第六章-磁執(zhí)行器+修改

第六章

磁執(zhí)行器基本概念和原理

-磁化及術(shù)語

-微磁執(zhí)行器的原理

微磁元件的制造

-磁性材料的沉積

-磁性線圈的設(shè)計和制造磁傳感器實例MEMS磁執(zhí)行器的實例電磁式微執(zhí)行器---基本概念磁化及術(shù)語

在磁場中的磁性材料會發(fā)生內(nèi)部磁性的極化，這種現(xiàn)象稱為磁化。磁場強度（符號H）代表外部磁場對磁性材料的影響，單位A/m。磁場密度（符號B）代表在磁性材料中感應(yīng)的總磁場，單位特斯拉（T），1T=10000Gs。一般常見的磁性物體磁場密度是：

普通電冰箱的磁場為：100-1000Gs地磁場（赤道附近）為：1Gs磁存儲介質(zhì)為：100mT或100Gs用于磁諧振成像的稀土磁體為：1-2T家秘庭費常只用賀電容器勒電軟磁京輻蓬射目檢工測堆數(shù)姿據(jù)勞參懶考均表(坡m貨G：高毫蓬高涂斯)電器咖啡爐傳真機電熨斗錄像機VCD電磁輻射量1mG2mG

3mG

6mG10mG電器音響電冰箱空調(diào)電視機洗衣機電磁輻射量20mG20mG20mG20mG30mG電器電飯鍋復(fù)印機

吹風(fēng)機手機

電腦電磁輻射量40mG40mG70mG100mG100mG電器電須刀電熱毯吸塵器無繩電話

微波爐電磁輻射量100mG100mG200mG200mG200mG硬晴磁影體達與姓軟璃磁爽體硬鍵磁丟體牲：棋極曾化斯后馬?；j磁嶼較碌大軟北磁礙體烏：能極蛇化圖后屢剩啄磁梁較協(xié)小?；蛐鯚o再剩箭磁電主磁屠式縫微遵執(zhí)財行垮器-支-藏-基雄本賀概堅念磁帆執(zhí)聽行拌器撥原去理電溝磁燥致證動：量通愉過造線叮圈慕通聯(lián)電宵產(chǎn)敬生英磁優(yōu)場巡壽，偉導(dǎo)田磁插體粗由統(tǒng)于繳磁啊場挎力屢的廟作關(guān)用堆而遭產(chǎn)閑生攜運請動預(yù)。通戴電單線疤圈通徑電竿導(dǎo)游體挖產(chǎn)畜生緞磁堤場鐮。覺平董行講的杏兩挺條鑰導(dǎo)為線蘿中征通從以針相律同貌方汪向模的肢電私流茫則早彼迫此弄之砌間鐵相足互鞠吸筒引豆，窄如鼓果尚通襯以佛相赤反注的凝電秋流胞，非則抽彼燈此思之看間終相柄互御排鼓斥灰。電鄉(xiāng)豐流親流母過U形擋導(dǎo)友線毯時擊會徐在幸兩原條耗導(dǎo)甘線虎之膊間童產(chǎn)遣生行排鍋斥坡力既。攜類陸似介地霞，淘在堡一朝條坑置語于承磁鬧場主中銅的脹柔六性伶金品屬傾線您上掏通億以屈電械流僚，院導(dǎo)蛾線繩會質(zhì)發(fā)唉生擦偏堅轉(zhuǎn)艙。通恒電泉線程圈臺也訪能休產(chǎn)肺生就磁偉場般，蘇它音可敏與視磁食鐵蹲或朽相愛隔惡一商定艙距挨離擦的質(zhì)線白圈筋產(chǎn)彼生妻的奔外何磁殿場晉相餐互種作殲用柱而退產(chǎn)盤生允機焰械況力樂。優(yōu)庫點察：避紐奉免沒引言線磁濃場族對駱環(huán)警境敢影高響悠較況小用愿無綢源競永偉磁鐮體腰，遭耗勞能豬小微胸磁替執(zhí)搏行鳳器連的艱原惕理例8繩-滋21寒T的換均卵勻素磁厘場冶中次，1恰0蛛m晉A電吉流嗚的1佛0饅0μm長離金運屬盈線尊，姥與券磁話力案線少垂蔑直兇，默受正力追多電少趙？BI洛她倫盒茲浴力？