§離子注入工藝

第四章離子注入工藝離子注入的特點(diǎn)是加工溫度低，易做淺結(jié)，大面積注入雜質(zhì)仍能保證均勻，摻雜種類廣泛，并且易于自動(dòng)化。由于采用了離子注入技術(shù)，大大地推動(dòng)了半導(dǎo)體器件和集成電路工業(yè)的發(fā)展，從而使集成電路的生產(chǎn)進(jìn)入了大規(guī)模及ULSI時(shí)代。2023/10/71一．離子注入工藝設(shè)備結(jié)構(gòu)離子注入機(jī)原理圖2023/10/722襖0酸2廢3渴/纖7醒/淘3駱03二約、染離繁子悼注次入感工份藝數(shù)的光特指點(diǎn)(拍1愿)盜注閣入插的慎離拉子皮是友通鞭過昆質(zhì)悔量奸分旋析定器利選沸取穩(wěn)出筑來泰的胞，案被脊選漫取代的反離雕子傭純判度哥高拳，經(jīng)能命量逆單鵲一騾，孤從僑而使保舉證蒙了艦摻洽雜侍純物度班不農(nóng)受賢雜淡質(zhì)摧源脅純貍度沒的介影移響浸。弟另晶外奏，脫注鍛入擊過善程趙是頃在愿清應(yīng)潔懇、嗓干嘗燥善的午真架空系條堂件鍵下協(xié)進(jìn)妥行捆的養(yǎng)，魂各爹種蝕污侍染好降己到吃最杰低稀水紅平宵。2陡0柄2騰3剝/詠7堤/泊3唇04(萬2惹）糟可雞以報(bào)精剖確辜控睬制棍注襖入斑到賠硅傾中勤的肢摻資雜傲原訴子香數(shù)患目顆。（旬3弓）早襯贊底山溫唇度嘩低匆，然一火般閘保恭持融在搶室沉溫霞，墳因且此撓，泄像蓬二電氧哨化變硅漆、燭氮蠻化列硅捆、輝鋁構(gòu)何設(shè)光業(yè)刻載膠亂等雖都淹可辱以磚用康來遭作容為櫻選貓擇絮摻遲雜陶的某掩沒蔽販膜全。（亂4績）息離篇子宮注形入刻深斧度采是修隨青離沾子蘿能器量陪的潤增跑加剪而員增歸加貿(mào)，館因摧此辦摻技雜搞深濱度窗可野以新通侍過付控他制苗離凝子世束共能媽量迷高廚低竹來盤實(shí)破現(xiàn)歸。猾另急外垃，袖在擴(kuò)注秘入掠過鹿程鄙中咸可米精聞確隙控珠制寄電掀荷阻量盈，娘從鐘而朽可芬精規(guī)確岸控爆制錢摻灑雜曉濃扮度威。-2臣0皮2豪3吊/項(xiàng)7擾/浴3妻05（舊5意）論離潮子羅注鋸入務(wù)是貓一目個(gè)炸非滑平奴衡遭過西程愈，娘不由受依雜蜻質(zhì)憂在剝襯撐底委材旨料砌中錯(cuò)的粉固彼溶劃度輛限浴制振，隆原功則賀上繼對(duì)箭各注種編元懸素嶺均餡可匯摻貢雜鍛。（部6邁）欲離事子悅注抗入棉時(shí)蓬的爭襯奧底劇溫吃度謙低賄，臘這灶樣使就援可笑以還避區(qū)免領(lǐng)了穗高井溫遙擴(kuò)緒散亞所陡引吸起以的超熱揪缺喬陷悼。（嫩7葡）難由障于纖注析入為的蘭直劍進(jìn)布性大，療注監(jiān)入貼雜無質(zhì)縱是物按濤掩怪膜牧的著圖恭形聲近脊于睜垂麻直棍入屢射班，即因枯此辯橫芹向霜效奔應(yīng)果比琴熱勺擴(kuò)撐散使小劑的噴多逗，自有唯利游于藥器宗件額特棉征暴尺側(cè)寸悼的安縮貸小圖。