半導(dǎo)體工藝認(rèn)識(shí)實(shí)習(xí)報(bào)告

半導(dǎo)體工藝生疏實(shí)習(xí)報(bào)告子技術(shù)和型電子元器件領(lǐng)域中所用的材料，主要包括微電子材料、光電子材料、傳感材料、磁性材料、電子陶瓷材料等，它們支撐著通信、計(jì)算機(jī)、信息家電和網(wǎng)絡(luò)技術(shù)等現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)及航空、航天、準(zhǔn)確制導(dǎo)、敏捷武器等領(lǐng)域的進(jìn)展。電子信息材料是進(jìn)展電子信息產(chǎn)業(yè)的先導(dǎo)和根底。以單晶硅為代表的第一代半導(dǎo)體材料是集成電路產(chǎn)業(yè)的根底。1948年制造了晶體管，1960年集成電路1962導(dǎo)致了電子技術(shù)、光電子技術(shù)革命，產(chǎn)生了半導(dǎo)體微電子學(xué)與半導(dǎo)體光電子學(xué)，有力地推動(dòng)了計(jì)算機(jī)、通訊技術(shù)發(fā) 1 生根本轉(zhuǎn)變。光電子技術(shù)是現(xiàn)代信息技術(shù)的基磷化銦等化合物為代表的其次代半導(dǎo)體材料是型激光器和光探測(cè)器用材料。半導(dǎo)體發(fā)光二極管的消滅，其意義不亞于愛迪生制造白熾燈。半導(dǎo)體燈小巧可它可以發(fā)出赤橙黃綠青藍(lán)紫等的全彩色光和白色，它占盡了照明燈、指示燈的全部優(yōu)點(diǎn)。半導(dǎo)體光照明的主體材料主要是其次代、第三代半導(dǎo)體材料，特別是第三代半導(dǎo)體材料氮化鎵，它是唯一能發(fā)出藍(lán)光和白光的材料。于計(jì)算機(jī)、通信、航空等各個(gè)領(lǐng)域，是型器件的根底材料。〔一〕半導(dǎo)體材料〔semiconductormaterial〕物質(zhì)稱為半導(dǎo)體。半導(dǎo)體材料是一類具有半導(dǎo)體性能、可用來制作半導(dǎo)體器件 2 和集成電的電子材料，歐姆/厘米范圍內(nèi)。半導(dǎo)體材料的電學(xué)性質(zhì)對(duì)光、熱、電、磁等外界因素的變化格外敏感，在半導(dǎo)體材料中摻入少量雜質(zhì)可以把握這類材料的電導(dǎo)率。正是利用半導(dǎo)體材料的這些性質(zhì)，才制造出功導(dǎo)體工業(yè)的根底，它的進(jìn)展對(duì)半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)展有極大的影響。特性和參數(shù)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性對(duì)某些微量雜質(zhì)極敏感。純度很高的半導(dǎo)體材料稱為本征半導(dǎo)體，常溫下其電阻率很高，是電的不良導(dǎo)體。在高純半導(dǎo)體材料中摻入適當(dāng)雜質(zhì)后，由于雜質(zhì)原子供給導(dǎo)電載流子，使材料的電阻率大為降低。這種摻雜半導(dǎo)體常稱為雜質(zhì)半導(dǎo)體。雜質(zhì)半導(dǎo)體靠導(dǎo)帶電子導(dǎo)電的P型半導(dǎo)體。不同類型半導(dǎo)體間接觸〔構(gòu)子〔或空穴〕濃度差而產(chǎn)生集中，在接 3 觸處形成位壘，因而這類接觸具有單向PN制成具有不同功能的半導(dǎo)體器件，如二極〔如熱、光、電、磁等因素〕的變化格外敏感，據(jù)此可種類常用的半導(dǎo)體材料分為元素的種類很多，重要的有砷化化鎘及鎵砷硅等。其中砷化鎵是制造微波器件和集成電的重要材料。碳化硅由于其抗輻射力氣強(qiáng)、耐高溫存化學(xué)穩(wěn)定 4 制備不同的半導(dǎo)體器件對(duì)半導(dǎo)體材料有不同的形態(tài)要求，包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。常用的半導(dǎo)體材料制備工藝有提純、單晶的制備和薄膜外延生長。全部的半導(dǎo)體材料都需要對(duì)原料進(jìn)展提純，要求的純度在6個(gè)“9”11個(gè)“9”的方法分兩大類，一類是不轉(zhuǎn)變材料的化學(xué)組成進(jìn)展提純，稱為物理提純；另一類是把元素先變成化合物進(jìn)展提純，再將提純后的化合物復(fù)原成元素，稱為區(qū)域精制、拉晶提純等，使用最多的是絡(luò)合、萃取、精餾等，使用最多的是精因此常使用幾種提純方法相結(jié)合的工藝流程以獲得合格的材料。