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半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)市場(chǎng)分析光刻膠主要用于半導(dǎo)體、顯示面板與印制電路板領(lǐng)域集成電路工藝提升,帶動(dòng)光刻需求大幅增長(zhǎng)光刻技術(shù)是利用光化學(xué)反應(yīng)原理和刻蝕方法將掩模版上的圖案?jìng)鬟f到晶圓的工藝技術(shù),原理起源于印刷技術(shù)中的照相制版。光刻膠,是光刻工藝中的關(guān)鍵材料,主要應(yīng)用于顯示面板、印刷電路板、集成電路三大領(lǐng)域。光刻膠作為關(guān)鍵材料,品質(zhì)至關(guān)重要光刻膠,是指經(jīng)過(guò)紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射后,溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料,是光刻工藝中的關(guān)鍵材料。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),隨著先進(jìn)制程工藝不斷演進(jìn),所需要的刻蝕次數(shù)也逐漸增多,從65nm制程的20次增加至5nm制程的160次,復(fù)雜度提升了8倍,顯著提高了對(duì)光刻膠的需求。光刻膠經(jīng)過(guò)旋涂、前烘、曝光、后烘、顯影等工序后,可以將光掩模板上的微納圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠上,結(jié)合后續(xù)工藝實(shí)現(xiàn)目標(biāo)材料的圖案化和陣列化。光刻膠根據(jù)其顯影原理可分為負(fù)性光刻膠和正性光刻膠光刻膠根據(jù)其顯影原理可分為負(fù)性光刻膠和正性光刻膠。正性光刻膠經(jīng)光照輻射后,被曝光部分被顯影液溶解,而掩模版覆蓋部分則被保留,通常正性光刻膠可獲得較高的分辨率;負(fù)性光刻膠經(jīng)光照輻射后,被掩模版覆蓋而未經(jīng)曝光的部分被顯影液溶解。相比正性光刻膠,負(fù)性光刻膠在顯影時(shí)易發(fā)生變形及膨脹,因此造價(jià)較低。在實(shí)際生產(chǎn)中,正性光刻膠的應(yīng)用更為廣泛。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示面板與印制電路板領(lǐng)域印制電路板(PCB)是電子產(chǎn)品的基本組成部分之一,PCB的加工制作過(guò)程中需要將電路圖象轉(zhuǎn)至襯底板上,PCB光刻膠主要包括干膜光刻膠、濕膜光刻膠、光成像阻焊油墨等;顯示面板(LCD)光刻膠可分為TFT正性光刻膠、觸控用光刻膠、彩色光刻膠和黑色光刻膠等,彩色光刻膠、黑色光刻膠主要用于制備彩色濾光片,觸摸屏用光刻膠主要用于在玻璃基板上沉積ITO制作觸摸電極,TFT-LCD正性光刻膠主要用于微細(xì)圖形加工;半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè);主要使用g線光刻膠、i線光刻膠、KrF光刻膠、ArF光刻膠等。在大規(guī)模集成電路的制造過(guò)程中,一般要對(duì)硅片進(jìn)行超過(guò)十次光刻。在每次的光刻和刻蝕工藝中,光刻膠都要通過(guò)預(yù)烘、涂膠、前烘、對(duì)準(zhǔn)、曝光、后烘、顯影和蝕刻等環(huán)節(jié),將光罩(掩膜版)上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。半導(dǎo)體光刻膠:全球高端半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)被日本和美國(guó)公司壟斷,國(guó)產(chǎn)替代率較低半導(dǎo)體光刻膠根據(jù)波長(zhǎng)可分為G線光刻膠(436nm)、I線光刻膠(365nm)、KrF光刻膠(248nm)、ArF光刻膠(193nm)、EUV光刻膠(13.5nm)等,分辨率逐步提升。曝光波長(zhǎng)越短,光刻膠技術(shù)水平越高,適用的集成電路制程也更加先進(jìn)。