2逮0概2洋3輝/子7鞏/向3督06（是8快）競離鵲子很往亭往夕是痰通博過偏硅尼表駛面錄上兇的按薄鑰膜型注慰入綠到激硅暖中告，寄因史此禍硅孝表考面場上角的收薄豆膜絨起鹽到違了由保辣護(hù)恭膜顆作臣用（還9筑）坦化做合針物嘗半槐導(dǎo)鬧體叉是傍兩竄種救或傾多停種率元蘆素封按燦一福定庸組藥分亞構(gòu)碗成卡的朵，慨這遠(yuǎn)種庫材促料鴉經(jīng)秒高宅溫默處脖理脹時(shí)婚，創(chuàng)組焰分鐵可獸能立發(fā)奴生愈變梢化虧。融采蓬用銳離羽子毯注漲入其技那術(shù)授，睜基奴本撕不呆存墾在性上佛述樣問溜題險(xiǎn)，抬因涂此假容愈易松實(shí)辨現(xiàn)辦對(duì)峰化難合血物高半奔導(dǎo)醫(yī)體多的卡摻防雜2雕0摩2撓3爐/承7滴/浴3這07基雨個(gè)俱概現(xiàn)念駝：（孩1鐮）貍靶糧：慚被膊摻足雜頃的故材畝料剩。（心2鼓）徑一廟束搭離弦子勒轟勾擊欠靶便時(shí)及，維其雹中厲一堵部鼠分奔離待子廁在清靶唯面酸就利被舒反串射修，寇不海能盯進(jìn)榨入敢靶掃內(nèi)勝，置稱講這秒部東分錯(cuò)離今子祥為散脹射菌離乞子，俊進(jìn)抗入反靶倡內(nèi)瀉的鐮離丸子仙成氧為注旺入陽離吩子。（帝3緞）沈非違晶慕靶冒成瘦為身無曬定拜形綿靶庫，爺本井章守所牢涉胖及系道黃德承靶份材冠料米，雄都武是竊按蘇無葉定演形月來抄考副慮語。2偏0男2鵝3偽/色7萄/謝3兵08三葵、跟離伴子桌注襪入羨原鼻理“訊離厚子鄭”爛是辣一化種闊經(jīng)夏離沖化屠的獄原變子葵和廚分久子歡，探也撥稱闊“蹲等勁離巨子華體恰”薯，盼它脊帶窮有妥一踢定軌量越的注電蠟荷帖。番“采等叔離撥子盈發(fā)渡生盯器窯”具已取廣騰泛化應(yīng)榮用破到C泄V乖D消、金日屬墳鍍滋膜圍、針干孤法反刻映蝕搭、嚇光諸刻局膠說的軌去托除墓等剛工蓋藝卡中艙，雜而吹在件離識(shí)子崇注武入禿的辟設(shè)煮備拌中罵，友它碰被紐奉用善來腐制研造弱工燦藝駁所憲要春注宜入錘的粗離世子讓。賭因陶為蛾離值子末帶詳電歷荷綱，椒可予以穿用洞加漂速肌場死進(jìn)輔行挺加案速座，駐并麗且驅(qū)借池助育于虹磁相場款來叼改盜變港離畝子?jì)傻拈嗊\(yùn)違動(dòng)繭方束向解。啄當(dāng)視經(jīng)缺加寒速丈后乏的暖離遭子師碰壟撞至一沾個(gè)麻固嘴體抗靶穴面高之雹后修，鉤離罵子貞與鉗靶海面翠的捉原蔬子森將螺經(jīng)鼠歷猛各偶種溜不鋤同痕的郵交友互礎(chǔ)作極用住，紡如咽果杰離奴子拿“絹夠大重藍(lán)”丑，繭則勺大枕多醋數(shù)液離憐子撈將鵝進(jìn)題入煎固織體句里斥面鮮去釘。稱反建之很，鍛許旱多餐離舊子從將疾被辰靶慶面虧發(fā)幅射便。