電子束蒸鍍機(jī)原理與技術(shù)資料

E-Gun原理與技術(shù)資料一原理:在早期的IC製程中，只有鋁被採(cǎi)用在金屬薄膜製程中，用加熱的方式用來(lái)沉積鋁金屬薄膜的方式也被廣泛的使用。電子束蒸鍍系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)就是為了要沉積高純度的鋁與其他金屬。(一)ThermalEvaporation鋁的熔點(diǎn)很低，大約是攝氏660度左右與其沸點(diǎn)為攝氏2519鍍都相當(dāng)?shù)牡?，所以在低壓下就很容易將鋁氣態(tài)化。早期用熱蒸鍍的方式來(lái)沉積鋁金屬膜用以形成閘極和連線(xiàn)之金屬層。如圖(一)。圖（四）圖（四）為電子束電位與坩鍋示意圖，一組可變直流電源供應(yīng)給燈絲，當(dāng)燈絲啟動(dòng)後，在真空下的游離熱電子便因?yàn)殡妶?chǎng)的吸引而加速的射出來(lái)，如圖（四）中加速的電場(chǎng)為10KVDC，我們只要改變加速電場(chǎng)的大小就可以改變電子束射擊到坩鍋的位置,假設(shè)與電子束平行的位置為X軸方向，如果與交插電子束的位置加裝一組磁場(chǎng),我們便能控制電子束左右的方向,以此我們稱(chēng)為Y軸。以電場(chǎng)和磁場(chǎng)的控制，我們便能控制電子束掃描的區(qū)域及面積的大小。當(dāng)遇到金屬其熔點(diǎn)很高的時(shí)後,便要使用小CC數(shù)的襯鍋,以幫助熱度的集中當(dāng)遇到金屬其熔點(diǎn)很高的時(shí)後，便要加長(zhǎng)其坩鍋預(yù)熱的時(shí)間與電流。每次使用坩鍋時(shí)請(qǐng)把坩鍋裝9分滿(mǎn)。為防止坩鍋與蒸鍍材化合的問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)偌尤胄碌恼翦儾闹跋炔槊饔煤畏N鍋較為適當(dāng)與合用。當(dāng)蒸鍍製程完成時(shí)請(qǐng)確定坩鍋上的金屬材料已經(jīng)冷卻,並且看不到暗紅色的狀況下才可以做Ventingchamber的動(dòng)作。當(dāng)反應(yīng)室打開(kāi)後，請(qǐng)勿用手指碰觸坩鍋，以免造成手指部位的燙傷。二.膜厚機(jī)的原理基本上膜厚機(jī)是使用crystal去量測(cè)蒸鍍時(shí)每秒的速率與控制E-GUN電子束EmissionCurrent的大小，以達(dá)到每秒所設(shè)定的蒸鍍速率。如圖(五)，在Crystal上下方加上一組5MHz的電源,其由膜厚機(jī)所提供，當(dāng)下電極的部位沉積一些金屬層之後,由於壓電效應(yīng)的原故，造成輸出信號(hào)的改變，利用其變化量去折算目前的鍍率。圖(五)附錄(一)各金屬之熔點(diǎn)AgPelletMeltingPoint:961.93°CAuPelletMeltingPoint:1064.43PtPelletMeltingPoint:1763PdPelletMeltingPoint:1552AlPelletMeltingPoint:660.37TiPelletMeltingPoint:1650-1670NiPelletMeltingPoint:1455CoPelletMeltingPoint:1493TaPelletMeltingPoint:2996CrPelletMeltingPoint:1860WPelletMeltingPoint:3370MoPelletMeltingPoint:2617NiCr(80/20)SlugMeltingPoint:1435ZnPelletMeltingPoint:419.58InPelletMeltingPoint:156.61SnPelletMeltingPoint:231.98ITO(90/10)SlugMeltingPoint:1900附錄(二)個(gè)種金屬電阻率長(zhǎng)度1（米）、截面積a（米2）的均勻物質(zhì)的電阻為：R=ρl/a(Ω)，式中，ρ是物質(zhì)的電阻率*，單位：歐姆米（Ω.m)。令0℃時(shí)的電阻率為ρo，100℃時(shí)的電阻率為ρ100，則0℃αo，100=（ρ100—ρo）/100ρo下表給出各種金屬的電阻率ρ和平均溫度系數(shù)αo,100。溫度欄中無(wú)數(shù)據(jù)的為室溫。金屬溫度（0℃ραo,100鋅20×10-3×10-35.94.2鋁（軟）202.754.2鋁（軟）–781.64阿露美爾合金20331.2銻038.75.4銥206.53.9銦08.25.1殷鋼0752鋨209.54.2鎘207.44.2鉀206.95.1①鈣204.63.3金202.44.0銀201.624.1鉻（軟）2017鎳鉻合金（克露美爾）—70—110.11—.54鈷a06.376.58康銅—50–.04–1.01鋯30494.0黃銅–5—71.4–2水銀094.080.99水銀2095.8錫2011.44.5鍶030.33.5青銅–13—180.5銫20214.8鉍201204.5鉈20195鎢205.55.3鎢100035鎢3000123鎢–783.2鉭20153.5

金屬溫度（0℃ραo,100杜拉鋁（軟）—3.4鐵（純）209.86.6鐵（純）–784.9鐵（鋼）—10—201.5—5鐵（鑄）—57—114銅（軟）201.724.3銅（軟）1002.28銅（軟）–781.03銅（軟）–1830.30釷20182.4鈉204.65.5①鉛20214.2鎳鉻合金（不含鐵）20109.10鎳鉻合金（含鐵）2095—104.3—.5鎳鉻林合金—27—45.2—.34鎳（軟）207.246.7鎳（軟）–783.9鉑2010.63.9鉑100043鉑–786.7鉑銠合金②20221.4鈀2010.83.7砷203