真空泵的選型及數(shù)據(jù)計算

#S=S/10維前9、擴散泵抽速估算：S=3D2（D=直徑cm）10、羅茨泵的前級抽速：S=（0.1~0.2）S羅（l/s）11、漏率：QS=V（P2-Pi）/（t2-t1）Q漏一系統(tǒng)漏率（mmHg?l/s）漏V—系統(tǒng)容積（l）P[—真空泵停止時系統(tǒng)中壓強（mmHg）P2—真空室經過時間t后達到的壓強（mmHg）t—壓強從P1升到P2經過的時間（s）12、粗抽泵的抽速選擇：S=Qi/P預（l/s）S=2.3V?lg（Pa/P預）/tS—機械泵有效抽速Q1—真空系統(tǒng)漏氣率（托?升/秒）P預—需要達到的預真空度（托）V—真空系統(tǒng)容積（升）t—達到P預時所需要的時間Pa—大氣壓值（托）13、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PS>PS或nggSg>Pgs/PnSg—前級泵的有效抽速（l/s）Pn—主泵臨界前級壓強（最大排氣壓強）（l/s）Pg—真空室最高工作壓強（托）S—主泵工作時在Pg時的有效抽速。（US）14、擴散泵抽速計算公式：S=Q/P=（K?n）/（P?t）（升/秒）式中：S—被試泵的抽氣速率（l/s）n—滴管內油柱上升格數(shù)（格）t—油柱上升n格所需要的時間（秒）P—在泵口附近測得的壓強（托）K—滴管系數(shù)（托?升/秒）Kf（L/n）?（丫。飾出小其中VO—滴管和真空膠管的原始容積（升）L—滴管刻度部分的長度（mm）n—滴管刻度部分的格數(shù)（格）丫0—油的比重（克/厘米3）丫m—汞的比重（克/厘米3）Pa—當?shù)卮髿鈮簭姡ㄍ校鱒t—滴管的刻度上的一格的對應的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：S=nZnLKv（D2-d2）/（24x104）（l/s）式中：Z為旋片數(shù)，n為轉速（轉/分），L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉子直徑（cm）,Kv為容積利用系數(shù)（一般取95％）。16、真空容器的排氣時間對于低真空和中真空的排氣時間，當泄漏量較小時，真空設備從壓強P1降低到P2所需的排氣時間為:t=2.3（V/S）lg（P1/P2）式中t：排氣時間，sV:真空設備容積，LS:泵的有效抽氣速率，L/SP1,P2:開始時容器的壓強和抽至所需的壓強，mmHg。17、真空系統(tǒng)抽氣速率Se的計算方法：連續(xù)操作系統(tǒng)1、計算真空系統(tǒng)的總泄漏量Qso根據(jù)真空系統(tǒng)的容積進行的泄漏量估算：客積/11?0.1135102550100200空吒平血即漏.GV0.5-L01-22-43P4-88-2010-30根據(jù)接頭密封長度進行的泄漏量估算:非常好iE常池澹暈kg/h恤0.030.10.22、計算總抽氣量QQ=Q1+Q2+Q3Q:總抽氣量，kg/hQ1:真空系統(tǒng)工作過程中產生的氣體量，kg/hQ2:真空系統(tǒng)的放氣量，kg/hQ3:真空系統(tǒng)總泄漏量，kg/h3、計算Se：Se=QR(273+Ts)/PsMR:通用氣體常數(shù)R=8.31kJ/(kmol*K)Ts:抽出氣體的溫度，oCPs：真空系統(tǒng)的工作壓力，kPa，GM：抽出氣體的平均分子量Se：真空系統(tǒng)的抽氣速率，m3/h間歇操作系統(tǒng)Se=138V/t*lg(P1/P2)m3/h真空泵的選用1根據(jù)真空系統(tǒng)的真空度和泵進口管道的壓力降，確定泵吸入口處的真空度(絕壓)2確定真空系統(tǒng)的抽氣速率Se3將Se換算成泵廠規(guī)定條件下的抽氣速率Se'一般可按照下式計算：Se'=Se(273+[Ts])/(273+Ts)[Ts]：泵標準進氣溫度4根據(jù)抽氣速率和真空度要求，按照下式選擇確定真空泵的類型要求真空泵的抽氣速率S滿足：S>(20%-30%)Se'為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到最大，需要筆直的抽氣管道（長度短）并使用直徑盡可能大的管道。真空泵中抽氣管道的選擇為一個工藝選擇真空泵時，工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到最大，需要筆直的抽氣管道（長度短）并使用直徑盡可能大的管道。看起來似乎很簡單，但是這里有許多因素需要考慮。實際上，如果我們從物理學角度考慮，就可以明確哪些是關鍵因素。在穩(wěn)定狀態(tài)的條件下，如果抽氣管道內沒有氣源（泄漏）或氣體減少（冷凝），抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言，進入工藝室的氣體必須從泵出來。已知氣體摩爾流量為M（公斤/摩爾）、抽氣速率為S（立方米/秒）、壓力為P（帕）、絕對溫度為T（開爾文），則質量流量計算如下：質量流量（公斤/秒）=（M*P*S）/（Ro*T）Ro=通用氣體常數(shù)對于大多數(shù)抽氣系統(tǒng)而言，氣體絕對溫度（T）在抽氣管道中不會顯著減少，而且可以合理地假定為恒定的。在此情況下，抽氣管道任何截面（P*S）的乘積（稱為通量）相同。由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力，可見壓力（P）必須在工藝室中為最高值，在泵入口為最低值。由于我們假定通量恒定，可見抽氣速率(S)在工藝室為最小值，在泵入口為最大值(等于泵速)。工藝室的抽氣速率將低于泵入口的抽氣速率，相差多少取決于抽氣管道的屬性(例如長度和尺寸)。盡量降低工藝室和泵入口之間的壓力差就可以使抽氣速率損失減到最少。顯然，抽氣管道的屬性對于性能十分關鍵。此時還需要考慮其它因素：流導。我們采用流導(阻力的倒數(shù))這一術語來定義“管道傳遞流動的能力”。流導的計量單位是每單位時間的體積并且和抽氣速率的單位相同。工藝室抽氣速率(S)可用抽氣管道流導(C)和應用泵速(Sp)計算，如下所示：S=(Sp*C)/(Sp+C)當C遠遠大于Sp時，則S近似為Sp;當Sp遠遠大于C時，則S近似為Co工藝室的抽氣速率始終低于應用泵速而且低于抽氣管道中部件的最小流導(通常為最小直徑)。在某種程度上管道短而粗是最好的。采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導是不錯的做法，但只限于當抽氣速度S接近泵速(Sp)極值的情況。除此之外，通過增加管道直徑(成本也會相應增加)來增加流導并不能顯著提高工藝室抽氣速率;換而言之，如果抽氣管道流導受限并且由于物理因素不能增加，當(S)接近管道流導(C)