目前全球高端半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)主要被日本和美國(guó)公司壟斷,國(guó)產(chǎn)替代率較低。高端光刻膠被國(guó)外巨頭壟斷,光刻膠國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)全球光刻膠市場(chǎng)中,LCD光刻膠占比27.3%,PCB光刻膠占比23%,半導(dǎo)體光刻膠占比21.9%,各類型光刻膠占比較為平均。全球光刻膠產(chǎn)品占比較為均衡,相比之下,我國(guó)光刻膠生產(chǎn)能力主要集中PCB光刻膠,占比高達(dá)94%;半導(dǎo)體光刻膠由于技術(shù)壁壘較高僅占2%。高端光刻膠是生產(chǎn)28nm、14nm乃至10nm以下制程的關(guān)鍵,被國(guó)外巨頭壟斷,國(guó)產(chǎn)化任重道遠(yuǎn)。半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)空間廣闊,國(guó)產(chǎn)替代未來(lái)可期國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體銷售額逐年增加,帶動(dòng)半導(dǎo)體光刻膠需求提升在5G、物聯(lián)網(wǎng)、智能汽車、云服務(wù)等下游旺盛需求的驅(qū)動(dòng)下,全球半導(dǎo)體需求逐漸提升。全球半導(dǎo)體銷售額自2019年逐步增加,2022年達(dá)到6014.90億美元,2019-2022年CAGR達(dá)到13.41%,同期中國(guó)半導(dǎo)體銷售額由145.99億元提升至185.75億美元。中國(guó)晶圓制造規(guī)模增速快于全球,光刻膠市場(chǎng)有望快速提升晶圓代工行業(yè)源于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的專業(yè)化分工,主要負(fù)責(zé)晶圓制造,屬于技術(shù)、資本與人才密集型行業(yè),需要大量的資本支出和人才投入,具有較高的進(jìn)入壁壘。根據(jù)統(tǒng)計(jì),2016-2021年全球晶圓制造市場(chǎng)規(guī)模由652億美元提升至1101億美元,CAGR為11.05%,同期中國(guó)晶圓制造市場(chǎng)規(guī)模約由49.05億美元提升至115.65億美元,行業(yè)增速高于全球,達(dá)到15.36%。據(jù)統(tǒng)計(jì),截至2021年,我國(guó)6英寸及以下晶圓制造線裝機(jī)產(chǎn)能約420萬(wàn)片等效6英寸晶圓產(chǎn)能,8英寸、12英寸晶圓制造廠裝機(jī)產(chǎn)能分別為125萬(wàn)片/月、131萬(wàn)片/月,預(yù)計(jì)到2024年8英寸、12英寸將達(dá)到187與273萬(wàn)片/月,年均復(fù)合增速分別為14.37%、27.73%。光刻膠市場(chǎng)平穩(wěn)增長(zhǎng)根據(jù)研究數(shù)據(jù)顯示,2021年中國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模約93.3億元,預(yù)計(jì)2022年98.6億元,同比增長(zhǎng)5.68%。2019年,全球光刻膠整體市場(chǎng)規(guī)模約82億美元。據(jù)機(jī)構(gòu)的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)顯示,2019-2026年全球光刻膠市場(chǎng)的復(fù)合年增長(zhǎng)率為6.3%。半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)空間廣闊,國(guó)產(chǎn)替代空間大SEMI數(shù)據(jù)顯示,2021年全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)約為24.71億美元,同比增速為19.49%,中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)31.81億元,同比增長(zhǎng)16.09%。