§離子注入工藝

第四章離子注入工藝離子注入的特點是加工溫度低，易做淺結，大面積注入雜質仍能保證均勻，摻雜種類廣泛，并且易于自動化。由于采用了離子注入技術，大大地推動了半導體器件和集成電路工業(yè)的發(fā)展，從而使集成電路的生產進入了大規(guī)模及ULSI時代。2023/10/71一．離子注入工藝設備結構離子注入機原理圖2023/10/722襖0酸2廢3渴/纖7醒/淘3駱03二約、染離繁子悼注次入感工份藝數(shù)的光特指點(拍1愿)盜注閣入插的慎離拉子皮是友通鞭過昆質悔量奸分旋析定器利選沸取穩(wěn)出筑來泰的胞，案被脊選漫取代的反離雕子傭純判度哥高拳，經能命量逆單鵲一騾，孤從僑而使保舉證蒙了艦摻洽雜侍純物度班不農受賢雜淡質摧源脅純貍度沒的介影移響浸。弟另晶外奏，脫注鍛入擊過善程趙是頃在愿清應潔懇、嗓干嘗燥善的午真架空系條堂件鍵下協(xié)進妥行捆的養(yǎng)，魂各爹種蝕污侍染好降己到吃最杰低稀水紅平宵。2陡0柄2騰3剝/詠7堤/泊3唇04(萬2惹）糟可雞以報精剖確辜控睬制棍注襖入斑到賠硅傾中勤的肢摻資雜傲原訴子香數(shù)患目顆。（旬3弓）早襯贊底山溫唇度嘩低匆，然一火般閘保恭持融在搶室沉溫霞，墳因且此撓，泄像蓬二電氧哨化變硅漆、燭氮蠻化列硅捆、輝鋁構何設光業(yè)刻載膠亂等雖都淹可辱以磚用康來遭作容為櫻選貓擇絮摻遲雜陶的某掩沒蔽販膜全。（亂4績）息離篇子宮注形入刻深斧度采是修隨青離沾子蘿能器量陪的潤增跑加剪而員增歸加貿，館因摧此辦摻技雜搞深濱度窗可野以新通侍過付控他制苗離凝子世束共能媽量迷高廚低竹來盤實破現(xiàn)歸?；砑蓖饫湓跀U注秘入掠過鹿程鄙中咸可米精聞確隙控珠制寄電掀荷阻量盈，娘從鐘而朽可芬精規(guī)確岸控爆制錢摻灑雜曉濃扮度威。-2臣0皮2豪3吊/項7擾/浴3妻05（舊5意）論離潮子羅注鋸入務是貓一目個炸非滑平奴衡遭過西程愈，娘不由受依雜蜻質憂在剝襯撐底委材旨料砌中錯的粉固彼溶劃度輛限浴制振，隆原功則賀上繼對箭各注種編元懸素嶺均餡可匯摻貢雜鍛。（部6邁）欲離事子悅注抗入棉時蓬的爭襯奧底劇溫吃度謙低賄，臘這灶樣使就援可笑以還避區(qū)免領了穗高井溫遙擴緒散亞所陡引吸起以的超熱揪缺喬陷悼。（嫩7葡）難由障于纖注析入為的蘭直劍進布性大，療注監(jiān)入貼雜無質縱是物按濤掩怪膜牧的著圖恭形聲近脊于睜垂麻直棍入屢射班，即因枯此辯橫芹向霜效奔應果比琴熱勺擴撐散使小劑的噴多逗，自有唯利游于藥器宗件額特棉征暴尺側寸悼的安縮貸小圖。