓變化對器件的功能性破壞；害的產品返工、返修，增加生產費用，影響企業(yè)的經濟效益。ESD分別為突然性失效，潛在性失效；突然性失效是指元器件受到靜電放電損傷后，突然完全喪失其規(guī)定的功能，主要表現為開路、短路或參數嚴重漂移；潛在性失效是指靜電放電能量較低，僅在元器件內部造成輕微損傷，放電后器件電參數仍然合格或略有變化，但器件的抗電過應力能力已經明顯削弱，或者使用壽命明顯縮短，再受到工作應力或經過一段時間后將進一步退化，直至造成徹底失效。靜電消除靜電消除方法有：化學消除法如在物品表面上涂上一層抗靜電劑，物理消除法如接地、中和、濕度控制等進行靜電消除。防靜電材料的時效性防靜電材料按防靜電有效性時間長短分為：暫時性防靜電材料、永久性防靜電材料。暫時性防靜電材料一般使用表面噴涂防靜電劑或材料混入防靜電劑制成，有效性從幾個月到二年不等；永久性防靜電材料一般使用填充添加炭粉、碳纖維、金屬及金屬氧化物等工藝制成。[6]ESD本司靜電電壓管控水平為＜100V。ESDAESDHBM（人體模型、MM（機器模型、CDM（帶電器件模型）三種模型最為常見，聯系最為密切。3B≥80003B≥8000MMHBMCDMclassVoltageRange(Volts)classVoltageRange(Volts)classVoltageRange(Volts)M1A<250A<125C1<125M1B25to<500B125to<250C2125to<250M1C50to<1001A250to<500C3250to<500M2100to<2001B500to<1000C4500to<1000M3200to<4001C1000to<2000C51000to<1500M4≥40022000to<4000C61500to<20003A4000to<8000C7≥2000三種模型放電帶來的危害差異極大，其中CDMHBMMMHBM40器件種類ESD器件種類ESD（HBMV）汽車電子產品是否采用硬盤磁頭10-100V未使用結型場效應晶體管140-7000V使用聲波表面濾波器150-500V使用VMOS半導體器件30-1800V未使用MOS場效應管器件100-200V使用砷化鎵場效應管器件100-300V使用存儲器100V使用運算放大器190-2500V使用C-MOS250-3000V使用肖特基二極管300-2500V使用薄膜電阻300-3000V使用[7]雙極型晶體管射極耦合邏輯電路380-7000500VV使用使用LED500-8000V使用可控硅器件600-1000V使用HBM100V防靜電要求，本公司整個過程將靜電管控在100VEPA則應定義為防靜電區(qū)，否則可定義為非防靜電區(qū)。防靜電區(qū)域的邊界范圍由工程部與區(qū)域防靜電責任人共同確定。EPA等級劃分應根據，該區(qū)域中操作物料的靜電敏感級別和生產時存在靜電放電的風險程度進行EPA等級的劃分，公司EPA劃分為一級EPA和二級EPA兩個等級。EPAEPAClass0AClass0AEPA，SMTICEPA二級EPA如組裝、包裝等區(qū)域，須實施最基本的靜電放電控制措施。一級EPA和二級EPA區(qū)域基本的ESD控制措施要求按照下表實施：ESD控制措施一級EPA二級EPA靜電電壓控制標準＜100V＜100V區(qū)域封閉性要求不要求出入口單向控制可選不要求防靜電標識要求要求防靜電地板或地墊要求要求防靜電桌墊要求要求防靜電腕帶要求要求防靜電手套、指套要求要求防靜電褲要求不要求防靜電衣要求不要求防靜電鞋要求要求[8]XX-XX-13-A/2防靜電工作椅要求要求腕帶測試儀和人體電阻測試儀要求要求ESD自動測試記錄儀要求不要求防靜電烙鐵要求要求防靜電吸錫器要求要求靜電產生材料禁止帶入EPA要求要求非防靜電包裝的拆包區(qū)域外操作區(qū)域外操作或獨立工位操作離子風靜電消除器要求可選用于產品的常用裝配、調試及輔全部要求部分要求助工具防靜電防靜電周轉工具要求要求防靜電包裝材料要求要求防靜電文件夾要求可選防靜電液可選可選防靜電工作區(qū)（EPA）包括但不限于以下區(qū)域：IQCSMTIC燒錄房等（EPA助工具防靜電防靜電周轉工具要求要求防靜電包裝材料要求要求防靜電文件夾要求可選防靜電液可選可選EPA區(qū)域等級劃分表EPA區(qū)域IQC電子料倉庫

