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文檔簡介

MEMS工藝——

硅微加工工藝(腐蝕)梁 庭

3920330(o)

Liangting@內(nèi)容腐蝕工藝簡介濕法腐蝕干法刻蝕其他類似加工工藝腐私蝕溝工刊藝呢簡眾介腐上蝕侍是濤指民一什種雪材達料今在躁它凈所鋼處讀的番環(huán)壁境嗚中限由綠于顫另春一棒種礦材蕩料蜜的灶作剖用廊而寧造引成塑的影緩地慢惠的焦損尺害糟的節(jié)現(xiàn)暖象儀。職然籌而托在縣不撲同篇的掩科怕學(xué)關(guān)領(lǐng)絲式域雀對敵腐粒蝕組這劫一宴概唐念院則始有物完點全妙不監(jiān)同葉的吸理仇解飯方襲式屬。在帆微載加簽工件工暗藝角中那,腐糖蝕飛工尸藝是筍用梁來腥“可張控誼性”植的厲“去刺除”妹材晃料聞的外工破藝些。大乖部賞分襖的榮微片加陜工竊工畜藝辜基慚于達“牌T紡o常p槐-島D浴o照w肌n涼”失的湯加紹工咱思尸想墳?!按騎垮o街p膀-慣D講o光w氏n繪”燥加吹工啞思緣瑞想蜓:齊通矩過攀去窄掉槳多的余曾材不料既的數(shù)方響法紋,篩實磚現(xiàn)鬼結(jié)凝構(gòu)裝的沖加風(fēng)工澇。泡(長雕蠶刻噸—芳—皂泥誰人娃)腐委蝕歲工競藝暑簡棉介催—螺—腐務(wù)蝕嗚工嫌藝筒重市要胞性作忘為震實煙現(xiàn)咳“去土除”枝步穿驟沉的太腐怎蝕趨工聽藝召是疼形隔成遮特肯定屆平霧面盆及慈三告維閘結(jié)爬構(gòu)默過乎程方中狀,域最須為碎關(guān)俱鍵謎的難一生步加。圖墓形址工塔藝掩硬模曬圖隨形像生你成臺佳階幅結(jié)活構(gòu)含生捉成襯趣底燃去味除犧返牲脆層滑去課除清辦潔賞表滋面腐拒蝕元工食藝助簡產(chǎn)介敘—冠—腐做蝕潔工蓬藝魔作嫁用腐查蝕紅臺光吳L株E兄D駕結(jié)墻構(gòu)藍拋光用L帆E潤D啊結(jié)吐構(gòu)藍致寶壯石細襯防底紅狠光鳥L班E死D續(xù)結(jié)樹構(gòu)藍臭光歌L敏E柿D萬結(jié)溫構(gòu)藍濕寶籠石胳襯側(cè)底紅膽光佛L練E交D桃結(jié)燭構(gòu)藍廚光纖L仗E叨D勤結(jié)家構(gòu)藍吧寶去石隙襯徒底紅煩光恩L邪E灣D藍糾光櫻L枕E捏D恰結(jié)成構(gòu)藍滲寶潤石判襯通底紅綠光嚼L或E建D藍睡光吉L持E添D藍迎寶谷石彼襯旗底紅據(jù)光內(nèi)L秤E眼D藍生光牽L針E稈D藍若寶胃石勢襯恩底藍口光殊L沫E端D辭結(jié)窄構(gòu)藍識寶蓋石外襯儲底紅掙光等L箱E萬D眉結(jié)盛構(gòu)濕患法填腐純蝕濕板法亭腐狡蝕皺—紫—冒“濕”素式怎腐晝蝕炸方禿法持,諷基龜于溶惑液狀析態(tài)美的攏腐找蝕脫劑檔。濕姻法照腐消蝕狂工域藝雜特賞點陜:設(shè)澆備偏簡灘單司,顧操貪作庸簡嘴便睜,批成拳本距低可詠控豆參寸數(shù)禾多側(cè),云適喬于滲研仿發(fā)受棚外燒界赴環(huán)巧境獅影湊響積大濃雁度頑、蠶溫面度槍、璃攪為拌仁、捧時脾間有軍些批材闖料怎難陽以掉腐齊蝕濕王法那腐疲蝕丈—支—方因向戚性各加向殲同耀性針腐蠻蝕黑—宅—抱腐借蝕該速秘率牙在陡不運同伍方未向義上斯沒墳有白差碧別各牲向移異貼性盼腐垂蝕族—羽—償對擴不串同略的純晶零面些的喚腐交蝕眾速至率孩有機明憲顯拔差委別利兆用搭各叼向計異爭性妻腐肆蝕昏特誼性陵,州可撈以逮腐艷蝕旋出捐各胞種脹復(fù)減雜庭的論結(jié)芽構(gòu)芬。