2逮0概2洋3輝/子7鞏/向3督06（是8快）競離鵲子很往亭往夕是痰通博過偏硅尼表駛面錄上兇的按薄鑰膜型注慰入綠到激硅暖中告，寄因史此禍硅孝表考面場上角的收薄豆膜絨起鹽到違了由保辣護恭膜顆作臣用（還9筑）坦化做合針物嘗半槐導鬧體叉是傍兩竄種救或傾多停種率元蘆素封按燦一福定庸組藥分亞構碗成卡的朵，慨這遠種庫材促料鴉經秒高宅溫默處脖理脹時婚，創(chuàng)組焰分鐵可獸能立發(fā)奴生愈變梢化虧。融采蓬用銳離羽子毯注漲入其技那術授，睜基奴本撕不呆存墾在性上佛述樣問溜題險，抬因涂此假容愈易松實辨現(xiàn)辦對峰化難合血物高半奔導醫(yī)體多的卡摻防雜2雕0摩2撓3爐/承7滴/浴3這07基雨個俱概現(xiàn)念駝：（孩1鐮）貍靶糧：慚被膊摻足雜頃的故材畝料剩。（心2鼓）徑一廟束搭離弦子勒轟勾擊欠靶便時及，維其雹中厲一堵部鼠分奔離待子廁在清靶唯面酸就利被舒反串射修，寇不海能盯進榨入敢靶掃內勝，置稱講這秒部東分錯離今子祥為散脹射菌離乞子，俊進抗入反靶倡內瀉的鐮離丸子仙成氧為注旺入陽離吩子。（帝3緞）沈非違晶慕靶冒成瘦為身無曬定拜形綿靶庫，爺本井章守所牢涉胖及系道黃德承靶份材冠料米，雄都武是竊按蘇無葉定演形月來抄考副慮語。2偏0男2鵝3偽/色7萄/謝3兵08三葵、跟離伴子桌注襪入羨原鼻理“訊離厚子鄭”爛是辣一化種闊經夏離沖化屠的獄原變子葵和廚分久子歡，探也撥稱闊“蹲等勁離巨子華體恰”薯，盼它脊帶窮有妥一踢定軌量越的注電蠟荷帖。番“采等叔離撥子盈發(fā)渡生盯器窯”具已取廣騰泛化應榮用破到C泄V乖D消、金日屬墳鍍滋膜圍、針干孤法反刻映蝕搭、嚇光諸刻局膠說的軌去托除墓等剛工蓋藝卡中艙，雜而吹在件離識子崇注武入禿的辟設煮備拌中罵，友它碰被紐奉用善來腐制研造弱工燦藝駁所憲要春注宜入錘的粗離世子讓。賭因陶為蛾離值子末帶詳電歷荷綱，椒可予以穿用洞加漂速肌場死進輔行挺加案速座，駐并麗且驅借池助育于虹磁相場款來叼改盜變港離畝子嬌的閱運違動繭方束向解。啄當視經缺加寒速丈后乏的暖離遭子師碰壟撞至一沾個麻固嘴體抗靶穴面高之雹后修，鉤離罵子貞與鉗靶海面翠的捉原蔬子森將螺經鼠歷猛各偶種溜不鋤同痕的郵交友互礎作極用住，紡如咽果杰離奴子拿“絹夠大重藍”丑，繭則勺大枕多醋數(shù)液離憐子撈將鵝進題入煎固織體句里斥面鮮去釘。稱反建之很，鍛許旱多餐離舊子從將疾被辰靶慶面虧發(fā)幅射便。2橫0月2融3冶/器7零/寬3柿09當哄具結有澇高伐能州量臘的語離柜子色注蹦入性到艙固怨體州靶嗚面威以愈后讀，摧這挽些腐高鋼能咬粒殃子破將性與醫(yī)固導體境靶去面化的恭原桑子燈與陶電鴉子塘進披行嫁多更次戲碰竭撞宏，捆這匆些正碰烏撞草將扮逐叫步育削筆弱梨粒凳子夸的藏能帥量湯，盞最揪后栗由齒于錄能議量橡消渣失播而苦停狡止森運喚動泰，逮新繼城依形魔成階一靜定佳的前雜嶺質棉分衡布善。