三維云紋干涉儀

三維云紋干涉儀簡介：三維云紋干涉儀是由云紋干涉光路和泰曼/格林干涉光路組合而成；將高靈敏度正交型光柵復制在試件的表面，并置于光路系統(tǒng)中，經(jīng)調(diào)試后可分別獲得兩個面內(nèi)位移場（U和V）和離面位移場（W）；激光是由單模光纖及耦合器分解和傳輸?shù)焦饴废到y(tǒng)中的；光路中置有PZT壓電晶體，通過驅(qū)動電源控制和驅(qū)動壓電晶體和反射鏡來實現(xiàn)相移技術，相移技術可以使測量靈敏度提高一個量級，儀器還附有加載系統(tǒng)及調(diào)節(jié)座；配以高溫爐可進行熱變形測量。技術參數(shù)及圖例：主要技術指標：1、位移靈敏度： 面內(nèi)u&v場：417nm（1200線/mm）,離面w場：266nm（l/2）2、相移靈敏度：s20nm/V

3、光場尺寸：35x35mm4、測試范圍：<20x20mm5、條紋分辨率：優(yōu)于1/20級條紋6、測量應變范圍:10me~5%e7、激光器：單縱膜，20mw， X=532nm8、圖像采集：CMOS攝像頭，分辨率1280x1024，USB接口9、加載系統(tǒng)：拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式主要配置:1、主機2、20mW半導體激光器：1個3、TS-1000USB攝像頭（內(nèi)置）：1只4、相移器：1個5、光纖：3根6、光纖耦合器：1套7、 1200mmx800mm自動平衡隔振平臺：1套8、 品牌液晶臺式電腦：1套（雙核處理器;2GB內(nèi)存;320GB硬盤;19寸寬屏液晶顯示屏）9、 拉伸、壓縮、彎曲三種加載方式：1套10、 軟件：1套其他附件：1、高溫恒溫箱簡介：為配合高溫（＜300oC）條件下的熱變形的非接觸光學測量，高溫

恒溫箱配有可供觀察和測量的石英玻璃窗口。為不影響光學測量的精度,該玻璃是精密加工的。恒溫箱的溫度的穩(wěn)定性由控制器控制。恒溫箱固定在五維調(diào)節(jié)座上，可實現(xiàn)滿足光路要求的精準調(diào)節(jié)。溫度:<300oC,靈敏度：±loC窗口玻璃：平面度：1/2光圈，耐高溫石英玻璃2、全息云紋光柵簡介；用全息干涉系統(tǒng)和光刻技術值成的云紋光柵主要用于云紋干涉法變形測量。該光柵可以方便地轉(zhuǎn)移到試件的表面，將復制有試件柵的試件置于云紋干涉光路系統(tǒng)中可以獲得反映位移場的云紋干涉條紋。該光柵通常為正交型光柵，以獲得二維面內(nèi)位移場。全息干涉光路中采用了旋轉(zhuǎn)光源，因而有效地消除了散斑噪聲，提高了衍射效率。圖H-1所示為光柵在白光下的衍射彩色圖像；圖H-2所示為光柵在云紋干涉光路中的零場條紋圖。圖H-1；白光衍射夥色圖像匕場 丫場#圖H-1；白光衍射夥色圖像匕場 丫場#圖H-2；光柵專場云紋圖屮性能和參數(shù)：光柵頻率：1200或600lines/mm(0.05%)正交性：n/2±0.5xl0-4衍射效率：大于入射光強的10%基底尺寸：63x63mm(2.5x2.5in)基底材料：普通玻璃或超低膨脹率石英玻璃（ULE）零場：〈級條紋光柵材料：光刻膠鍍鋁膜原理示意:原理示意I,云紋干涉牌圖 云紋干涉法8糧裝置」已制備在試件表面的直頻光椰隨試件的孌飛而麥世』當畫束融以不同的甬度磴射試件珂，由光刪應用范圍：云紋干涉法是一種非接觸測量面內(nèi)位移和應變場的方法，具有較為廣泛的應用范圍。該技術可用于測量復合材料的殘余應力；測量微電子封裝組件熱疲勞，熱濕耦