各誕向族異未性役腐蜜蝕宣和悄各幅向愛同哀性慢腐貌蝕硅派腐搏蝕僚方瀉法森:干碑法和濕剃法腐用蝕窄方門向帝選卷擇載性普:各友向帽同知性和各斬向塌異邁性腐鋤蝕狗材英料狡選售擇片性狼:選爭擇探性輕刻幟蝕或非旅選皂擇損性功刻疤蝕選轎擇爐方急法賣:晶坐向和掩井模多冤種閱腐跨蝕俘技撈術(shù)存的暈應(yīng)豎用圾:體雞硅訴工歐藝(更三掠維狐技厭術(shù)殊)獎,表危面渴硅或工原藝(構(gòu)準婆三剝維亭技躬術(shù)撥)硅椅的工各畫向蜂異惰性赤腐仙蝕是事利歇用蘆腐域蝕翠液宗對匹單咸晶藥硅滑不臘同涉晶寇向榨腐龜蝕梨速破率解不周同保的洗特框性隔,編使鈔用夸抗戀蝕搜材忠料延作摸掩析膜弊,北用撕光旦刻賀、拍干府法耍腐鵝蝕謊和漿濕焰法播腐字蝕世等勺手閃段阻制達作久掩摔膜擱圖壇形彈后尤進征行陣的智較朝大兵深半度診的懶腐矩蝕獵。機份理茅:組腐幻玉蝕奏液往發(fā)氣射晨空芹穴竄給煉硅潮,鉆形扔成嶄氧兔化照態(tài)挨S針i塔+行,移而緊羥悼基霉O紗H買-隙與比S以i甘+盞形舒成成可召溶鋪解疲的親硅彼氫油氧它化狀物裳的右過圈程血。硅謊的君各驚向女異乏性速腐說蝕妖技鐵術(shù)各貓向頂異叮性沉(溫A暫n譜i趣s筆o淡t沒r升o蘇p泛y握)各梳向熟異局性銅腐餃蝕讀液醋通照常根對載單透晶辨硅明(突1夏1拾1撕)尤面桐的商腐燥蝕裝速神率迎與顛(星1屢0牙0滿)般面念的果腐商蝕余速葉率董之援比列很優(yōu)大釋(臺1榆:群4膝0鬧0錘)濕騾法敬腐畢蝕唐的雹化瓜學(xué)獎物蚊理知機山制腐搬蝕我—胡—蜘生宗長晶守體不生叫長鬼是摧典肆型英的位各跡向顧異漁性原表思現(xiàn)劈燕。腐擇蝕中作拉用駕:交晶冊體沾生送長鞭的端反范過冤程濕完法蟻腐亦蝕祝的躍化網(wǎng)學(xué)歉物貢理口機嗽制腐秀蝕膝過障程默:反榮應(yīng)芝物閣擴鐘散濃到聯(lián)腐趕蝕他液至表獎面反患應(yīng)覆物希與假腐胳蝕蟲表課面訪發(fā)任生站化米學(xué)做反思應(yīng)反漏應(yīng)種物串的然生棍成妙物和擴獅散使到莖溶智液菜中貿(mào)去硅炊腐巷蝕剖機里理花(村P去6葛2漆)SiSiSi2宰O麥H-SiSiSiOH-OH-2量e-S磨iOH-OH-OH-OH-2掉e-2番O錯H-4也H2O4物O欄H-2插H2O質(zhì)H-離辯子飼的楚參沈與幅對嫂S凍i桐的殺腐糞蝕憐至狹關(guān)瓦重擾要休,兆在覽這窄一偷過窄程常中瞧,禽由遞于易(乖1剃1通1臭)邊面飲的刷懸牙鍵孟只館有庭1柜個薦,倒因智而振其賤電聚離祖所施需順的丹能錘量漫較對高弟,鴨導(dǎo)粱致采(量1翻1捕1走)鮮面玻的拍速鴨率稿最憶低怠。{照1呆0玻0芹}{撲1傅1讓1術(shù)}總梅反損應(yīng)似式錫為唱:懸顯鍵鼻密裳度牙只陪是心導(dǎo)量致恩各鄉(xiāng)豐向途異撿性州的舉一悄個學(xué)因恭素臘,浮但喘不刷能橡解陣釋創(chuàng)不訊同害晶眉面投間釋腐股蝕繡速富率鏡有賣幾皮百圈倍派這斷么框大數(shù)的野差漠異劈燕。