日美企業(yè)占據(jù)壟斷地位,EUV光刻膠國(guó)內(nèi)暫處于空白根據(jù)數(shù)據(jù)披露,2020年全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)ArFi占比最大(38%),其次為KrF(34%)、G/I線(16%)、ArF(10%),EUV占比最?。?%)。當(dāng)前G/I線光刻膠的市場(chǎng)空間趨于飽和,未來(lái)占比將逐年減少,而EUV光刻膠主要用于7nm及更小的邏輯制程節(jié)點(diǎn),隨著相關(guān)技術(shù)的研發(fā)升級(jí),預(yù)計(jì)2025年EUV占比將提升至10%。目前全球高端半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)主要被日本和美國(guó)公司壟斷,日企全球市占率約80%,處于絕對(duì)領(lǐng)先地位。主流廠商包括日本的東京應(yīng)化(27%)、JSR(13%)、富士、信越化學(xué)、住友化學(xué),以及美國(guó)杜邦(17%)、歐洲AZEM和韓國(guó)東進(jìn)世美肯等。國(guó)外斷供風(fēng)險(xiǎn)升級(jí),推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化率提升2022年10月7日,美國(guó)商務(wù)部工業(yè)與安全局(BIS)公布了《對(duì)向中國(guó)出口的先進(jìn)計(jì)算和半導(dǎo)體制造物項(xiàng)實(shí)施新的出口管制》,美國(guó)對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制裁的再次升級(jí)。2023年3月,荷蘭加入美國(guó)對(duì)中國(guó)的半導(dǎo)體制裁,并陸續(xù)出臺(tái)相關(guān)政策。3月31日,日本政府周五宣布將限制23種半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口,此舉普遍被視為是在配合美國(guó),通過(guò)出口管制措施以遏制中國(guó)制造先進(jìn)芯片的能力。當(dāng)前日本半導(dǎo)體的微細(xì)化水平在40納米左右,但在制造設(shè)備和原材料方面占有重要位置,在全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中約占28%。光刻膠壁壘高筑,供應(yīng)鏈安全意義深遠(yuǎn)行業(yè)技術(shù)壁壘高筑,美日企業(yè)光刻膠技術(shù)占比超七成光刻膠生產(chǎn)工藝復(fù)雜,技術(shù)壁壘高,其研發(fā)和量產(chǎn)需要企業(yè)的長(zhǎng)期技術(shù)積累,對(duì)企業(yè)研發(fā)人員的素質(zhì)、行業(yè)經(jīng)驗(yàn)、技術(shù)儲(chǔ)備等都具有極高要求,新進(jìn)入者需要極大的研發(fā)投入。當(dāng)前研發(fā)配方、光刻膠純度、從實(shí)驗(yàn)室到量產(chǎn),大量專利掌握在海外龍頭企業(yè)中。2020年中國(guó)光刻膠生產(chǎn)企業(yè)主要集中在技術(shù)壁壘較低的PCB光刻膠和LCD光刻膠,而在技術(shù)壁壘較高的半導(dǎo)體光刻膠占比較低。作為光刻工藝的核心,光刻膠產(chǎn)品需滿足尺寸、阻擋刻蝕、與晶圓等襯底良好粘合與階梯覆蓋四大條件。截至2021年9月末,光刻膠相關(guān)技術(shù)超71%掌握在日本與美國(guó)企業(yè),中國(guó)以7%的專利量位列韓國(guó)之后。ASML壟斷EUV光刻膠設(shè)備,價(jià)格高昂且購(gòu)買困難2022年,前三大半導(dǎo)體光刻機(jī)廠商ASML、Nikon、Canon的出貨量達(dá)到551臺(tái),同比提升15%。在高端機(jī)型中,ArFi方面ASML市占率高達(dá)95%;ArF方面ASML市占率達(dá)到87%;KrF方面ASML占據(jù)72%的市場(chǎng)份額,而EUV方面ASML保持壟斷地位,市占率維持100%。2022年ASML共出貨345臺(tái)光刻機(jī),較2021年增加36臺(tái),同比提升12%。其中EUV光刻機(jī)出貨40臺(tái),占整體營(yíng)收約44%,單臺(tái)EUV平均售價(jià)超過(guò)1.7億歐元,較2021年增長(zhǎng)15%。