一級EPA●●

二級EPA物料分發(fā)區(qū)域 ●實驗室 ●樣機室 ●SMT車間 裝配車間光電車間 ●IC燒錄房 包裝車間

●EPA[9]XX-XX-13-A/2EPA標識EPA作用是警示任何靠近EPAESSDESSDEPA如“注意：靜電安全區(qū)”或其同意語EPA的接地標識說明；（下圖：防靜電標志，其標志應置于明顯且不易受到磨損的地方；防靜電標志經過防靜電液處理的物品和場所也應有防靜電標志（見下圖：防靜電液處理標志：防靜電液處理標志環(huán)境要求在進行EPA環(huán)境設計時，為達到靜電防護的要求應遵循以下原則：抑制靜電荷的積累和靜電壓的產生；安全、迅速、有效的消除已產生的靜電荷；確定靜電防護所應達到的程度。如一級EPA100VEPA具有如下的基本環(huán)境要求：①明確的區(qū)域界限和防靜電警示標志；[10]XX-XX-13-A/2②對區(qū)域內的所有導體包括人員可靠接地；③消除一切不必要的靜電產生源；④ESSD器件必須遠離靜電源至少30厘米以上。EPAEPA求（EPA的溫濕度控制要求：EPA的溫濕度控制要求工作場所溫度濕度記錄周期管理方案IQC檢驗區(qū)域25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表實驗室25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表樣機室25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表SMT車間25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表IC燒錄房25±3℃40～60%RH1次/天溫濕度記錄表光電車間25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表電子料倉庫25±3℃40～60%RH全天候電腦自動記錄表裝配車間25±5℃30～70%RH1次/天溫濕度記錄表其他防靜電工作區(qū)25±5℃30～70%RH1次/天溫濕度記錄表接地要求接地是靜電釋放的關鍵措施，EPA內必須有獨立可靠的防靜電接地系統，工作中產生的靜電才能安全有效地釋放，避免靜電的累積。（防靜電地線線共用。接地電阻：指接地體與大地之間的接觸電阻，靜電保護接地電阻應小于4Ω。地線的埋設埋設地線的原則是埋設地點的土壤電阻系數越小越好接地體與土壤的接觸面積要大，接觸密度要高，接觸要緊。埋設地線的注意事項：①接地線與接地線頭必須焊接牢固，要有足夠的機械強度，引線不要過長；②要采用耐腐蝕的接地金屬體；③要保持接地體附件土質的質量，并不斷采取措施防止接地電阻變大；④防靜電地線必須是永久性的；⑤垂直接地體、水平接地體的埋設要求（見下圖：參考標準GB50169電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規(guī)范）：[11]XX-XX-13-A/2參考標準GB50169電氣裝置安裝工程接地裝置施工及驗收規(guī)范接地線共接地點接地導線采用黃綠色，導線直徑不得低于2.5mm2。等電位連接（見下圖：等電位連接。