團實私際達的筋腐趣蝕起機蠻制魂,啊還損和攤表碼面警的床粗婚糙篩,侍微地臺溉階顛處抓的賣階棍躍曬自窗由姓能撕,置以游及縣和隨吸外附閣、澡擴鳳散摘過融程褲密罷切烘相爆關(guān)濟的東動鄰力扛學(xué)霸因寺素珍有攪關(guān)算。2粗H2OS誓iS讀iSiSiSiHHO免H-HHHHS流iOH-OH-(指1貍1彈1協(xié)面竟)(唐1梳0休0充面積)缺葬陷由康于羅(總1嚼1盤1抬)遙面宜為君理學(xué)想忍光申滑映表耗面半,鞏對嬌該切面疫進雜行孟腐漆蝕倍所磨需益的豎電竊離雜能疼要拍大爹,肉而蛋產(chǎn)地生黎吸掌附涉和筆擴認散慮所起需榜的解能虛量豬也沸比脫較生高難,婦并瘋且籌在效腐益蝕用過晶程粒中退形虎成亂粗棍糙您的聯(lián)幾衡率逼比傳其擁他些面恩要純小豎很漫多鏡。裳因晃而食該今面歌的嗚腐否蝕粒速柏率復(fù)要政小蛛的粒多狠。各扎向繪異美性簽腐航蝕樸簡給單兔小死結(jié)漸:粗西糙閣晶次面棍腐浩蝕申比毫光衣滑鄉(xiāng)豐晶瓜面賭快金。嫂(激1創(chuàng)1窄1更)掉面蛾在梳腐褲蝕妹過仔程序中座會吉因讀表往面悔重否建敵或徑吸畫附深變貸得唉更受平峰坦咳,扇因濃而樸容靜易歌在穿腐熔蝕吵過級程曬中壘顯盈露猜出阿來看。理帶想窄晶飄體熱平該滑汁面曬腐肯蝕諷速燭率械的享激量活負能財和篇化膨?qū)W出反昏應(yīng)癢的俯能喝量領(lǐng)勢漸差漁以番及寄液具體蹈傳親輸愚有圓關(guān)撇。抵前千者泛的靈作圓用宅是不各愧向越異懸性倆的云,效后咬者謊是床各芝向腎同臨性景的前。表鴿面秀重些構(gòu)創(chuàng)狀鬼態(tài)待影委響閑著冬腐械蝕鎖速透率換的曬變蘋化不杰同撥的孤腐譽蝕澆劑虜中涉,予不青同棋陽梯離籌子金會扮影情響范腐助蝕怎過導(dǎo)程桶中欺特裳殊寨面法的閃穩(wěn)青定獅性靜,歐因恩而士導(dǎo)遵致劈燕腐晝蝕鐮結(jié)鳴果跨不竊同灑。各顆向寇異推性亮腐擊蝕況的耽特蹄點搞:腐固蝕視速轉(zhuǎn)率肺比急各丙項掉同拋性甜腐器蝕枯慢輝,蝴速務(wù)率批僅騙能姨達瓶到定1黨u稻m粉/符m殺i移n腐崇蝕盛速充率諒受榨溫曉度掠影杏響在倉腐憑蝕芳過松程圍中斜需零要來將市溫劇度辰升索高潑到透1育0津0聲℃嶼左妖右缸,快從波而篩影恰響竊到鐮許嘴多子光秘刻綿膠陽的驅(qū)使凳用各傻向冒異練性屑腐識蝕擁液腐曉蝕匹液趁:無辰機鉛腐溝蝕運液站:之K陡O蹤蝶H聯(lián),佛N搬a規(guī)O暈H攏,泉L巡壽i膏O娃H鉗,義N崇H4O維H率等冤;有啞機院腐膊蝕淘液藝:產(chǎn)E傅P擠W招、觸T喚M旱A(chǔ)福H劍和毀聯(lián)揀胺運等邪。常裁用感體哀硅價腐信蝕綿液滾:氫帶氧民化撇鉀與(捎K證O諒H川)浴系營列很溶吳液攀;E兇P勾W匹(拍E孕:蒸乙禁二凳胺碎,普P禍:聽鄰府苯河二滋酚麥,償W稀:女水圣)牽系款列根溶懂液射。乙序二牽胺以(救N息H逝2汁(貸C耗H灣2捎)叫2旅N趣H兼2旱)鄰校苯斬二息酚閑(妻C捏6案H焦4段(獲O條H隆)桑2湖)水茅(騙H段2陽O薦)1皮.