2橫0月2融3冶/器7零/寬3柿09當(dāng)哄具結(jié)有澇高伐能州量臘的語離柜子色注蹦入性到艙固怨體州靶嗚面威以愈后讀，摧這挽些腐高鋼能咬粒殃子破將性與醫(yī)固導(dǎo)體境靶去面化的恭原桑子燈與陶電鴉子塘進(jìn)披行嫁多更次戲碰竭撞宏，捆這匆些正碰烏撞草將扮逐叫步育削筆弱梨粒凳子夸的藏能帥量湯，盞最揪后栗由齒于錄能議量橡消渣失播而苦停狡止森運(yùn)喚動(dòng)泰，逮新繼城依形魔成階一靜定佳的前雜嶺質(zhì)棉分衡布善。同賄時(shí)靠，尖注火入圖離嗽子危和帥晶生格腰原訪子公相繞互龜作階用傲，脈那好些象吸劍收遺了幅離抬子然能扛量皂的耳電頃子帆，仗可黎能辭激浙發(fā)排或邪從頁原肉子絮之旦內(nèi)異游碗離啞，翠形到成短二籍次乎電劍子捧。2筍0卻2砍3揮/夢(mèng)7掏/對(duì)3譜01艷0離題子困在鳳硅中體盾內(nèi)撒的稿注旅入芝深飾度屬和恰分市布分狀扮態(tài)愁與鄙射境入罩時(shí)緩所渾加莫的撿電方場享強(qiáng)做度忌、勇離瓜子茄劑巨量甩、棋襯靈底晶宏向價(jià)等邊有術(shù)關(guān)爺。杯通半常龍，觀在槳離念子刷劑巨量學(xué)和動(dòng)轟揀擊鴨次位數(shù)司一嚷致漸的撕前沃提鑒下笛，從注膛入濃的遍深屯度疲將膀隨陶電債場兔的敘強(qiáng)碰度雞增待加讀而恰增圈加指。喜實(shí)眾踐例表茅明喪，病用鈔離削子天注調(diào)入連方疲法態(tài)在暖硅吳片具內(nèi)場部刮形珠成杠雜危質(zhì)顫分故布情與憐擴(kuò)支散秧是薦完評(píng)全隆不墊同要的日。追擴(kuò)將散匙法歐得嶄到頌的煤雜昂質(zhì)繪分倒布伴近幫似邀為兇余膠誤爹差醉函徑數(shù)譯和醒高咬斯島函斯數(shù)移分躬布釀，青而廳用毛離亦子身注劫入葡法賄形窗成鳴的恒分個(gè)布怕，粘其袍濃睡度乘最欣大農(nóng)值責(zé)不玻在辨硅懶片艇表事面舍，嗎而鈔是陡在蘇深著入辮硅假體雅一責(zé)定睬距者離貧。暢這升段浪距使離紅大猶小們與騾注熟入勇粒驅(qū)子特能容量刻、姜離綱子罰類枝型斤等赤有游關(guān)錦。2暴0舉2決3舊/輛7遠(yuǎn)/熟3束01科1在媽一耐般義情失況蛾下周，蹄雜閘質(zhì)梅濃擺度沈最寸大事值字在以距覺離聾表瞎面燦0咳.旗1匠u紙m砌處廁，取其俯分晃布民有腦一辱點(diǎn)悠像渾高略斯厲分棵布撈，瘦是慚由錦于遲雜屯質(zhì)肅被肌電麥場異加怨速含注斤入柔到高硅職片秋內(nèi)件后尿，扔受竹到陡硅淹原眉子趨的僑阻完擋巧，希使振其鴉動(dòng)腦能動(dòng)完飲全顛消斑失形，券停米留殿在銀原塵位體。嶼但筋由具于綁雜險(xiǎn)質(zhì)爆離滔子芹具征有沸的萬能腦量刃是農(nóng)不婦均對(duì)勻鍛的粘，暢也慎就脊是象使錯(cuò)雜豈質(zhì)趁離校子輸?shù)囊芎趿抠?zèng)有飽大具有門小啟，柴這廊樣宗就答形商成本了圖按奔一仙定護(hù)的孕曲旅線瞞分都布乞，沃能何量會(huì)大固和否能候量詳小瘦的約都裂是顏少共數(shù)該，夸而炒能習(xí)量浙近倒似斜相較等耍的襲居出多大數(shù)沒。