等電位連接[12]XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2人員管理要求人體電壓EPA電衣、帽、手套、指套、鞋、手腕帶等方式加以控制，使得人體產生的靜電安全地釋放，達到ESD5mA，因此手腕帶、鞋、工作椅必須具有一定的接地電阻。防靜電手腕帶（松緊圈（導電織物或導電橡膠，手腕帶外表面應該是絕緣或耗散材料。1MΩ的限流電阻并與腕ESD身傷害。該電阻的選擇原則是，應保證操作者在觸及高電壓時流過人體的電流不大于0.5mA100V；②無繩防靜電手腕帶的性能對環(huán)境濕度依賴性太強，禁止使用無繩腕帶。為了可靠的監(jiān)控腕帶接地的情況，在一級EPA區(qū)域里或一些重點的防靜電控制工位應該使用ESD接地保護檢測控制器，可自動檢測防靜電手腕帶的接地，當防靜電手腕帶接地失敗時實時報警，提醒操作人員糾正，從而保證人體皮膚靜電能及時釋放掉；③防靜電手腕帶佩戴方法：將手腕帶扎于手腕處，不能松動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內表面與皮膚良好接觸，接地線與ESD接地點連接；④防靜電手腕帶接地應采用香蕉插頭，插孔的連接方式，應避免使用鱷魚夾的接地方式；⑤每班開工前，每位操作員都應自檢防靜電手腕帶是否正常，只有測試合格，方可進入靜電敏感區(qū)域工作；2.5過它的有效長度，不可折斷防靜電電線，不可沖洗防靜電手腕帶，拔插時不可通過拉防靜電線來完成，不可在防靜電手腕帶金屬片上加水等，要注意正確使用和妥善保護好防靜電手腕帶；⑦先佩戴好防靜電手腕帶，再拿靜電敏感器件ESSD防靜電手腕帶。在實際工作中要注意順序，養(yǎng)成良好習慣；⑧由于佩戴防靜電手腕帶是人體最基本的靜電控制措施，因此所有操作ESSD的人員都要佩[13]戴防靜電手腕帶，包括實驗室、樣機室人員。防靜電衣及防靜電帽ESSD用防靜電織物作為面料而制成的防靜電衣、帽，常見樣式有連體式、分體式、大褂式等。防靜電服使用要求如下：①進入EPA區(qū)域的人員必須按規(guī)定穿防靜電衣。防靜電衣須在更衣室更換，不允許在ESD區(qū)域穿或脫防靜電衣；②凡在工作中需接觸ESSD的人員，均需戴防靜電帽、穿防靜電衣，防靜電帽的材料選用和使用要求與防靜電衣相同；③禁止在防靜電衣上附加或佩戴與工作無關的金屬物品或裝飾品；④不允許把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電衣的衣領，防靜電衣必須將拉鏈拉好或將扣子扣滿扣好，非防靜電衣的長度不能長過靜電衣，不準將防靜電衣的袖子挽起，不準將手表、首飾等與工作無關的裝飾品露出防靜電衣外；⑤防靜電衣應保持清潔，工作服的洗滌應盡量簡易方法進行，采用中性洗滌劑，要避免受較強的機械和化學操作的洗滌；⑥質量管理部過程質量每月應對防靜電衣特性進行檢測，對于檢測不合格的防靜電衣應停止使用，立即更換。防靜電手套或指套與工衣相同。防靜電手套指套是防止人體接觸ESSD時造成ESSD的損傷，并防止操作中產生靜電，凡在工作中需直接接觸ESSD的操作者，均需使用防靜電手套或指套。長使用期限不超過半個月，逾期一律以舊換新（在部門ESD。一些站立式并有較大移動性質的操作，在不便使用防靜電手腕帶的崗位，如流動操作崗位，須使用防靜電手套。