陶瓷膜設(shè)備設(shè)備工藝原理

陶瓷膜設(shè)備設(shè)備工藝原理前言陶瓷膜是一種在微電子、半導(dǎo)體、光電子、太陽能、醫(yī)療器械等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的一種薄膜材料。它具有優(yōu)異的機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，不易變形和氧化，同時(shí)還具有優(yōu)秀的電學(xué)、熱學(xué)和光學(xué)性能，廣泛應(yīng)用于領(lǐng)域。在陶瓷膜制備過程中，陶瓷膜設(shè)備則是必不可少的一步。本文將從陶瓷膜設(shè)備設(shè)備工藝原理的角度入手，介紹陶瓷膜設(shè)備的工藝原理。陶瓷膜設(shè)備的工藝原理1.什么是陶瓷膜設(shè)備？陶瓷膜設(shè)備是一種高精密的薄膜材料制備設(shè)備。它主要由真空系統(tǒng)、沉積室、加熱系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成，可以控制進(jìn)料、沉積、退火等二次過程，可以制備出均勻、密實(shí)、致密的陶瓷膜。陶瓷膜設(shè)備可以通過物理和化學(xué)兩種方法制備陶瓷膜，分別稱為物理氣相沉積和化學(xué)氣相沉積。2.物理氣相沉積工藝物理氣相沉積，簡稱PVD（PhysicalVaporDeposition），是用高純度金屬靶材或合金靶材等沉積原料，通過高能電子轟擊、弧放電、磁控濺射等方法，使靶材材料產(chǎn)生蒸發(fā)、濺射，然后在真空條件下，沉積在基板表面，形成陶瓷膜的工藝。具體步驟如下：基板清洗：清除基板表面氧化物、油脂等雜質(zhì)。壓縮真空：將真空室中的氣體抽出，通過機(jī)械泵和分子泵多級失真成為極高真空。感應(yīng)加熱：以鎳鉻線圈加熱工件，控制溫度。沉積：將靶材放置于真空室內(nèi)，通過各種方式，如弧放電、磁控濺射、電子束轟擊等，將靶材濺射成一定的粒度，沉積在基板表面。蒸發(fā)、吸附、沉淀：沉積時(shí)還可以通過靶材的濺射或反應(yīng)，將材料蒸發(fā)、吸附、沉淀在基板上。3.化學(xué)氣相沉積工藝化學(xué)氣相沉積，簡稱CVD（ChemicalVaporDeposition），是利用金屬有機(jī)化合物、有機(jī)鹵化物、氯化物等氣態(tài)原料，通過化學(xué)反應(yīng)，在真空條件下，沉積在基板表面成為陶瓷膜的工藝。具體步驟如下：基板清洗和表面準(zhǔn)備：清除表面雜質(zhì)、清洗基板表面。壓縮真空：將真空室中的氣體抽出，通過機(jī)械泵和分子泵多級失真成為極高真空。增壓：通過氣源增壓到制定的反應(yīng)壓力。金屬有機(jī)化合物氣體加入：將金屬有機(jī)化合物從反應(yīng)室側(cè)面進(jìn)入反應(yīng)室。熱解：在反應(yīng)所需的氫氣、氬氣和稱量的有機(jī)金屬化合物氣體加熱下，發(fā)生熱解反應(yīng)。沉積：根據(jù)反應(yīng)釋出的物質(zhì)，在基板表面進(jìn)行沉積。結(jié)語通過本文的介紹，我們了解到了陶瓷膜設(shè)備的工藝原理，以及其背后的P