同賄時靠，尖注火入圖離嗽子危和帥晶生格腰原訪子公相繞互龜作階用傲，脈那好些象吸劍收遺了幅離抬子然能扛量皂的耳電頃子帆，仗可黎能辭激浙發(fā)排或邪從頁原肉子絮之旦內異游碗離啞，翠形到成短二籍次乎電劍子捧。2筍0卻2砍3揮/夢7掏/對3譜01艷0離題子困在鳳硅中體盾內撒的稿注旅入芝深飾度屬和恰分市布分狀扮態(tài)愁與鄙射境入罩時緩所渾加莫的撿電方場享強做度忌、勇離瓜子茄劑巨量甩、棋襯靈底晶宏向價等邊有術關爺。杯通半常龍，觀在槳離念子刷劑巨量學和動轟揀擊鴨次位數(shù)司一嚷致漸的撕前沃提鑒下笛，從注膛入濃的遍深屯度疲將膀隨陶電債場兔的敘強碰度雞增待加讀而恰增圈加指。喜實眾踐例表茅明喪，病用鈔離削子天注調入連方疲法態(tài)在暖硅吳片具內場部刮形珠成杠雜危質顫分故布情與憐擴支散秧是薦完評全隆不墊同要的日。追擴將散匙法歐得嶄到頌的煤雜昂質繪分倒布伴近幫似邀為兇余膠誤爹差醉函徑數(shù)譯和醒高咬斯島函斯數(shù)移分躬布釀，青而廳用毛離亦子身注劫入葡法賄形窗成鳴的恒分個布怕，粘其袍濃睡度乘最欣大農值責不玻在辨硅懶片艇表事面舍，嗎而鈔是陡在蘇深著入辮硅假體雅一責定睬距者離貧。暢這升段浪距使離紅大猶小們與騾注熟入勇粒驅子特能容量刻、姜離綱子罰類枝型斤等赤有游關錦。2暴0舉2決3舊/輛7遠/熟3束01科1在媽一耐般義情失況蛾下周，蹄雜閘質梅濃擺度沈最寸大事值字在以距覺離聾表瞎面燦0咳.旗1匠u紙m砌處廁，取其俯分晃布民有腦一辱點悠像渾高略斯厲分棵布撈，瘦是慚由錦于遲雜屯質肅被肌電麥場異加怨速含注斤入柔到高硅職片秋內件后尿，扔受竹到陡硅淹原眉子趨的僑阻完擋巧，希使振其鴉動腦能動完飲全顛消斑失形，券停米留殿在銀原塵位體。嶼但筋由具于綁雜險質爆離滔子芹具征有沸的萬能腦量刃是農不婦均對勻鍛的粘，暢也慎就脊是象使錯雜豈質趁離校子輸?shù)囊芎趿抠浻酗柎缶哂虚T小啟，柴這廊樣宗就答形商成本了圖按奔一仙定護的孕曲旅線瞞分都布乞，沃能何量會大固和否能候量詳小瘦的約都裂是顏少共數(shù)該，夸而炒能習量浙近倒似斜相較等耍的襲居出多大數(shù)沒。舉當初然效注宵入午后耳，臟能譯量畏最鏈大做的芬注爆入期深陶，劉能遺量拒小不的喜注翠入縮慧淺壇。2先0衡2覺3烘/急7春/逐3港01礙2離紡子爸注療入緩的段雜鏟質納分昂布析還脾與系襯透底陳晶必向莖有劈燕關反系臣。蠢如沃果扣注衫入燭的械離冤子詢沿義規(guī)綢則正排錯列飄的濾晶遺格彩方咸向迅進岸入蜘硅葵中線，綁離追子硬可色能冠要網走督很銀長蒼一怎段曾路油途品才瞇碰捧到醬硅館原株子問，帥因襲此襖，良進胡入齡深僑度篩就恐大兼，至使造雜寺質斬分趕布脖出倚現(xiàn)脆兩畏個網峰庭值說，尾這津種逝現(xiàn)丹象誤稱居為句“乏溝素道磚效聯(lián)應添”瞇。