磁獨體逢在同磁化場逢中律的香受癢力MMMMMMMMMMabc情況a情況b情況c磁片123412341234靜力00000000FFFF靜力矩00000T0T0T0T1234微俘磁搶元么件狡的風(fēng)制凝造-攀-持-磁望性惑材傘料躬的蠻沉技積盡迷管絕可塘以海把像小傳片組磁厚性瓜材貸料信附畝著晶在粱微燥機部械方結(jié)時構(gòu)態(tài)上亭來艦實鉛現(xiàn)貌傳速感覺器出和碼執(zhí)誼行室器牲，部但兆通哄常烘這惑樣樹的夕方奇法登效狼率率很華低盜。甜磁米性談材鬧料召的遭片莊上茫集姻成尸更允加組精榜確留而龜且孕應(yīng)董用筐廣嬸泛需。微竟器昌件姨沉萬積要鐵豆磁敗材循料訴最舞常肆用壓的財方臘法沸是歇電霞鍍寸。醫(yī)含慰有掉所捐需外磁劇性映材者料滲的堆離澇子役化窩學(xué)泊溶賤液斷用納作幻玉晶驢片堅的缺電叔解拳液廊。妥在憤電撥鍍位槽球中承放社有飛相種反抽電悔極裝，憲金似屬伸沉錫積洪（至晶鈔片堵）雜的互工另作擠片瓶加獨上哀負到偏耗置淡電京壓簽。圖尋磁汗性脆材藍料洲電卷鍍者的啄工才藝情流早程圖盯電煩鍍橡模頂具接移易去令后玩，序形顏成秧的鑼蘑幣菇蓄狀拐電柴鍍芳金廣屬微并磁紫元謎件憐的蓄制鋒造-巖-禁-磁采性朝線傭圈誘的景設(shè)怒計襖和喂制芝造在旦芯斤片世上顧集傘成頃螺市線邀管桃是踢一艱件姐很甜有涂意儲思梅的谷事頸情惠。純它忽們丙可趴以身用隔作盆電瘋磁坑源屬、奸線賄圈捎執(zhí)休行考器并、須電猛感黎器的、棟遙犬測文線擇圈撿和誼集逗成耐電亦路反中飲的啄變白壓北器歌?？褡畲ㄆ辗吮楹诙郧以卓尚U以置制有造朋的虎電攤磁狂體顧形盼式規(guī)是德單努層肺、英空冶心臥的添平源面逐線伶圈斤。礦這亦樣捏的選線哀圈貸不殲?zāi)艿钱a(chǎn)壯生歉很鍛強赤的鏟磁翁通因量釀密漏度卻，稀因坦為雹缺眼少臉磁紛芯炊而眼且淹橫病向疑分役布被的址金鋼屬俯線鈔遠匙離繪線韻圈渴的羅中日心渠。譯下爬面什兩仔幅劇圖雀堆灰多詳層喉平能面落線賽圈負的準工薦藝位流代程毯以慘及鴨三榜維碧微免線鏟圈象的叢制當造拾進詠行今了魚說繭明沙。圖6觸.份1多蹄層撲平紫面棚線君圈搬的幼工嗎藝場流潤程圖6刻.劣2三跨維憑微搞線扒圈笑的飽制墊造電其磁左體電遮磁資體磁險性窄梁駐執(zhí)尸行稼器永磁體氮化絕緣層入口出口德國的電磁致動微型閥金線圈多晶硅德委國歇研模制咐的歪電揪磁英致予動魄微默閥衫，簡閥更片術(shù)為議犧鑄牲亞層濃技責(zé)術(shù)永制臂作息的長多醬晶有硅簽?zāi)て?。跌這衣是仔為賞小羨型泉氣驕體門分挨析衰儀附設(shè)薪計里的貍微差閥蕩結(jié)糊構(gòu)滋，步設(shè)稍計裁的友壓漲力根指慕標價為1堪0膛-柜5俘0錦k嬸P鳴a，猾過柔流汪能銷力片為2嘴-料2剪0慈m該L事/判m冷i咬n，社響統(tǒng)應(yīng)憲時鋼間攔為5些m升s。電俘磁貧致陷動種微鋼閥電猾磁解式飛微子執(zhí)境行潮器愁實胃例外腐加啞磁江場桃導(dǎo)頓致坡稱莫嫌合瘦金區(qū)飯域鍬產(chǎn)技生磁腥性蟲極株化，朝這樸反餡過選來獅又艙和怒外熔加您磁禿場遍作棍用艇，墾結(jié)基果鐘導(dǎo)論致市執(zhí)促行男器茫重量新境定也位暫，杠直根到藥它迅與均磁繼場秘對涼準卵。曲該央器坦件縫可幻玉用顏于譽斬幣波期、拼掃風(fēng)描呼、緒光扇束蒜導(dǎo)揀向態(tài)等朱微胳光顆學(xué)晝場鞠合走。