各類真空泵的基本原理

各類真空泵的基本原理第一頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五目錄一、概述

1、真空泵的分類

2、各類真空泵工作壓力范圍

3、真空泵的規(guī)格及型號(hào)表示法二、常用真空泵技術(shù)

1、蒸汽噴射泵

2、濕式泵

3、干式泵三、總結(jié)第二頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五一、概述

真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的極高真空范圍。第三頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五真空區(qū)域的劃分

?

粗真空105～103Pa

?

低真空103～10-1

Pa

?

高真空10-1～10-6

Pa

?

超高真空10-6～10-10

Pa

?

極高真空<10-10Pa

第四頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五1、真空泵的分類

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵。

變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。

動(dòng)量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。第五?yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五變?nèi)菡婵毡?

往復(fù)式?

旋轉(zhuǎn)式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉(zhuǎn)子式）

?

其它型式第六頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五2、各類真空泵工作壓力范圍真空泵種類

工作壓強(qiáng)范圍（Pa）

往復(fù)式真空泵1×105～1.3×102

旋片式真空泵

1×105～6.7×10-1

液環(huán)式真空泵

1×105～2.7×103

羅茨式真空泵

1.3×103～1.3

水蒸氣噴射泵

1×105～1.3×10-1

油擴(kuò)散泵

1.3×10-2～1.3×10-7

鈦升華泵

1.3×10-2～1.3×10-9

第七頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五3、真空泵的規(guī)格及型號(hào)表示法

國(guó)產(chǎn)的各種機(jī)械真空泵的型號(hào)通常是用漢語(yǔ)拼音字母來表示。漢語(yǔ)拼音字母表示泵的類型；字母前的數(shù)字表示泵的級(jí)數(shù)，單級(jí)時(shí)“1”省略；字母后邊橫線后的數(shù)字表示泵的抽速(L/S)

。第八頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五國(guó)產(chǎn)真空泵型號(hào)對(duì)照表型

號(hào)名

稱型

號(hào)名

稱W

往復(fù)式真空泵H滑閥式真空泵

WY

移動(dòng)閥式往復(fù)泵

YZ余擺線真空泵

WL

立式往復(fù)泵

ZJ羅茨真空泵

SZ

水環(huán)泵

X旋片式真空泵

SZB

懸臂式結(jié)構(gòu)水環(huán)泵

F分子真空泵

SZZ

直聯(lián)式水環(huán)泵

XZ直聯(lián)式旋片泵

第九頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五二、常用真空泵技術(shù)

蒸汽噴射泵濕式泵（液環(huán)真空泵、旋轉(zhuǎn)葉片泵）干式泵（羅茨泵、螺桿泵、爪式泵）第十頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五蒸汽噴射泵原理圖1、蒸汽噴射泵第十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五蒸汽噴射泵原理

壓力為ρ0﹑速度為ω0的工作蒸汽流經(jīng)拉瓦爾噴嘴(見拉瓦爾噴管)﹐在噴嘴出口處射流的速度上升到超音速

ω1﹐而壓力下降為ρ1﹐因而將被抽氣體吸入﹐與高速蒸汽流碰撞﹑混合和交換能量﹑并流向擴(kuò)散器。在擴(kuò)散器收縮段蒸汽和被抽氣體進(jìn)一步混合﹐成為均勻混合氣體。在這一過程中混合氣體的速度開始連續(xù)下降﹐而壓力連續(xù)上升﹐在擴(kuò)散器喉段附近產(chǎn)生正激波?；旌蠚怏w速度由超音速急劇降為亞音速﹐而壓力則隨之急劇升高。在擴(kuò)散器出口處﹐壓力上升到大氣壓力或后一級(jí)噴射器的進(jìn)口壓力時(shí)﹐混合氣體即排出。

第十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五蒸汽噴射泵優(yōu)點(diǎn)：無機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件可靠耐用快速的抽真空緊湊、占地面積小工作安全低的投資成本適應(yīng)性強(qiáng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕第十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五蒸汽噴射泵缺點(diǎn)：運(yùn)動(dòng)流體供應(yīng)廢水處理工藝過程污染故障探尋困難級(jí)間冷卻常為多級(jí)在400PaA以下結(jié)冰第十四頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五2、濕式泵

液環(huán)真空泵第十五頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)式真空泵工作原理

泵吸入(氣體混合物)氣體混合物

氣體混合物工作液氣體和液體泵排出(氣體和液體)第十六頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)真空泵工作原理

在圓形泵體（A）內(nèi)，在相對(duì)于泵體中心線為偏心的軸上裝有一個(gè)葉輪（B）。轉(zhuǎn)動(dòng)的葉輪的離心作用迫使工作液通過通道（D）流向腔體周邊形成環(huán)流（C）。