舉當(dāng)初然效注宵入午后耳，臟能譯量畏最鏈大做的芬注爆入期深陶，劉能遺量拒小不的喜注翠入縮慧淺壇。2先0衡2覺3烘/急7春/逐3港01礙2離紡子爸注療入緩的段雜鏟質(zhì)納分昂布析還脾與系襯透底陳晶必向莖有劈燕關(guān)反系臣。蠢如沃果扣注衫入燭的械離冤子詢沿義規(guī)綢則正排錯(cuò)列飄的濾晶遺格彩方咸向迅進(jìn)岸入蜘硅葵中線，綁離追子硬可色能冠要網(wǎng)走督很銀長蒼一怎段曾路油途品才瞇碰捧到醬硅館原株子問，帥因襲此襖，良進(jìn)胡入齡深僑度篩就恐大兼，至使造雜寺質(zhì)斬分趕布脖出倚現(xiàn)脆兩畏個(gè)網(wǎng)峰庭值說，尾這津種逝現(xiàn)丹象誤稱居為句“乏溝素道磚效聯(lián)應(yīng)添”瞇。夠向尸<技1板0陳0創(chuàng)>槍，社<扔1付1嗓0銀>允晶纏向邀注末入希時(shí)體，紹往案往爛會(huì)卷發(fā)川生敏這沫種幸溝飄道偶效灑應(yīng)由，絹而湖<依1剖1割1銀>泡再啟偏旨離燃一羊定釘角求度帶，梢情松況鑰就貿(mào)好動(dòng)得避多局。2到0晚2堆3扯/汽7言/初3施01牌3離惡子痰注吊入勝時(shí)蔑，貫由蕩于柜受在到庸高罪能梳量搖雜深質(zhì)傲離灑子互的箱轟既擊盼，障硅閑片去內(nèi)珠許庫多喉晶樣格少被齒破觀壞連而支出堅(jiān)現(xiàn)忠晶森格倘缺劇陷傘，黑嚴(yán)杠重嶺時(shí)中會(huì)鑼出償現(xiàn)掘非衰晶東層轉(zhuǎn)。肉這寶種憑缺農(nóng)陷竭一鈴定茄要遲經(jīng)蠻過惡退桿火孕處隔理建來戴消膜除保，搬所柳以儉退僻火奸工藍(lán)藝獻(xiàn)在優(yōu)離拖子永注愚入閘工輪藝跨中部是象必旱不鑼可竭少裝的氏。與塞擴(kuò)慈散外一受樣載，份離向子?jì)鹱⑴D入緊也果需雕要發(fā)掩鳳蔽瞎，肺其轎掩領(lǐng)蔽揮物輝可喇以腐是壓二瞎氧彩化杏硅東、云氮遇化茅硅未、A柳L2O3及A擁L都眉行苦，窗且沉掩鋸蔽果膜聰厚劫度娛隨謙電種場湯強(qiáng)秤度臺(tái)和那雜截質(zhì)周劑李量洞的諒增熄加戚而航加符厚頌。2肆0堂2亞3寬/擋7若/村3勢(shì)01透4§流4岡.儲(chǔ)1蒙核伶碰爹撞遮和頂電兆子銜碰無撞L陷S攏S理顆論絕:寧注朵入殊離漠子趨在眠靶拒內(nèi)柜的斥能劍量鄰損種失住分乘為狐兩框個(gè)炕彼議此顯獨(dú)景立帶的前過慨程(耳1召)壺核蘋碰郵撞鑒，豪（釘2場）渣電鳴子惰碰臭撞忙，榴總剝能蔑量熄損裕失盤為模它愚們誓的籃和砍。2妙0祥2運(yùn)3攜/流7貨/鐮3林01伐5核綿碰況撞印和井電里子挪碰吊撞其:2等0察2因3立/通7族/簡3鄉(xiāng)豐01翅62謊0介2聰3析/播7釀/匪3累01吩7（幟一）孝、核額阻憑止?fàn)幈久纛I(lǐng)能遷量宿為榨E絲式的找一田個(gè)念注耽入乏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