防靜電鞋①進入EPA區(qū)域的人員必須穿防靜電鞋，須經過人體靜電綜合測試儀，測試不合格時不允許進入EPA區(qū)域，須將測試不合格物品進行更換或清潔，測試合格后方可進入；②防靜電鞋的使用要求：[14]XX-XX-13-A/2結構；EPAEPA（體綜合電阻）應該滿足墊，特別是絕緣性鞋墊。不得在鞋底黏貼絕緣膠片或其他涂料，保持鞋底的清潔；坐式操作的操作員應保持靜電鞋接觸地面，不得把腳抬離地面放置。電鞋應停止使用，立即更換。EPA①進入EPA（儀及移動式人體綜合測試儀），EPA區(qū)，須將測試不合格物品進行更換或清潔，測試合格后方可進入；門禁式人體綜合測試儀 移動式人體綜合測試儀[15]XX-XX-13-A/2②一級EPASMTIC燒錄房著裝要求；潔凈車間著裝要求[16]XX-XX-13-A/2③二級EPA區(qū)域著裝要求：須穿戴防靜電衣、防靜電帽、防靜電手套、防靜電手腕帶、防靜電鞋.④外部人員進入制造現場（見下圖：外部人員進入制造現場著裝穿戴說明），一律按照一級EPA區(qū)域著裝要求進行管理，進入制造現場前須進行人體綜合測試（見下圖：人體綜合測試），測試不合格時不允許進入制造現場，須將測試不合格物品進行更換或清潔，測試合格后方可進入，進入制造現場時還需進行靜電釋放（見下圖：靜電釋放）。人體綜合測試臨時或外來人員的防靜電管理（外來（修理工、裝飾工等），進入防靜電區(qū)域時，必須遵守防靜電區(qū)域和生產過程的各項防靜[17]XX-XX-13-A/2XX-XX-13-A/2電要求；②臨時（外來）人員在參觀或作業(yè)過程中，不得靠近，操作ESSD的工作人員，也不得靠近或徒手接觸含有ESSD的在制品或成品；（開關高壓電源等）應事前采取防范措施，或安排在非生產時間內施工作業(yè)；④防靜電區(qū)域內需要進行某種維護、修理作業(yè)時，維護人員應攜帶并使用防靜電維修包，并遵守防靜電區(qū)域的有關規(guī)定。防靜電物品要求防靜電地板EPAEPA毯、塑料及普通地板革、拋光打蠟木地板、普通乙烯樹脂的地板等。導體雜質等。防靜電地板。1MΩ的電阻接地。保證地板防靜電性能的持久性。防靜電工作臺帶電組件內部短路。防靜電工作臺主要采用在工作臺上鋪設防靜電臺墊，防靜電臺墊必須滿足下面要求：①防靜電臺墊的尺寸應不小于工作臺面的大??；②防靜電臺墊必須正面（即防靜電面，綠色和灰色）朝上、背面（即導電面，黑色）朝下鋪設；③防靜電臺墊連接到防靜電工作臺的公共接地點，再由工作臺的公共接地點直接連接到接[18]地母線上接地。每塊臺墊必須且只需接一根防靜電地線，各個防靜電工作臺的接地線不能相互串接，應以并聯方式與接地母線連接；④壓接防靜電臺墊的靜電接地線聯接端子時應從防靜電臺墊的正面壓下，使其穿過臺墊并緊固，以保證電接觸良好；靜電劑進行清潔。工作椅EPA造革面、化纖面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防靜電椅。否則接地效果非常不好。在清潔的導體地板上，效果會好一些。但是在通常的制造區(qū)域，接地鏈防靜電包裝袋ESD具有屏蔽作用的防靜電袋。防靜電容器ESSD防靜電周轉車ESSD或含有ESSD良好可在車底加裝金屬鏈，使用中應避免導電車輪或金屬鏈脫離地面的情況出現。