微電子制作工藝課程實(shí)踐教學(xué)方案設(shè)計(jì)

集成電路制造工藝課程實(shí)踐教學(xué)方案設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)思想、實(shí)踐教學(xué)的目標(biāo)定位、組織實(shí)施方案，以及實(shí)行的教學(xué)手段。關(guān)鍵詞：實(shí)踐教學(xué) 職業(yè)力氣 頂崗實(shí)習(xí)Abstact:Introducethedesignconceptof《MicroelectronCraftpracticeteachingplanwhichisexecutedinmicroelectronspecializedinBinzhouVocationalSchool.Alsointroducethepracticeteachingtarget,enforcementregulationsaswellasteachingmethod.Keywords:practiceteachingprofessionalcapacityon-the-jobpractice微電子工藝試驗(yàn)是微電子專業(yè)的核心主干課程，具有很強(qiáng)的理論性和實(shí)踐的根本理論、根本工藝流程以及微電子器件主要生產(chǎn)設(shè)備的操作、維護(hù)、檢修、程素養(yǎng)的根底上具備可持續(xù)進(jìn)展的職業(yè)力氣。二、實(shí)踐教學(xué)方案設(shè)計(jì)思想實(shí)踐教學(xué)的目的是檢驗(yàn)學(xué)生對微電子工藝的從業(yè)崗位所需的根底學(xué)問和根本的統(tǒng)一，提高學(xué)生分析問題和解決問題的力氣。IC實(shí)際工藝中的工藝流程為教學(xué)主線，在“貼近工程工程，真實(shí)工作流程，真實(shí)儀學(xué)生到達(dá)企業(yè)對該工種的要求。三、實(shí)踐教學(xué)目標(biāo)定位微電子專業(yè)旨在培育有用型、技能型人才，具有較強(qiáng)的實(shí)踐力氣；以實(shí)際工測試、整形、安裝、焊接技能，把握硅集成電路主要工序的工藝操作方法、外延隱埋、薄膜制備、光刻等技術(shù)；生疏主要半導(dǎo)體器件參數(shù)、微電子工藝參數(shù)的測量方法。四、實(shí)踐教學(xué)內(nèi)容設(shè)計(jì)塊，依據(jù)和實(shí)際工程“無縫對接”的原則，建立課程實(shí)踐教學(xué)模式和體系。(一)課程力氣體系應(yīng)用技能、綜合運(yùn)用技能、可持續(xù)進(jìn)展的職業(yè)技能。探針臺金相顯微鏡、靜電鍵合臺、砂輪切片機(jī)、氧化爐、集中爐、合金化爐、燒結(jié)爐、靜電鍵合機(jī)等等儀器的正確使用和維護(hù)的力氣。膜制備、光刻技術(shù)、測試、整形、安裝、焊接技能，化學(xué)清洗技術(shù)等。半導(dǎo)體器件手冊獵取相關(guān)技術(shù)指標(biāo)的力氣。挑戰(zhàn)?！捕硨?shí)踐教學(xué)內(nèi)容實(shí)踐教學(xué)中,結(jié)合微電子工藝工程師各崗位的要求，把實(shí)踐教學(xué)劃分為五個教學(xué)模塊:儀器設(shè)備操作技能模塊、單項(xiàng)工藝〔氧化、光刻、集中、離子注入、源應(yīng)用力氣模塊。習(xí)和頂崗實(shí)習(xí)等形式進(jìn)展。課堂實(shí)訓(xùn)：為保證課程課堂試驗(yàn)實(shí)訓(xùn)的效果與質(zhì)量，編寫了《微電子工藝實(shí)訓(xùn)指導(dǎo)》,〔硅片熱氧化試驗(yàn)、集中〔兩步法摻硼雜質(zhì)試驗(yàn)、集中法摻磷雜質(zhì)試驗(yàn)、光刻〔在二氧化硅上選擇刻蝕窗口的試驗(yàn)、淀積〔電子束蒸發(fā)薄膜制備、金屬腐蝕速率的測量、二氧化硅薄膜厚度的測量、集中節(jié)深度的測量、靜電鍵合試驗(yàn)等課程設(shè)計(jì)。也是培育學(xué)生學(xué)問綜合運(yùn)用力氣、資料檢索力氣、分析與解決問題、工程開〔3—5、的實(shí)現(xiàn)。課程設(shè)計(jì)圍圍著：簡潔的元器件的制作、性能測試、運(yùn)用模擬軟件模擬的高質(zhì)量、高水平的進(jìn)展。綜合實(shí)訓(xùn)問題的力氣。架燒結(jié)、壓焊、封帽、成品測試。寫出實(shí)習(xí)總結(jié)報(bào)告。頂崗實(shí)習(xí)綜合評價。五、實(shí)踐教學(xué)的組織與實(shí)施〔一〕制定完善的制度綜合性實(shí)習(xí)、頂崗實(shí)習(xí)完成實(shí)踐教學(xué)任務(wù)。證標(biāo)準(zhǔn)的教學(xué)過程、完整的教學(xué)內(nèi)容和顯著的教學(xué)效果?！捕撑c企業(yè)進(jìn)展全面的深度的合作學(xué)院與濱州芯科電子有限責(zé)任公司和青島興盛微電子科技簽訂了3-5〔主要由合作單位的技術(shù)人員介紹主要的技術(shù)〕10-15〔三〕推行彈性學(xué)習(xí)時間制度增加實(shí)習(xí)工程。為確保每個學(xué)生都有充分的實(shí)際操作時間和到達(dá)滿足的嫻熟程性又充分利用了學(xué)校的試驗(yàn)設(shè)備。〔四〕多渠道、多形式的教學(xué)關(guān)心手段和網(wǎng)上試驗(yàn)室，把教師自制的試驗(yàn)教學(xué)課件和購置的SEMI〔SemiconductorIntemational,SEMI〕DVD，作為網(wǎng)上學(xué)習(xí)和網(wǎng)上試驗(yàn)室的重要資源，供學(xué)生隨時學(xué)習(xí)。改進(jìn)、完善，激發(fā)學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣?！参濉橙轿?、多尺度的評價學(xué)生的實(shí)踐力氣等方式增加實(shí)訓(xùn)時間，到達(dá)滿足后要求指導(dǎo)教師重考核。的狀況：4020%。分析問題，解決問題的力氣：20%。自主學(xué)習(xí)和自主創(chuàng)力氣：20%。六、總結(jié)電子專業(yè)是從2023級開頭，無論是在理論教學(xué)還是在實(shí)踐教學(xué)中都沒有可借鑒提高了學(xué)生就業(yè)率和用人單位對學(xué)生的滿足度，取得了很好的社會效益。參考文獻(xiàn)：[J].2023〔4：54-56[J].41-42GaryS.May