泵起作用時(shí)，被輸送的氣體混合物經(jīng)過中間板（E）上的吸入口（H）進(jìn)入葉輪，在泵入口處形成真空。氣體混合物充入位于液環(huán)內(nèi)徑和葉輪葉片根部之間的葉輪腔內(nèi)。當(dāng)葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，葉輪葉片浸沒在液環(huán)中的程度增加，而使液環(huán)和葉輪葉片根部之間的容積減少。結(jié)果是氣體混合物受到壓縮，直至到達(dá)中間板中（K）的排放口（J）。氣體混合物通過排放口排出。

在壓縮循環(huán)過程中，熱傳遞到液環(huán)。為了使溫度保持在工作液的蒸發(fā)點(diǎn)以下，必須進(jìn)行冷卻。通過連續(xù)不斷地向液環(huán)添加冷的工作液來達(dá)到冷卻的目的。添加的工作液量與經(jīng)過排放口與壓縮氣體混合物一起排放的工作液排放量相等。氣體混合物和工作液最終經(jīng)過泵出口進(jìn)行分離。

第十七頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)式真空泵基本類型液環(huán)泵按不同結(jié)構(gòu)可分成如下幾種類型：

(1)單級(jí)單作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。這種泵的極限真空較高，但抽速和效率較低。

(2)單級(jí)雙作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵大大減少尺寸和重量。由于工作腔對(duì)稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。第十八頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)式真空泵基本類型(3)雙級(jí)液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。

(4)大氣液環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機(jī)組。液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高極限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。第十九頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)式真空泵優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，維修方便。第二十頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五液環(huán)式真空泵缺點(diǎn)：效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不僅是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強(qiáng)只能達(dá)到2000~4000Pa。用油作工作液，可達(dá)130Pa。封液循環(huán)、污染第二十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五旋轉(zhuǎn)式葉片泵排放口排放閥固定泵筒轉(zhuǎn)子進(jìn)氣口葉片彈簧濕式泵第二十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五旋轉(zhuǎn)式葉片泵原理

轉(zhuǎn)子在有柱狀膛孔的定子內(nèi)。轉(zhuǎn)子有兩個(gè)葉片在槽中反向滑動(dòng)。當(dāng)轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，葉片端與油潤(rùn)滑定子壁接觸。每轉(zhuǎn)一次為兩個(gè)泵吸循環(huán)—比較小的不平衡力。第二十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五油封旋轉(zhuǎn)式葉片泵旋

轉(zhuǎn)

式

葉

片1.吸氣2.隔離

3.壓縮

4.排氣第二十四頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五旋轉(zhuǎn)式葉片泵

優(yōu)點(diǎn)

極限壓力好噪聲小應(yīng)用范圍廣缺點(diǎn)

油封液污染對(duì)腐蝕很敏感維修費(fèi)用高抽速范圍受到限制不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對(duì)泵密封油起化學(xué)作用、及含有顆?；覊m的氣體。

第二十五頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五濕式泵的主要問題密封液體供應(yīng)污染廢水處理腐蝕蒸汽壓力限制（特別是液環(huán)泵）可靠性運(yùn)行成本

第二十六頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五27沒有工業(yè)生產(chǎn)液流的污染深度真空，運(yùn)轉(zhuǎn)更靈活無廢水，無污染，（較少或）無廢棄物處理費(fèi)用維修成本較低在泵排放口立即回收溶劑消耗水、電、氣等費(fèi)用較低→運(yùn)行成本較低

3、干式泵干式抽真空：第二十七頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五

X=好

x=壞

技術(shù)對(duì)比第二十八頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五干式泵的成本

投資成本較高較低的運(yùn)行成本延長(zhǎng)維修服務(wù)間隔時(shí)間和軸承壽命。在運(yùn)轉(zhuǎn)范圍內(nèi)，電力消耗較低。因此，在容能比（M3/hr/kW）方面節(jié)能效果更好。無受污染的油要進(jìn)行處理（除了齒輪箱以外）。第二十九頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五干式泵技術(shù)：泵的類型

羅茨泵螺桿泵爪式泵第三十頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五羅茨泵氣量被收集被泵吸的氣量進(jìn)氣移動(dòng)(無壓縮)排氣外露排氣口羅茨結(jié)構(gòu)的各級(jí)運(yùn)行第三十一頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五螺桿泵螺桿結(jié)構(gòu)方式氣體從這個(gè)方向泵吸第三十二頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五螺桿泵原理螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）等。

第三十三頁(yè)，共三十八頁(yè)，編輯于2023年，星期五螺桿泵結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

通過減速或注氣來冷卻—能力降低并減少危險(xiǎn)雙螺桿運(yùn)轉(zhuǎn)不銹鋼轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子嚙合匹配懸臂軸單級(jí)壓縮產(chǎn)生過多的熱有很好的液體兼容性維護(hù)保養(yǎng)非常容易復(fù)雜的螺桿結(jié)