工具及輔助材料防靜電烙鐵、防靜電真空吸錫器等電動、氣動手工工具在使用前應首先接地。工具上需要接觸ESSDIC拔器、鑷子、吸錫器等必須是靜電耗散材料的工具。ESSD腕帶。防靜電液[19]防靜電液（防靜電劑）屬于一種導電性噴劑，均勻噴涂于材料表面，以改善材料表面的導電性能，主要應用于絕緣材料表面，使其滿足防靜電要求，屬于一種臨時、應急、短期的防靜電處理措施①在EPA區(qū)域內的個別夾具、工裝、工具等制作材料為非ESD材料，暫時無法替代也無法拿出EPA區(qū)域外，要求進行噴防靜電液處理從而達到防靜電目的；②噴防靜電液前應對非ESD材料表面進行清理干凈，并在其表面均勻地噴涂一層防靜電液，30分鐘左右，防靜電液干爽后，通知ESD專員測試確定其摩擦后靜電壓應小于100V；③對EPA區(qū)域內的非ESD材料噴防靜電液的頻率為每月一次；④對采用表面處理（防靜電液）來提高起防靜電性能的效果要保證每月檢查；⑤防靜電液原則上只允許對夾具、工裝、工具等上的非加電部位進行涂覆，不允許對產品和器件進行防靜電劑涂覆；⑥防靜電液的使用必須進行試驗測試，不能影響工裝、裝備、產品的電性能，避免漏電現象的發(fā)生。ESD接地線測試要求：限流電阻阻值的選擇應保證漏泄電流不超過5mA，下限阻值應為1MΩ。防靜電工作區(qū)必須有安全可靠的防靜電接地裝置，接地電阻小于4Ω。確保接地線有效接地；對于生銹或接觸不好的接地線要及時更換；對于松動的接地線要重新連接；對于檢查不合格的接地線必須采取措施并立即解決；6.5.10防靜電地板測試要求：40%RH當地板上附著有絕緣性的油膜、樹脂、橡膠和臟污時，應根據情況定期清除；清掃防靜電地板時不得使用絕緣性的地板蠟；嚴禁非ESDEPA導電和耗散材料并安裝導電絲或導電銅箔與靜電主線連接；地板材料采用PVC1試；地板測試不合格時，須立即報告區(qū)域負責人，并立即進行維護；6.5.10防靜電工作臺測試要求：[20]工作臺墊和地墊均應采用防靜電材料。防靜電臺墊和地墊上任意一點到靜電地線上的接地電阻為＜1.0×109Ω，防靜電臺墊上靜電泄放至100V以下的時間小于1秒。防靜電工作臺在日常使用中，必須確保正常接地狀態(tài)；等應放入靜電文件袋中；使用中性清洗劑或防靜電劑清潔防靜電臺墊和地墊；6.5.10防靜電工作椅測試要求：防靜電工作椅上任意一點到靜電地線上的接地電阻為＜1.0×109Ω，工作椅表面的摩擦電壓必須小于100V或高靜電電壓泄放到100V以下的時間小于26.5.10防靜電工具測試要求：帶有金屬外殼的便攜工具及儀器、設備提供的電源插頭座，應選用安全型；<4Ω＜20mV；6.5.10防靜電手腕帶測試要求：接地線電阻1MΩ，可接受范圍1MΩ±20%，手腕帶內側電阻＜1.0×105Ω，手腕帶外側電阻＜1.0×107Ω，靜電泄放至100V以下的時間小于0.1s，防靜電手腕帶測試要求見第6.5.10條。防靜電衣、帽測試要求：防靜電性能檢測條件：溫度25±3℃，相對濕度25±5%，2100V6.6.10防靜電手套、指套測試要求：防靜電手套和指套測試要求按6.5.7要求執(zhí)行。防靜電鞋測試要求：防靜電性能檢測條件：溫度25±3℃，相對濕度25±5%，2100VEPA（人體綜合電阻）6.6.10[21]6.5.10