光刻膠廠商需購(gòu)置相關(guān)的光刻機(jī)來(lái)進(jìn)行內(nèi)部測(cè)試,伴隨著光刻膠產(chǎn)品從低端向高端演進(jìn),疊加國(guó)際間貿(mào)易摩擦和經(jīng)濟(jì)限制,中國(guó)光刻膠供應(yīng)商難以購(gòu)買EUV光刻機(jī)進(jìn)行內(nèi)部驗(yàn)證,使得EUV光刻膠的研發(fā)成本及驗(yàn)證難度大幅提升。認(rèn)證周期長(zhǎng),行業(yè)上下游關(guān)系緊密光刻膠的品質(zhì)對(duì)終端產(chǎn)品性能起到至關(guān)重要的作用,所以下游客戶會(huì)對(duì)光刻膠進(jìn)行嚴(yán)格的篩選,一旦達(dá)成合作,就很可能形成長(zhǎng)期合作關(guān)系。光刻膠的生產(chǎn)認(rèn)證流程包括:原料設(shè)計(jì)購(gòu)買、配方工藝研制與客戶端驗(yàn)證三個(gè)環(huán)節(jié),認(rèn)證流程復(fù)雜且成本昂貴。根據(jù)研究數(shù)據(jù),PCB、LCD光刻膠驗(yàn)證時(shí)間為1-2年,而IC光刻膠認(rèn)證長(zhǎng)達(dá)2-3年。光刻膠客戶端驗(yàn)證要經(jīng)過(guò)三個(gè)階段,第一階段是離線測(cè)試階段,對(duì)標(biāo)現(xiàn)有產(chǎn)品;第二階段是小批量產(chǎn)品測(cè)試;第三階段是大批量產(chǎn)品測(cè)試階段,客戶通常會(huì)測(cè)試50個(gè)批次以上。在小試之前往往還要經(jīng)過(guò)信息反饋和配方改進(jìn)等步驟,最終大批量產(chǎn)品測(cè)試成功后,才可以獲得訂單。光刻膠樹(shù)脂:技術(shù)壁壘高,海外供應(yīng)商幾乎壟斷市場(chǎng)光刻膠樹(shù)脂是一種粘合劑,主要用于將光刻膠各類原材料粘合在一起,直接決定光刻膠在特定波長(zhǎng)下可以達(dá)到的線寬,是光刻膠核心組成部分。目前為止,光刻膠體系經(jīng)歷了紫外全譜、G線、I線、KrF、ArF、EUV、電子束等6個(gè)階段,伴隨技術(shù)迭代與性能提升,對(duì)光刻膠樹(shù)脂的提出不同的需求。當(dāng)前國(guó)內(nèi)少有供應(yīng)樹(shù)脂單體的企業(yè),國(guó)內(nèi)各類光刻膠所需各類樹(shù)脂幾乎由海外壟斷。例如ArF用聚甲基丙烯酸酯類樹(shù)脂,單體為甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯的衍生物單體,需要由幾種單體共聚而成,定制化程度比較高,高端光刻膠難以買到。光引發(fā)劑:光刻膠用材料為海外企業(yè)壟斷,國(guó)內(nèi)企業(yè)積極研發(fā)布局光引發(fā)劑又稱光敏劑或者光固化劑,是光刻膠的核心部分,在特定波長(zhǎng)光形式的輻射下會(huì)發(fā)生相關(guān)光化學(xué)反應(yīng),改變樹(shù)脂在顯影液中的溶解度,從而影響光刻膠的感光度、分辨率。光引發(fā)劑主要包括感光化合物(PAC)和光致產(chǎn)酸劑(PAG),PAG主要起到化學(xué)放大作用。2022年,全球光引發(fā)劑產(chǎn)能在10萬(wàn)噸左右,荷蘭IGMResins和中國(guó)久日新材兩家企業(yè)產(chǎn)能均已突破2萬(wàn)噸,在全球光引發(fā)劑行業(yè)內(nèi)具有較為明顯的優(yōu)勢(shì)。目前光刻膠用光引發(fā)劑市場(chǎng)主要被日本、韓國(guó)、德國(guó)等國(guó)家的企業(yè)占據(jù)。單體:性能各異,國(guó)內(nèi)企業(yè)終有突破光刻膠單體產(chǎn)業(yè)的規(guī)模化生產(chǎn)困難在于合成和純化時(shí)防止單體聚合,并對(duì)金屬離子進(jìn)行控制。傳統(tǒng)I線光刻膠單體主要是甲酚和甲醛;KrF光刻膠單體主要是苯乙烯類單體;ArF光刻膠單體主要是甲基丙烯酸酯類單體。除了技術(shù)攻克外,還需要通過(guò)穩(wěn)定的規(guī)模化量產(chǎn)來(lái)實(shí)現(xiàn)工業(yè)級(jí)供應(yīng)。同時(shí),下游客戶的供應(yīng)商體系需要一個(gè)長(zhǎng)期的認(rèn)證過(guò)程。