外風(fēng)加呀磁妹場然的圍磁章執(zhí)蠶行石器鐵鎳合金線圈導(dǎo)管硅外部驅(qū)動微機械電磁閥該怪閥愁由邪一橋個N懲i換F確e濺廳射墳閥吸座鴨和鳳一嬌個柱可價開至啟傍、衰關(guān)呼閉懷的呆可烏移積動N禿i腰F定e閥毅膜滾組督成蓄。起依啦靠鑄活棗動矛膜委片尤上射支掉撐筋彈英簧翻的士內(nèi)旦力慰，導(dǎo)可掀以卡制衰成查常堅開督或掛常包閉夜閥冷。破微明機籮械豬閥陪元穩(wěn)件系放踩置蹈于排攜憂帶拋有幕流鐵體芳的肚管減道恢中銳，君管禽道記的男外勁面柿是觸由鄰?fù)鈱毤咏【€戚圈腸形啦成撒的渡磁葛場劇，夢構(gòu)醋成光了沫一袋種爪電他隔沉離謹操鴉作貢。外售加卡磁攻場兄的且電喇磁卸閥電但磁披式關(guān)微無執(zhí)卡行焰器延實搜例(透7的)電睜磁桐光烘開梯關(guān)電舍磁闊式呢微漂執(zhí)閘行駁器洗實必例(囑8鳥)磁場光纖MEMS驅(qū)動器電磁驅(qū)動光纖開關(guān)原理示意圖加堡州劫理柳工通學(xué)爆院板設(shè)可計栗的揉一拉種繞電痛磁芝驅(qū)助動漆光葛纖夸開貪關(guān)親的研原烈理套示京意頃圖撥。錄當館開邊關(guān)僑處略于該開迎狀驕態(tài)戰(zhàn)時養(yǎng)，貼電研磁糊驅(qū)瞞動排器閥帶蝴著錦雙買面考微椒鏡港向搖上綱運惠動柔，膽將率微失鏡庭置芬于糞光奴纖叔之換間啊，影每貢個去輸譽入泛光肚纖悄的做光胡信擔(dān)號全經(jīng)駕反溉射漆后漿從累相農(nóng)鄰蒼的穿輸哥出歇光賠纖速輸年出摧，洽如映圖a所覆示栗；驢在雞關(guān)縮慧狀鄉(xiāng)豐態(tài)觸，債微聚鏡帽在矩光費纖滅之伍下鄰，融輸止入箏光鳴纖擾的鉛信漸號吸直稿接吼從腔正目前猶方蠢的出輸憑出康光箏纖抖輸狼出伐，閉如冒圖b所培示古。電探磁凍式型微蜘執(zhí)暗行池器籠實踩例(碌9歲)磁抄馬赴達可貓變徹磁蛾阻五的護微鈴磁剖馬甘達稀，蘿它羞帶探有焦全機集仆成友的鋤定親子遭和堡線弓圈散。才定邀子純由戀集億成通的棒電耕磁惡體拉制啄成聞，話轉(zhuǎn)而子叉由從軟擠磁安性侮材坡料回制茶成止。祥馬廟達武有尤兩愧組烘顯艙磁健極儲，茅一醉組身在滔定符子索上鴨，熟一沙組吹在出轉(zhuǎn)拆子辯上譯。當鵝激服勵襖相至位任線份圈吼時狡，堆靠走近戚激素勵忙定叢子較電糠極呼的叼轉(zhuǎn)端子薦磁林極懼會崇吸嚼引慮到泉定假子共磁進極筒（雅如蘇圖a、b所叼示輪）文。銜由娛于婆定牙子已旋泰轉(zhuǎn)坑，社定勸子炊磁辱極遷將雖與滔轉(zhuǎn)校子攤磁覽極船對雖準連。蹄關(guān)押斷按激趁勵舉相俘位訊線闖圈勤的呼電吹流棍，東下詢一惱個綠相濃位藍開性始職激霜勵嫁使纖之芽連堂續(xù)激運趕動洗。雙單穩(wěn)職態(tài)井磁筑開搬關(guān)靜醫(yī)電艦執(zhí)對行悠器桿需沃要琴恒呈定宗的絨電努壓轎偏秩置豈來殺保浮持錄開泄關(guān)坊在廊開偵或塑關(guān)垂的尼狀范態(tài)褲，炸比涼較毒容紋易些受好供旨電蒙中游斷飯的廚影裂響漏。椒開脊關(guān)甚的圓雙私穩(wěn)眉態(tài)襯鎖難定蒜很滲重應(yīng)要舟，界因煉為素它含只枕有但在口開服關(guān)腫的彈轉(zhuǎn)地變賠過它程運中禮才刷消慘耗環(huán)掉腿功碑率膠，牽但玻無鳥論蜘在良開奶或綁關(guān)聚的兆狀剝態(tài)腿都伐不同需愚要展電錢來顧保俗持衛(wèi)。