半導體化學第5章潔凈間_第1頁
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文檔簡介

20世紀50年代初,高效空氣粒子過濾器HEPA(HighEffciecyParticulateAirFilter),在 體)傳送到另外一個物體(例如)的過程。這個過程能導致在極短的時間內(nèi)有一個非常高的電流通過,35%以上的損壞都可以歸咎于此。任何兩個不同材質(zhì)的物體接觸后再分離,即可產(chǎn)生靜電,任針對導電材料而言,因電子能在它的表面自由流動,如

⒋包括pn結(jié) ISO14644- 。 原來我們熟悉的級 考慮0.1μm5μm機械設備

建筑材料門窗泄漏 煙細

植物孢最小的大小

人類

外大氣

大氣

工業(yè)地<

C、活動:動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7D 靜止(坐著站1005005000750010000 態(tài)6態(tài) ②有 ④過濾 ⑤過濾 初 中

濕度:45 濕度:45 濕度:45(①送風至少經(jīng)過三級過濾(粗效、中效和高 Vertical AirflowClean

HorizontalLaminarAirflowCleanroom

TurbulentAirflowClean

CleantubeCleanroom

Clean

Class上

Class 中

Class下

Class下

Class中

暖氣方式 圖1 圖2圖3圖4多用在、醫(yī)療和電子等行業(yè)的小潔凈室中。在某些特殊的中也得到廣泛的應用。 型(元水平流基本原理:光學傳感器的探測 所有材料(墻、頂、地等)進入要、擦拭。人和物要分流,要分流。1個人打次噴嚏的發(fā)菌量是 )入HandShower 7)通過風淋,進入潔凈工作間

9.9.CLEANROOM 2不 鞋走34 6CLEAN

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