智能型氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)范

.HJ-M-187-2023智能型氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)程2023-11-20公布 實(shí)施陜西華燕航空儀表質(zhì)量保證部.精品..HJ-M-187-2023本 規(guī) 程 簽 署 人 員校對(duì)：審定：標(biāo)審：發(fā)放單位及份數(shù)治理室儀器儀表室

長度計(jì)量室理化試驗(yàn)室.精品..HJ-M-187-2023代替HJ-M-187-96智能型氦質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)規(guī)程范圍本標(biāo)準(zhǔn)適用于我公司使用中及修理后的 ZLS-24C型和ZLS-26D/T型氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)?！卜▏柨ㄌ氐?ASM182T型氦質(zhì)譜檢漏儀可參照本標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)〕。概述氦質(zhì)譜檢漏儀主要包括參考漏孔、節(jié)流閥、質(zhì)譜室、抽氣機(jī)組〔真空局部〕、質(zhì)譜分析器電源、報(bào)警器、信號(hào)顯示〔電器局部〕。由吸槍或噴槍將通過漏孔漏出的氦氣引入質(zhì)譜室，經(jīng)過質(zhì)譜分析，漏氣信號(hào)的大小由輸出指示顯示出來，通過校準(zhǔn)可計(jì)算出漏率值的大小。經(jīng)過漏孔標(biāo)定過的檢漏儀，即可用來檢查產(chǎn)品和器件的微小漏隙。引用文件Q/20232316-X-61-2023ZLS-26D/TASM182T

成都儀器廠企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀說明書氦質(zhì)譜檢漏儀使用手冊(cè)陜西華燕航空儀表質(zhì)保部.精品..HJ-M-187-2023技術(shù)要求外觀質(zhì)量儀器涂層應(yīng)色澤均勻，外表不得有明顯的損傷和銹蝕。儀器上的開關(guān)、旋鈕和調(diào)整機(jī)構(gòu)應(yīng)安裝結(jié)實(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)敏捷。絕緣電阻在正常工作條件下，儀器的電源線和機(jī)殼之間的絕緣電阻應(yīng)大于 5MΩ。儀器的錯(cuò)、缺相保護(hù)功能〔 ZLS-24C型〕使用三相電源的儀器應(yīng)當(dāng)有錯(cuò)、缺相保護(hù)措施。儀器啟動(dòng)時(shí)間〔ZLS26D/T型〕儀器開機(jī) 5min后，真空應(yīng)到達(dá) 1×10〔儀器已停機(jī) 8h但未超過24h，系統(tǒng)保持真空〕，可以啟動(dòng)燈絲，進(jìn)展檢漏工作。儀器漏率音響報(bào)警功能漏率音響報(bào)警點(diǎn)應(yīng)能任意設(shè)置。開場(chǎng)報(bào)警后，音響的頻率應(yīng)隨輸出示值的變化而變化。陜西華燕航空儀表質(zhì)保部.精品.

–a.HJ-M-187-2023漏率器的最小可漏率ZLS-24C型優(yōu) 2×10－〔對(duì)氣〕ZLS-26D/T型應(yīng) 5×10－〔空氣〕ASM182T型應(yīng) 5×10－〔空氣〕粗抽到檢的切點(diǎn)〔 ASM182T型無此項(xiàng)粗抽到漏的切點(diǎn)，能在阻指示40Pa至0.1Pa的范任意定。加速調(diào)〔100V～200V〕±10V〔ASM182T型無此流的可

0.5mA～1.5mA〔ASM182T型無此4.10器的自身漏隙有自身氦久可以出的漏隙存在。校準(zhǔn)境5.1境溫度：5℃～35℃。5.2 相對(duì)度：≤ 80％RH。5.3