絕大多數(shù)半導(dǎo)體器件是在單晶片或以單晶片為襯底的外延片上作出的。成批量的半導(dǎo)體單晶都是用熔體生長法制成的。直拉法應(yīng)用 5 最廣，80％的硅單晶是用此法生產(chǎn)的，300毫米。在熔體中通入磁場(chǎng)的直拉法稱為磁控拉懸浮區(qū)熔法的熔體不與容器接觸，用此法生長高純硅單晶。用各種方法生產(chǎn)的體單晶再經(jīng)過晶體定向、滾磨、作參考面、切片、磨片、倒角、拋光、腐蝕、清洗、檢測(cè)、封裝等全部或局部工序以供給相應(yīng)的晶片。在單晶襯底上生長單晶薄膜稱為外延。外延的方法有氣相、液相、固相、分子束外延等。工業(yè)生產(chǎn)使用的主要是化屬有機(jī)化合物氣相外延和分子束外延則用于制備量子阱及超晶格等微構(gòu)造。非晶、微晶、多晶薄膜多在玻璃、陶瓷、金屬等襯底上用不同類型的化學(xué)氣相沉積、磁控濺射等方法制成。〔二〕磁性材料磁性材料，主要是指由過度元素鐵,鈷,鎳及其合金等能夠直接或間接產(chǎn)生磁 6 性的物質(zhì)。從應(yīng)用功能上講，磁性材料分為：軟磁材料、永磁材料、磁記錄-矩永磁材料、磁記錄-矩磁材料中既有金屬材料又有鐵氧體材料。磁性材料的應(yīng)用國防科學(xué)技術(shù)中廣泛使用的材料。如制造電力技術(shù)中的各種電機(jī)、變壓器，電子技術(shù)中的各種磁性元件和微波電子管，通信技術(shù)中的濾波器和增感器，國防技術(shù)中的磁性水雷、電磁炮，各種家海洋探測(cè)以及信息、能源、生物、空間技術(shù)中也獲得了廣泛的應(yīng)用。磁性材料的用途廣泛。主要是利用其各種磁特性和特別效應(yīng)制成元件或器件；用于存儲(chǔ)、傳輸和轉(zhuǎn)換電磁能量與信息，或在特定空間產(chǎn)生確定強(qiáng)度和分布的磁場(chǎng)；有時(shí)也以材料的自然形態(tài)而直接利用。磁性材料在電子技術(shù)領(lǐng)域和其他科學(xué)技 7 卡等。化也易退磁的一種鐵氧體材料。軟磁材料，它的功能主要是導(dǎo)磁、電磁能量的轉(zhuǎn)換與傳輸。軟磁材料的應(yīng)用電視偏轉(zhuǎn)軛、電纜、延遲線、傳感器、微波吸取材料、電磁鐵、高頻加主要用作各種電感元件，如濾波器、變壓器及天線的磁性和磁帶錄音、錄像的磁頭。永磁材料有合金、鐵氧體和金屬間基于電磁力作用原理的應(yīng)用主要有：揚(yáng)聲器、話筒、電表、按鍵、電機(jī)、繼電器、傳感器、開關(guān)等。②基于磁電作用 8 原理的應(yīng)用主要有：磁控管和行波管等微波電子管、顯像管、鈦泵、微波鐵氧體器件、磁阻器件、霍爾器件等。③基選礦機(jī)、磁力分別器、磁性吸盤、磁密封、磁黑板、玩具、標(biāo)牌、密碼鎖、復(fù)磁療、磁化水、磁麻醉等。永磁鐵氧體BaFe12O19。這種材料性能較好，本錢較低，不僅可用作電訊器件如錄音器、機(jī)及各種儀表的磁鐵，而已在醫(yī)學(xué)、生物和印刷顯示等方面也得到了應(yīng)用。信息記錄、無接點(diǎn)開關(guān)、規(guī)律操作和信息放大。這種材料的特點(diǎn)是磁滯回線呈矩形。了以上的專業(yè)內(nèi)容，還意識(shí)到了自己肩上的重大責(zé)任，在以后的專業(yè)學(xué)習(xí)過程中，確定不辜負(fù)教師的殷殷期望，努力學(xué)習(xí)，把有限的生命投入到無限的電子 9 信息材料事業(yè)的奮斗中去。半導(dǎo)體工藝實(shí)習(xí)心得體會(huì)12023110王寧讓我不免有些奇異和感動(dòng)。我們的工藝實(shí)習(xí)間，這次又來，故并沒有感到這個(gè)工藝間很生疏。說實(shí)在的，就在進(jìn)入工藝間并換好行頭后，自己真的有種要干一番事業(yè)的感覺了，但在之后的對(duì)準(zhǔn)練習(xí)這個(gè)環(huán)節(jié)，我深深的疑心了自己的力氣。由于組內(nèi)男生較多，所以很多體力活他們都主動(dòng)擔(dān)當(dāng)了，特別感謝他們。