NAND閃存器件及其制備方法與流程

NAND閃存器件及其制備方法與流程N(yùn)AND型閃存常用于電子設(shè)備中的存儲(chǔ)器件中，在嵌入式系統(tǒng)、數(shù)碼相機(jī)、MP3、手機(jī)中廣泛應(yīng)用。本文將介紹NAND閃存的結(jié)構(gòu)和工作原理，以及其制備方法和流程。NAND閃存結(jié)構(gòu)和工作原理NAND閃存是一種非易失性的電子存儲(chǔ)器件，由多個(gè)晶體管連接組成存儲(chǔ)單元。每個(gè)存儲(chǔ)單元可以存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)二進(jìn)制位，這些存儲(chǔ)單元被組合成一個(gè)NAND閃存芯片。NAND閃存的工作原理是利用了靜電荷存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的特性。每個(gè)NAND閃存單元包含一個(gè)柵和一個(gè)匯流區(qū)，其中柵是一個(gè)可控制的電場(chǎng)區(qū)域，匯流區(qū)則是一個(gè)讀取的輸出端口。當(dāng)電流通過(guò)NAND閃存單元的柵時(shí)，電容器在柵電極下部的絕緣層上累積靜電荷，這些靜電荷的大小表示存儲(chǔ)的值。每個(gè)存儲(chǔ)單元都有一個(gè)數(shù)字地址，它確定了單元的位置。NAND閃存的讀取速度比較快，寫(xiě)入操作可以通過(guò)電荷的加入或移除來(lái)實(shí)現(xiàn)。這種寫(xiě)入方式被稱為“儲(chǔ)存器抹除”?！皟?chǔ)存器抹除”是對(duì)存儲(chǔ)單元的所有存儲(chǔ)值都進(jìn)行更改的操作，因此需要先進(jìn)行擦除操作，擦除操作將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)單元中的電子帶回到初始狀態(tài)，以便進(jìn)行下一次寫(xiě)入操作。NAND閃存速度和可靠性快，并且對(duì)多種電子設(shè)備提供了必要的存儲(chǔ)選項(xiàng)。NAND閃存器件的制備方法和流程制備方法NAND閃存器件的制備需要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工藝流程，主要包括以下幾個(gè)步驟：1.晶圓制備晶圓是NAND閃存芯片制備的基礎(chǔ)，它是由純度極高的硅片制成的圓形盤。晶圓的制備是通過(guò)化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積來(lái)實(shí)現(xiàn)的，這些方法生成的晶圓必須具有完美的平整度和純度。2.沉積層制備晶圓的表面需要沉積一層薄膜，這個(gè)薄膜需要具有特定的電學(xué)特性。沉積層制備需要利用蒸鍍技術(shù)，在晶圓表面沉積一層非常薄的材料，例如金屬或氧化硅。3.光刻光刻是制備NAND閃存芯片的一個(gè)重要步驟，在這個(gè)步驟中，需要在沉積層和晶圓表面上使用光刻機(jī)和各種掩模來(lái)創(chuàng)造出復(fù)雜的電路設(shè)計(jì)。每個(gè)掩模都具有具體的形狀和大小，用于創(chuàng)造出特定的電路。4.清洗在光刻之后，晶圓表面需要進(jìn)行清洗。這個(gè)步驟需要使用氫氟酸和清洗劑來(lái)清洗晶圓表面，并去除掉光刻過(guò)程中用到的材料。5.沉積金屬在清洗后，需要在晶圓表面上沉積金屬，例如銅、鋁。這個(gè)步驟實(shí)際上是通過(guò)一個(gè)稱為物理氣相沉積的方法來(lái)實(shí)現(xiàn)的。將晶圓放入一個(gè)含有金屬氣體的容器中，在晶圓表面上沉積金屬薄膜。6.電解沉積沉積金屬后，晶圓需要進(jìn)一步進(jìn)行加工，以便將金屬薄膜變成電路，這一過(guò)程稱為電解沉積。7.最后的加工在電解沉積之后，晶圓上的電路被非常準(zhǔn)確地加工出來(lái)。這個(gè)過(guò)程利用反應(yīng)離子刻蝕和物理減薄技術(shù)，最終形成NAND閃存器件。制備流程N(yùn)AND閃存器件的制備流程需要經(jīng)過(guò)以下幾個(gè)主要步驟：晶圓制備：通過(guò)化學(xué)氣相沉積(或物理氣相沉積)將硅片制成圓形，稱為晶圓。沉積：在晶圓上沉積一層金屬或氧化硅的薄膜，以便進(jìn)行電路設(shè)計(jì)。光刻：使用光刻機(jī)和掩模，在沉積層和晶圓表面上創(chuàng)造出電路的具體形狀和大小。清洗：使用氫氟酸和清洗劑清洗晶圓表面，去除掉光刻用到的材料。沉積金屬：在晶圓表面沉積金屬薄膜。電解沉積：將沉積的金屬薄膜變成電路。最后的加工：利用反應(yīng)離子刻蝕和物理減薄技術(shù)將晶圓上的電路進(jìn)行非常準(zhǔn)確的加工，使其成為可用的NAND閃存器件。結(jié)論NAND閃存器件是一種高速、可靠的電子存儲(chǔ)器件，被廣泛應(yīng)用于各種電子設(shè)備中。制備NAND閃存器件需要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工藝流程，包括