基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究_第1頁
基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究_第2頁
基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究_第3頁
基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究_第4頁
基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究_第5頁
已閱讀5頁，還剩27頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

基于MEMS工藝的磁芯微電感的有限元模擬研究

編號：L089目錄項目背景制作工藝有限元模擬項目結論1.項目背景：在各類電子線路中，磁性器件如電感器件是電子線路中不可缺少的重要器件。當前學術界主流研究的微電感是平面線圈結構帶磁芯的螺線管微電感磁路形成閉合回路以降低漏磁;因為磁芯的存在，能獲得較大的電感值。2.制作工藝：本項目結合MEMS工藝，采用CoventorWare軟件設計了一種帶磁芯材料的螺線管微電感。Si（100）襯底沉積SiO22μm電子束蒸發(fā)Ti/Cu種子層0.05μm涂膠5μm光刻導線下電極電鍍Cu5μm（填滿槽）去膠，得到Cu下電極生長SiO2隔離層1μm涂膠10μm光刻磁芯濺射并電鍍磁芯10μm去膠生長SiO2隔離層1μm刻蝕Cu導線邊孔—頂視圖電鍍Cu生長SiO21μm刻蝕Cu導線上部—頂視圖

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論