夠向尸<技1板0陳0創(chuàng)>槍，社<扔1付1嗓0銀>允晶纏向邀注末入希時體，紹往案往爛會卷發(fā)川生敏這沫種幸溝飄道偶效灑應由，絹而湖<依1剖1割1銀>泡再啟偏旨離燃一羊定釘角求度帶，梢情松況鑰就貿好動得避多局。2到0晚2堆3扯/汽7言/初3施01牌3離惡子痰注吊入勝時蔑，貫由蕩于柜受在到庸高罪能梳量搖雜深質傲離灑子互的箱轟既擊盼，障硅閑片去內珠許庫多喉晶樣格少被齒破觀壞連而支出堅現(xiàn)忠晶森格倘缺劇陷傘，黑嚴杠重嶺時中會鑼出償現(xiàn)掘非衰晶東層轉。肉這寶種憑缺農陷竭一鈴定茄要遲經蠻過惡退桿火孕處隔理建來戴消膜除保，搬所柳以儉退僻火奸工藍藝獻在優(yōu)離拖子永注愚入閘工輪藝跨中部是象必旱不鑼可竭少裝的氏。與塞擴慈散外一受樣載，份離向子嬸注臘入緊也果需雕要發(fā)掩鳳蔽瞎，肺其轎掩領蔽揮物輝可喇以腐是壓二瞎氧彩化杏硅東、云氮遇化茅硅未、A柳L2O3及A擁L都眉行苦，窗且沉掩鋸蔽果膜聰厚劫度娛隨謙電種場湯強秤度臺和那雜截質周劑李量洞的諒增熄加戚而航加符厚頌。2肆0堂2亞3寬/擋7若/村3勢01透4§流4岡.儲1蒙核伶碰爹撞遮和頂電兆子銜碰無撞L陷S攏S理顆論絕:寧注朵入殊離漠子趨在眠靶拒內柜的斥能劍量鄰損種失住分乘為狐兩框個炕彼議此顯獨景立帶的前過慨程(耳1召)壺核蘋碰郵撞鑒，豪（釘2場）渣電鳴子惰碰臭撞忙，榴總剝能蔑量熄損裕失盤為模它愚們誓的籃和砍。2妙0祥2運3攜/流7貨/鐮3林01伐5核綿碰況撞印和井電里子挪碰吊撞其:2等0察2因3立/通7族/簡3鄉(xiāng)豐01翅62謊0介2聰3析/播7釀/匪3累01吩7（幟一）孝、核額阻憑止爭本敏領能遷量宿為榨E絲式的找一田個念注耽入乏離呆子里，渣在猶單倦位廣密陵度粥靶莫內澆運掏動墊單臘位悲長畏度暖時唐，姻損宗失頓給勇靶稍原屑子碌核勻的奇能面量扁。2翼0須2盾3壯/泉7息/辭3余01榨8（尾二漠）帳電甘子支阻賞止咳本感領同箭注羊入平離辱子象的咳速濟度陽成葉正數(shù)比抽，蝴即株和級注歡入粥離儲子寨能京量廊的栽平朱方引根葵成占正獅比料。2墳0灣2桌3慶/胖7晌/肉3繪01痛9（舅三箭）射頂程書的默概礦念2拍0狐2瓦3峽/第7尚/幫3饅02暖0§糾4繞.部2探注指入離菠子榴的你分本布2腸0謀2惡3緣瑞/拜7察/欺3志02兔1（首一防）正縱時向喬分拿布2皇0融2快3似/啞7持/幟3勺02學2*脖注蹦入中離復子懸的坦分憶布婚計雀算1失.餐平蝕均紡投世影擠射老程Rp，標趟準親偏尋差

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