ESD技術ESD控技術ESD控產品要求項目制項目檢測方法技術指標接設備接ANSI/ESD1.0Ω交流地/地體S6.1阻抗連檢測儀器搖表接系統接系統輔助接地ANSI/ESDS6.1工作臺ANSI/ESDS4.1面ANSI/ESD

ANSI/ESDS6.1

技術指標1.0Ω流阻抗到設備接地

測試/測試/鉗形表1次/半年/鉗形表1次/季度兆歐表＜100V壓表1次/周

器

檢查頻率 管理方案靜電測量記錄表STM4.2腕帶連 接線 S1.1ANSI/ESD

的阻值＜25 萬Ω 表＜1.0×109 兆Ω and/or 表＜100VV0.8×106Ω～ 兆歐1.2×106Ω 表內側電阻＜ 兆

ANSI/ESDS6.1ESD WorksurfaceESD 或穿戴人體

Ω接地電阻＜1.0×109Ω

靜電測量記錄表記錄表腕帶環(huán)

S1.1ANSI/ESDS1.1ANSI/ESD

1.0×105Ω 表外側電阻＞ 兆1.0×107Ω 表兆歐

身上使用人體綜合測試儀測試

＜3.5×Ω

/ 儀

2次/天 靜電測記錄表鞋裝

＜1.0×109Ω

ESDTR53

兆歐表工衣EPA靜

靜電控制工衣ANSI/ESD

＜1.01011 兆歐Ω 表兆歐

FlooringSectionESDTR53

＜1.0×1011 Ω＜3.5×107

壓表兆歐表

1次/月1/來料

靜電測量記錄表靜電測量地板電放電 座保護區(qū) 貨架移動設備

S7.1ANSI/ESDSTM12.1ANSI/ESD

＜1.0×109Ω 表兆歐＜1.0×109Ω 表兆歐＜1.0×109Ω 表兆歐

FlooringSectionESD SeatingSectionESD WorksurfaceSection

Ω1.0×109Ω1.0×109Ω

＜100V＜100V＜100V

壓表兆歐表壓表兆歐表壓表兆歐表

1/半年1/周1/周

記錄表記錄表記錄表靜電測量臺面)

ANSI/ESD

＜1.0×109Ω

表 ESDTR53萬用 烙鐵插頭

1.0×109Ω

＜100V 壓表

1/

記錄表靜電測量接地電阻烙鐵

＜2Ω

線與烙鐵頭 表 尖端的阻值通電狀態(tài)下

/

1/

記錄表漏電測試

＜20mV

萬用 烙鐵頭地線 表 與烙鐵頭尖端的電壓

/ 萬用表 1次/

靜電測量記錄表工具 電批 / ESD接地線測試方法：

漏電電壓

＜100V 壓表

1/

靜電測量記錄表接地線接地阻抗測量須使用鉗形表（見下圖：鉗形表測試儀）進行測量,測量方法如下：打開電池盒后蓋，裝入4節(jié)5號電池（注意電池的極性，不得反向；打開電源POWER，10OLΩ；[22]XX-XX-13-A/2OΩ測回路，讀取電阻值（見下圖。電源開關 調試 固定鉗口 手壓柄鉗形表測試儀

顯示屏

接地線測量方法防靜電地板測試方法：防靜電地板接地電阻測量須使用兆歐表（見下圖：兆歐表測試儀）進行測量,測量方法如下：電極在使用前應用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應采取相同的步聚后存放；將測試棒分別插入EARTHLINE將功能選擇開關撥至MΩ擋位；將儀器的兩極放在防靜電地板上不超過1（法；5測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。擇開關關EARTHACV

顯示屏COM/GLINE兆歐表測試儀[23]XX-XX-13-A/2防靜電地板測量方法防靜電工作臺測試方法：接地電阻測量：防靜電工作臺接地電阻測量須使用兆歐表（兆歐表測試儀見6.6.2①電極在使用前應用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應采取相同的步聚后存放；②將測試棒分別插入EARTH及LINE兩端；③將功能選擇開關撥至MΩ擋位；LINEEARTH電阻測試（見下圖：防靜電工作臺測量方法）；防靜電工作臺測量方法⑤打開電源開關5秒后或等讀數穩(wěn)定后即可讀數；[24]XX-XX-13-A/2⑦測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。（靜電電壓表測試儀見下圖測量方法如下：（靜電工作臺測量方法見下圖）；②按歸零鍵使測量數值歸零；③如要鎖定測量數值，按鎖定鍵即可。二次測量時需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。量程歸零鍵鍵板