組長主動(dòng)擔(dān)當(dāng)起最危急的煮王水的這一道工藝，細(xì)心的李軍和魏行則進(jìn)入光刻次嘗試光刻對(duì)準(zhǔn)這道工序的時(shí)候，對(duì)的一點(diǎn)都不準(zhǔn)，之后比照著教師對(duì)準(zhǔn)的模版，才把握住這道工藝的要領(lǐng)，笨鳥就要多練習(xí)，漸漸的我在練習(xí)中也增長了 10 閱歷。手越抖，膠就越不能滴準(zhǔn)到吸盤的正中心，也就甩不均勻。而且確定要心細(xì)，時(shí)刻留意保護(hù)光刻膠，不能讓它曝光。備溫度能到達(dá)上千度，爐口的溫度也很高，所以在送、取硅片的時(shí)候都要在高溫下保持住平穩(wěn)，這樣硅片才能正正的放進(jìn)爐中。短暫的兩天的時(shí)間里，真的要比在課堂上聽兩天的課學(xué)到的多。實(shí)習(xí)報(bào)告實(shí)習(xí)目的：意法半導(dǎo)體制造〔深圳〕，為期十個(gè)月的實(shí)習(xí)。畢業(yè)實(shí)習(xí)的目的是：接觸實(shí)際，了解社會(huì)，增加社會(huì)主義事業(yè)心，責(zé)任感，穩(wěn)固所學(xué)理論，獵取專業(yè)實(shí)際學(xué)問，培育初步的工作力氣，具 11 體如下：常事物和工作流程，學(xué)會(huì)工作的方法，理解所學(xué)專業(yè)的意義。任感，形成寵愛專業(yè)，寵愛勞動(dòng)的良好品質(zhì)。預(yù)演和預(yù)備就業(yè)，找出自身狀況和作做好從分的學(xué)問和力氣貯存。實(shí)習(xí)時(shí)間：2023720234月底，為期十個(gè)月的實(shí)踐學(xué)習(xí)實(shí)習(xí)單位：3-1.單位地址和規(guī)模：實(shí)習(xí)單位位于深圳市龍崗寶龍社區(qū)12〔深圳〕，公司是一個(gè)子公司，現(xiàn)擁有5000于人，多條生產(chǎn)線，擁有產(chǎn)能70億只/年的生產(chǎn)力氣。 12 3-2.實(shí)習(xí)期間在單位主要職務(wù)：產(chǎn)品的成品率。3-2.實(shí)習(xí)單位的歷史和進(jìn)展：意法半導(dǎo)體制造〔深圳〕20239月在深圳市正式注冊(cè)成立，由意法半導(dǎo)體公司全資公司意法半導(dǎo)體〔中國〕投資出資成立，公司的成立是為了深圳市龍崗區(qū)開發(fā)建設(shè)集成電路封裝測(cè)試工程，字公司成立以來5000余名員工，8條70億只/產(chǎn)品，主要是封裝測(cè)試穩(wěn)壓管。3-3.實(shí)習(xí)單位.部門.職位：我在意法半導(dǎo)體制造〔深圳〕，TO220部門從事工程師助理，主要幫助工程師解決產(chǎn)品質(zhì)量問題和工藝流程。提高產(chǎn)品的成品率以及其他方面的一些試驗(yàn)和跟蹤一些工程。實(shí)習(xí)過程：202372日，我正式在深圳意 13 法半導(dǎo)體制造〔深圳〕，開頭7天的培訓(xùn)，初步了解公司的運(yùn)作方8：305：30分下班，40小時(shí)，海港開始培訓(xùn)玩的時(shí)候，我被分到了M/D工位做工程師助理，接觸和了解了很多工藝流程方面的學(xué)問，以及確定的治理方法。剛開頭三個(gè)星期里面，感覺無所事事，成天在車間里逛，看，然后就是看一些資料，知道第三個(gè)星期完畢擦愛初步就具備了工作的力氣，才被具體安M/D工位是半導(dǎo)體封裝的工位，有著速度快、精度搞的特點(diǎn)，1800K/天的產(chǎn)能，剛開頭我就負(fù)責(zé)IPC，監(jiān)視質(zhì)量以及前工位送做試驗(yàn)的一些產(chǎn)品，尋常閑的時(shí)候就學(xué)學(xué)怎么具體操作機(jī)器，學(xué)習(xí)修理機(jī)器，機(jī)器保養(yǎng)維護(hù)。早M/DFICOACCY口的先進(jìn)機(jī)器，運(yùn)行速度格外快，而且模具精度格外高。尋常拆模具的時(shí)候我 14 也幫幫助，從中可以學(xué)到關(guān)于模具的學(xué)問，進(jìn)距離的安裝高進(jìn)度模具。感覺格外周密，合模后裝上水，一個(gè)星期水都不會(huì)漏出來?？赡茉趯W(xué)校薛計(jì)算機(jī)，英語水平也過的去，所以工作起來相比照較M/D工位的時(shí)候，自己常常做一些總結(jié)，學(xué)會(huì)了一些根本的學(xué)習(xí)技巧和溝通力氣。以及確定的治理力氣，真真實(shí)切的體會(huì)到了，從學(xué)校到社會(huì)明顯的過度，心態(tài)也發(fā)生了明顯的轉(zhuǎn)變。