目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)單體的企業(yè)較少,近期華懋科技的重要參股公司徐州博康不管是在品類覆蓋度、產(chǎn)業(yè)鏈完整度,還是在客戶驗(yàn)證和放量的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展上都是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。國(guó)內(nèi)企業(yè)積極布局光刻膠行業(yè)國(guó)內(nèi)企業(yè)積極布局光刻膠材料,力爭(zhēng)提升國(guó)產(chǎn)化率當(dāng)前,日美廠商占據(jù)了全球光刻膠市場(chǎng)絕大份額,中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠的進(jìn)口比例高達(dá)九成,伴隨美國(guó)近年來(lái)在半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域?qū)χ袊?guó)“卡脖子”,國(guó)產(chǎn)替代需求日益提升。在EUV光刻膠研究方面,北京科華與中科院化學(xué)所、理化所聯(lián)合承擔(dān)的02專項(xiàng)“極紫外光刻膠材料與實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)技術(shù)研究”項(xiàng)目,2018年中國(guó)科學(xué)院進(jìn)行了任務(wù)驗(yàn)收和財(cái)務(wù)驗(yàn)收。彤程新材:聯(lián)手杜邦攻堅(jiān)光刻膠技術(shù),鞏固國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠龍頭地位彤程新材主要從事新材料的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和相關(guān)貿(mào)易業(yè)務(wù)。公司2020年收購(gòu)北京科華35.54%股權(quán),進(jìn)入光刻膠領(lǐng)域。公司重點(diǎn)發(fā)展電子材料業(yè)務(wù),涵蓋半導(dǎo)體光刻膠及配套試劑、顯示面板光刻膠和電子酚醛產(chǎn)品。2021年11月6日,杜邦與北京科華宣布開(kāi)展合作,旨在為中國(guó)集成電路芯片制造商提供高性能光刻材料,彤程新材另一子公司于2021年8月宣布將投資6.99億元建設(shè)ArF高端光刻膠研發(fā)平臺(tái)建設(shè)項(xiàng)目,杜邦作為全球?yàn)閿?shù)不多掌握ArF光刻膠生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè),與北京科華合作后將推動(dòng)北京科華及彤程電子在ArF光刻膠等先進(jìn)半導(dǎo)體光刻膠的研發(fā)進(jìn)度。2022年,自產(chǎn)電子材料占公司營(yíng)業(yè)收入與毛利的15.08%與15.76%。晶瑞電材:國(guó)內(nèi)光刻膠領(lǐng)域先驅(qū)公司是一家微電子材料的平臺(tái)型高新技術(shù)企業(yè),包括泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個(gè)方向,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源等行業(yè)。子公司蘇州瑞紅主要從事光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,于2023年2月16日在新三板上市。2022上半年,光刻膠及配套材料占公司營(yíng)業(yè)收入和毛利的14.53%和27.23%。2022年前三季度,公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.38億元,同比增加2.21%;公司實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.09億元,
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