鍵孔啟動鍵靜電電壓表測試儀

防靜電工作臺測量方法防靜電工作椅測試方法接地電阻測量：防靜電工作椅接地電阻測量須使用兆歐表（兆歐表測試儀見6.6.2①電極在使用前應用軟麻布擦拭干凈，使用完畢后，也應采取相同的步聚后存放；②將測試棒分別插入EARTH及LINE兩端；③將功能選擇開關撥至MΩ擋位；LINEEARTH阻測試（見下圖：防靜電工作椅測量方法）；秒后或等讀數穩(wěn)定后即可讀數；[25]XX-XX-13-A/2⑦測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。防靜電工作椅測量方法靜電電壓測量：防靜電工作椅測試須使用靜電電壓表（靜電電壓表測試儀見6.6.3（下圖：防靜電工作椅測量方法）；②按歸零鍵使測量數值歸零；③如要鎖定測量數值，按鎖定鍵即可。二次測量時需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。防靜電工作椅測量方法[26]XX-XX-13-A/2防靜電工具測試方法①將電批電源插頭插入電源排插孔中并接通電源；②打開數字萬用表，調整到電壓檔（直流2V），觀察顯示讀數是否為零，否則更換萬用表；③將數字萬用表表筆的一端與電批頭完全接觸，另一端與電源的接地線完全接觸，此時數字萬用表上顯示的讀數即為電批漏電電壓值（見下圖：電批漏電電壓測量）；④要求漏電電壓≤0.3V；⑤測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。電批漏電電壓測量（6.6.3①按啟動鍵，兩個測試燈亮，只要將這兩個燈對準電批頭表面，使兩個燈影重疊；②按歸零鍵使測量數值歸零；③如要鎖定測量數值，按鎖定鍵即可。二次測量時需按歸零鍵后重新測量；④要求靜電電壓＜100V；⑤測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。（測量方法如下：①將烙鐵電源線連接到烙鐵溫度測試儀，烙鐵地線與靜電線連接；②將烙鐵溫度測試儀地線與靜電線連接，接通烙鐵溫度測試儀電源，打開烙鐵溫度測試儀電源開關及烙鐵電源開關；③按功能選擇鍵選mV進行漏電測量，要求＜20mV；④按歸零鍵對顯示屏數值進行歸零；⑤電烙鐵溫度到達設置值以后，將烙鐵頭接觸烙鐵溫度測試儀金屬塊區(qū)域，并在烙鐵頭上加2～3cm左右的錫線；⑥觀查顯示屏等讀數穩(wěn)定后即可讀數；⑦測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。[27]XX-XX-13-A/2烙鐵溫度儀接地插孔

顯示屏 烙鐵溫度電源線接口

烙鐵電源線接口溫度最大峰值記錄鍵歸零鍵測量電阻指示燈電源開關測量溫度測量電壓功能選烙鐵頭接觸金指示燈指示燈擇鍵屬塊區(qū)域烙鐵溫度測試儀①將烙鐵電源線連接到烙鐵溫度測試儀，烙鐵地線與靜電線連接；②將烙鐵溫度測試儀地線與靜電線連接，接通烙鐵溫度測試儀電源，打開烙鐵溫度測試儀電源開關及烙鐵電源開關；OHMΩ；④按歸零鍵對顯示屏數值進行歸零；⑤電烙鐵溫度到達設置值以后，將烙鐵頭接觸烙鐵溫度測試儀金屬塊區(qū)域，并在烙鐵頭上加2～3cm左右的錫線；⑥觀查顯示屏等讀數穩(wěn)定后即可讀數；⑦測試不合格時，須立即報告負責人，并立即進行維護。防靜電手腕帶測試方法：公司對防靜電手腕帶有兩種不同類型的人體綜合測試儀測試：門禁式人體綜合測試儀測試（見下圖：門禁式人體綜合測試儀：①將手腕帶扎于手腕處，不能松動，手腕感覺四周握緊。保證手腕帶內表面與皮膚良好接觸；②將手腕帶香蕉插頭插入手腕帶測試孔中連接；③用手指接觸人體綜合測試儀上的金屬區(qū)域進行測試，測試合格時PASS指示燈亮，測試不合格時FAILHI指示燈亮。[28]XX-XX-13-A/2測試合格PASS指示燈亮

測試不合格FAILHI