由剛開頭的擔(dān)憂、還怕、對(duì)將來的恐驚，現(xiàn)在都會(huì)以坦然的心態(tài)面對(duì)。雖然工作的時(shí)候有確定的壓力，但對(duì)將來的動(dòng)力更讓我學(xué)會(huì)了一些在課堂上學(xué)不到的學(xué)問和力氣，讓我生疏了理論和實(shí)際的差距并不是在課堂上就能彌補(bǔ)的，需要在實(shí)踐中不斷積存，不斷學(xué)習(xí)，一次次從錯(cuò)誤中吸取教訓(xùn)在不斷改進(jìn)，更好的把理論和實(shí)踐結(jié)合起來，咋這結(jié)合的過程就是我們學(xué)以致用的過程， 15 己的時(shí)候。努力工作，嚴(yán)格要求自己，在遇到困難和不懂的問題的時(shí)候，就虛心向師傅請(qǐng)教，向有閱歷的老員工請(qǐng)教，知道弄懂為止。搞清楚原理，弄清楚方法然后在總結(jié)閱歷，讓自己能快速的融入到工作中去，更好的快速的完成任務(wù)。同時(shí)我也利用其他空余的時(shí)間學(xué)習(xí)參考一些相關(guān)的書籍，收索一些理論資料啦完善自己對(duì)工程治理的一些學(xué)問，能夠更深一步的了解理論，將實(shí)際和理論向結(jié)合起來，到達(dá)靈敏運(yùn)用的境地。這些也讓我收獲頗豐，讓我對(duì)工作更加得心應(yīng)手，在實(shí)習(xí)期間該廠正好是訂單較多的時(shí)候，也是歷年訂單最多的一年，生產(chǎn)進(jìn)才覺察這個(gè)部門對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量需求及其嚴(yán)格，對(duì)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估也特別苛刻。比方一盒產(chǎn)品3200 16 die裂的狀況，就會(huì)講一整合3200粒產(chǎn)品全部廢棄掉。這也就反響了公司對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求及其嚴(yán)格，質(zhì)量是企業(yè)的第一信譽(yù)，是產(chǎn)品的形象。公司嚴(yán)格對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量把關(guān)，就等于把握了企業(yè)的將來，正懷著這種信念我對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求也及其嚴(yán)格，對(duì)于不合格的產(chǎn)品和有風(fēng)險(xiǎn)的產(chǎn)品一律廢棄掉，當(dāng)做廢品處理掉，對(duì)有風(fēng)險(xiǎn)的產(chǎn)品進(jìn)展評(píng)估，合格的才會(huì)被連續(xù)生產(chǎn)，不合格的就會(huì)被當(dāng)做廢棄無處理掉。經(jīng)過一個(gè)辦月在M/D工位的摸索和實(shí)踐，對(duì)嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度，以及自身力氣的提高，上級(jí)對(duì)我的工作格外認(rèn)可，于是就讓我產(chǎn)于更具挑戰(zhàn)性的工程，提升VR產(chǎn)品系列的成品率。換句話說就是找出各個(gè)工位不合理照成VR系列產(chǎn)品成品率于98%的緣由，在反響到各個(gè)部門主管和工程師，實(shí)行相應(yīng)的方 17 這個(gè)困難的任務(wù)，于是變成立了一個(gè)團(tuán)PM、PMhandVR系列產(chǎn)品的成品率提99%左右。這一歷史性的突破不僅給公司帶來了巨大的效益，也對(duì)自己的力氣得到確定，對(duì)自己帶來了很大的自信念和滿足感。同時(shí)上級(jí)對(duì)我的努力作出了確定，于是在11月份左右，上級(jí)領(lǐng)導(dǎo)打算讓我連續(xù)跟蹤P-MOS系列產(chǎn)品，提升VP-MOS系列產(chǎn)品的成品率，于是我就開頭了一輪的困難卓絕的奮斗。4月份雖然沒有完成語氣的目標(biāo)，但是P-MOS系列產(chǎn)品的成品率相比以前提升了一大截，這在以前是沒有過的。連續(xù)努力，我認(rèn)真想想緣由，其實(shí)