飾K光O肅H潔s非y始s鮮t臂e母mK辱O醋H償是禮目誼前嶄在網(wǎng)微遼機茂電夏領(lǐng)蛙域偉中聰最殲常捐使謹用酸的很非叮等摘向煎蝕刃刻耐液匠,齒為趴一牢堿隱金獨屬拋之哥強晌堿騾蝕褲刻漏液底,略其腔金頂屬法雜貧質(zhì)免會圈破委壞然C父M位O含S役的挎氧示化無層嶄電悶性繼,捆所看以核不謎兼異容隸于飾I晌C加制大程媽;但泡因童其守價脫格摸低靜廉孕、蘭溶貿(mào)液謝配倡制團簡核單匆、師對閱硅魄(拔1沈0抓0仍)筋蝕企刻賽速落率歐也貢較印其絞它被的黨蝕膨刻蜻液妻為看快雪,趨更累重柳要座的然是蠻操婚作杠時淚穩(wěn)摧定禮、拴無傅毒勸性踐、販又州無竄色么,套可宴以男觀撐察勉蝕檢刻王反恨應(yīng)謠的男情涼況志,呈是賄目撓前照最坊常藍使?jié)猛玫某g引刻熔液洋之碰一連。1漏.濱K塑O贏H裕s偶y掘s冶t核e獄m溶裳劑鋼:爺水成,封也隱有案用糊異誦丙輸醇董(落I友P殼A洞)溶楊液姿:曲2帆0慘%啦-所5渾0展%嚷K榮O讀H溫辜度?。鹤R6屢0局–尾8猜0誘o江C速容率喬:騰~貝1梢u委m竄/態(tài)分圍鐘特劇點框:雖鏡酬面割,具易炊于襖控返制壞,稅兼留容菜性沿差K煉O護H蕩的扮刻很蝕工機翼理2昌.遲E然D儀P擺s脂y孕s那t訴e關(guān)mE倉t兆h蘆y帝l戰(zhàn)e旅n箏e湯d吩a牛m孟i輔n在e慮為哥有忽機銹淡梅黃悅色疫溶籍液躍,位加筆入箱p炎y繩r憑o腿c益a炕t追e只c馬h鋒o磚l籌后屑顏就色舉會您變披成盤暗腫褐骨色砍,心隨扮著材反灶應(yīng)染的體進畢行花,滅顏畫色福會秧加絨深巧,錯故拾不評易哨觀戀察弊蝕俱刻皮表廈面芝的須反死應(yīng)碎過考程景,劇蝕擦刻照速協(xié)率俘也輪會誤改早變特,皮這吊是敗因搞為騾蝕削刻賀液島接發(fā)觸綢到悟空庫氣日中執(zhí)的慘氧艷氧褲化譜所駕引討起葡,刻此兔一鄉(xiāng)豐氧姐化單過味程牙會炭使以得第化析合局物掀p看y卸r綁a繩z兆i抽n起e村(云C4H4N2)王增孔加瓶而洽改壞變嫂其認蝕段刻條速奪率睬;E蠟D奧P裙不暫具壞堿洪金摧屬別離紗子訴,攪可托與孝I哈C斃制皺程針相害容鋒,管且涌對守蝕刑刻長停松止踐所禍需袍的掉硼占摻衛(wèi)雜粱濃腳度糠較有低娛,參大奔約案為畫7反x鋒1樂01躬9離紛子閣/但c待m-色3,毀但兩是殖E扭D項P暴具撞有框毒專性渠,塞蝕付刻鈴操村作投溫鞏度姐須素在輩攝處氏咽一送百右多象度泉,毒危慘險喊性磚較糾高纏,脅操薄作消及贈廢北液毫處午理撲的騙困迫難榜度景亦桿較某高桐,渠故性在瞎一仆般壟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m/min二氧化硅KOH40-80nm/h二氧化硅EDP12nm/h氮化硅KOH5nm/h氮化硅EDP6nm/h影帳響夕腐謝蝕誘質(zhì)掘量都因紀素晶盤格狗方絨向腐齒蝕消溶量液妥的炎選餅擇腐醉蝕類溶際液斷的攤濃界度腐濁蝕澤時獨間操遭作竭溫瞧度和溫罩度攪封拌慶方徐式

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