電些磁寧式獸微虹執(zhí)京行辦器建實陳例雙爛穩(wěn)壩態(tài)株磁散開與關(guān)麻結(jié)杜構(gòu):由宇扭丑轉(zhuǎn)尼支增柱時將傾懸天臂代提窩升啟在材襯掩底展表性面陽的文上揪方栽。榆懸注臂題由債頂吸部爛上導(dǎo)的申軟劣鐵批磁漁材羨料白和押底得部側(cè)上辱的趟一艦層忘高振電置導(dǎo)墾率公的疾金寄屬響構(gòu)應(yīng)成惕。努平僻面名線鏡圈腎埋斬置兄于秀懸捏臂碧的獲下謀方仿。偏受置躺磁原場晉有鞏兩弄個虜來裕源雖：慮一歇個具是洗平饞面和線股圈鉛，襯一搜個限是親永怨久探磁哲體綿。永雹久畝磁習(xí)體傅位翠于角襯鑼底屠的緣瑞表緊面哨，陪用屯于砍提強供途恒猴定規(guī)的膠背米景粥磁欄場拼。該配開散關(guān)孫的謝獨怖特糞設(shè)單計雨在暑于忘：雙估向蜓磁低化想可則以狡通商過怠使逼用食第仗二禮個熟磁由場學(xué)很礦快徐反幟轉(zhuǎn)栗。優(yōu)這企使羞得尖可倡以旱施蔥加狡小雨電捕流拳來織實女現(xiàn)例力境矩傳和屯開塵關(guān)蝦位瓶置喜的殘轉(zhuǎn)諷換堤。躁為煩了含實釘現(xiàn)鼠這宇一憲目殲標最，各在袖懸綿臂租梁家和涼外徐部侍磁虧場郊之繁間光使北用石了痕平火面穩(wěn)線膚圈羽以因產(chǎn)第生牌磁萄場贊來歇補蟲償劈燕外顛部逆磁射體竹產(chǎn)歷生注的高磁褲場懸。則永客久委磁俘體填使系懸喜臂節(jié)保纖持頌在裳開恐或活關(guān)媽的稿位喉置棗直他到葉下國次餐開惑關(guān)竟動亭作誼出澇現(xiàn)遍。磁抽致閃伸句縮邀執(zhí)概行頑器磁善致雹伸閉縮上效抱應(yīng)崇：1薦8鉗4灑0年眉焦夜耳播發(fā)禾現(xiàn)祥，巨當嘆給押鎳電棒慮加爆一魚個袖軸腐向位磁蠻場君時侵，貪它經(jīng)會盛收奔縮碧。在摘外怖加寺磁哀場違的罰作幼用錦下粱，齊材察料帖的件磁乞疇戰(zhàn)按桿外南磁挺場為進毛行黑排洪列鳴，花從革而推引咬起爬材霞料煌尺出寸做的輸變墨化能。微陣型砌磁蝕強墨計定喘義良：擊利帆用M際E儀M戀S技遮術(shù)獅制雨作慢的轟，煌把度磁體場蛾強調(diào)度廢和什方懷向化信樸號劑轉(zhuǎn)賊換姐為咳電鬧信痕號榜輸伍出錯的薯器隆件陰。微索型輛磁掀強夏計挨按活工賀作課原綠理猴主山要默可禽分游為冤兩搏大址類謀：陜電贊磁磁效憐應(yīng)型式妖和釀機楚械暗式幟。微盡傳傅感分器胸的堅實子例—植—電瘦磁微低型督磁宮通傳門蠶式渾磁妨強悶計磁閣通皆門弄式剖磁槳強酷計械由鄭繞恒向吹相丈反唱的獅一天對靈激教勵顯線薪圈訴和防檢泉測飾線閱圈楚組層成胖。篩磁竄芯夾工射作崗在卸飽另和籌狀商態(tài)法。當宋被況測謀磁碼場姜為公零吉時堅，唯兩擋個疫磁殖芯錢中桂的警磁創(chuàng)通黑量怨大蛋小倡相阻等易，左方榨向突相千反滾，冤在孟測皇量刮線雕圈蟻中蹤蝶無測電撲壓翅產(chǎn)椒生晉。鏈當曲被難測沈磁東場必不渣為桑零紋時昌，殖在兩測殺量就線魔圈零產(chǎn)豪生進感渡應(yīng)蛙電跡勢嚇。德碰國完于1英9毀9孤5年腰研照制奶的壘微球型存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