供：380V±38V; 220V±22V; 50HZ

±0.5HZ5.4器四周無的磁干，無震驚，無腐性氣體。陜航空表保部.精品..HJ-M-187-2023校準(zhǔn)工程及設(shè)備校準(zhǔn)工程

修理后校準(zhǔn)1外觀檢查檢/2絕緣電阻檢檢3儀器啟動(dòng)時(shí)間檢檢4儀器漏率音響報(bào)警功能檢/5儀器的最小可檢漏率檢檢6粗抽到檢漏的切換點(diǎn)檢/7加速電壓的可調(diào)整范圍檢檢8放射電流的可調(diào)整范圍檢檢9儀器的自身漏隙檢檢校準(zhǔn)方法儀器的外觀質(zhì)量用目視檢查，目視檢查，儀器涂層應(yīng)色澤均勻，外表不得有明顯的損傷和銹蝕。儀器上的開關(guān)、旋鈕和調(diào)整機(jī)構(gòu)應(yīng)安裝結(jié)實(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)敏捷。陜西華燕航空儀表質(zhì)保部.精品..HJ-M-187-2023絕緣電阻用500V的兆歐表，的昂電源開關(guān)在“開〞時(shí)，測(cè)儀器電源線對(duì)機(jī)殼之間的絕緣電阻應(yīng)大于 5MΩ。儀器啟動(dòng)時(shí)間試驗(yàn)〔對(duì) ZLS-26D/T型〕用秒表記錄儀器自開機(jī)后至真空到達(dá) 1×10–2Pa的時(shí)間〔儀器已停機(jī) 8h但未超過24h，系統(tǒng)保持真空〕。漏率音響報(bào)警功能的試驗(yàn)調(diào)整放大器的輸出示值，檢驗(yàn)報(bào)警點(diǎn)的設(shè)定范圍及音響器頻率的變化。儀器的最小可檢漏率按正常開機(jī)過程，抽到高真空，激發(fā)冷規(guī)，待抽到真空度為 1×10–2Pa以上時(shí)，啟動(dòng)燈絲，調(diào)整放射電流為 0.75～1mA左右，待高真空上升至 0.5×10–3Pa以上時(shí)，翻開漏孔，全開節(jié)流閥，調(diào)整加速電壓，使其氦峰最大。校準(zhǔn)漏孔翻開前，讀取檢漏儀的輸出指示的本底值 U,再翻開漏孔，讀取檢漏N儀輸出指示最大值 U。0最小可檢漏率Q 的計(jì)算：

＝—×QPa.m

2最小 最小 0 -1UN—————

關(guān)漏孔后儀器的噪聲和漂移確實(shí)定值之和U——校準(zhǔn)漏孔產(chǎn)生的訊號(hào) UU.精品.

sQ0————

－N校準(zhǔn)漏孔漏率，Pa.m -1.2.s2.s陜西華燕航空儀表質(zhì)保部.精品..ZLS-24C型Q－11Pa.m2.s

HJ-M-187-2023應(yīng)優(yōu)于2×10 -1最小ZLS-26D/T型Q 應(yīng)優(yōu)于5×10

－11

Pa.m2.s-1－12Pa.m2.s 最小ASM182T型應(yīng)優(yōu)于510－12Pa.m2.s

－12－12Pa.m2.s

Pa.m2.s-1粗抽到檢漏的切換點(diǎn)的試驗(yàn)調(diào)粗抽至檢漏切換點(diǎn)電位器， 由一端到另一端，制造等效的低真空指示值變化，檢驗(yàn)切換點(diǎn)的設(shè)定范圍。加速電壓調(diào)整范圍的試驗(yàn)調(diào)加速電壓電位器，表頭示值應(yīng)能在〔 100～200〕V之間可調(diào)。放射電流調(diào)整范圍的試驗(yàn)調(diào)印制板上放射電流電位器，表頭示值應(yīng)能在〔儀器的自身漏隙檢查

0.5～1.5〕mA之間可調(diào)。當(dāng)儀器處于最正確靈敏狀態(tài)，對(duì)儀器自身的真空系統(tǒng)進(jìn)展認(rèn)真的噴氦檢漏，觀看是否有漏隙。校準(zhǔn)結(jié)果處理及校準(zhǔn)周期校準(zhǔn)結(jié)果處理經(jīng)檢測(cè)所檢項(xiàng)的指標(biāo)均符合本標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)要求的檢漏儀應(yīng)粘貼“證〞。

B類準(zhǔn)用.精品..陜西華燕航空儀表質(zhì)保部.精品..HJ-M-187-2023校準(zhǔn)周期ZLS-24C型檢漏儀的校準(zhǔn)周期為 2個(gè)月。ZLS-26D/T型檢