半導(dǎo)體氣體特性及系統(tǒng)

半導(dǎo)體氣體特性介紹

1.BulkGas大宗氣體

2.SpecialtyGas特氣1整理課件一.大宗氣體供給系統(tǒng)-BulkGasSupplySystem1.什麼是大宗氣體:一般指用量較大的氣體,無色無味無臭,但仍有潛在的危險(局部具窒息性).

*CDA(UCCA)/IA–壓縮乾燥空氣/儀器推動空氣/呼吸用空氣*HPCDA(HCDA)–高壓壓縮乾燥空氣*GN2-一般氮?dú)?PN2-純化氮?dú)?PHE-純化氦氣*PAR-純化氬氣*PO2-純化氧氣*PH2-純化氫氣2整理課件2.主要用途介紹:*CDA–作為Fab中氣動設(shè)備(如Pump)的氣源及吹淨(jìng)(Purge)作為LocalScrubber助燃的氣源*IA–作為廠務(wù)系統(tǒng)氣動設(shè)備的氣源及吹淨(jìng)(Purge)*HPCDA–黃光區(qū)Scanner機(jī)臺專用(移動平臺/使Filter緊靠)*GN2/PN2-作為局部氣動設(shè)備氣源及提供惰性的氣體環(huán)境Pn2主要的功能為吹淨(jìng)(Purge)*PO2-提供製程中氧化的作用*PAR–作為製程中濺渡的傳導(dǎo)介質(zhì)*PHE-作為製程中冷卻晶片的氣源*PH2-提供燃燒,烘烤的作用及其他反應(yīng)3整理課件二.

特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)

-SpecialtyGasSupplySystem1.什麼是特殊氣體:

一般指用量小,極少用量便會對人體造成生命威脅的氣體特殊氣體分類大致如下—

*易燃性氣體FlammableGas*毒性氣體ToxicGas*腐蝕性氣體CorrosiveGas*低壓性/保溫氣體HeatGas*惰性氣體InertGas4整理課件3.氣體標(biāo)簽的顏色簡介:

*CDA白色

*

GN2PN2橘紅色

*

PO2黑色

*

PHePAr綠色

*

PH2紅色

*

氧化性氣體:黑色如O3

*易燃性氣體

:紅色如SIH4,PH3,H2,….*毒性氣體

:紅色如CO,NO,CLF3,….

*腐蝕性氣體

:如NH3,SIF4,CL2,….

*惰性氣體

:綠色如SF6,C4F8,N2O,….5整理課件2.特殊氣體特性簡介:

*易燃性氣體

:燃點(diǎn)低,一洩漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒

如SIH4,PH3,H2,….*毒性氣體

:反應(yīng)性極強(qiáng),強(qiáng)烈危害人體功能,如CO,NO,CLF3,….

*腐蝕性氣體

:易與水份起反應(yīng)而產(chǎn)生酸性物質(zhì),有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險

性如NH3,SIF4,CL2,….

*低壓性/保溫氣體

:屬黏稠性液態(tài)氣體,需包加熱線及保溫棉,將管內(nèi)的溫度升高以使其氣化,才能充分供應(yīng)氣體,如WF6,BCL3,DCS,….

*惰性氣體

:又稱窒息性氣體,當(dāng)洩漏出的量使空氣中含氧量減少至16%~6%以下時,便會影響人體,甚至死亡,如SF6,C4F8,N2O,….6整理課件標(biāo)簽的粘貼方式7整理課件氣體標(biāo)簽氣體標(biāo)簽內(nèi)容要與管道內(nèi)氣體一致；氣體標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；氣體標(biāo)簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1〕在直管段每2米一個;2〕彎頭兩頭應(yīng)貼標(biāo)簽；3〕與原有系統(tǒng)的標(biāo)簽位置平齊；4〕在機(jī)臺POU處、閥箱進(jìn)口、VMB出口、VMP出口、閥前和閥后、上IC洞口處要有氣體標(biāo)簽;5)粘貼氣體標(biāo)簽要以易看見為標(biāo)準(zhǔn)；如：在高處水平管道的標(biāo)簽應(yīng)貼在管道下半圓兩側(cè)90度范圍內(nèi)。6)粘貼標(biāo)簽要美觀,保證標(biāo)簽與管道平行,居中,無殘缺,褶皺,翹曲8整理課件機(jī)臺名標(biāo)簽機(jī)臺名標(biāo)簽內(nèi)容要與管道所屬機(jī)臺一致；機(jī)臺名標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；機(jī)臺名簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1〕在連接takeoffpiont水平管道正下部、VMB&VMP面板上管道左側(cè)要有機(jī)臺名標(biāo)簽;2)粘貼標(biāo)簽要美觀,保證標(biāo)簽與管道平行,居中,無殘缺,褶皺,翹曲;9整理課件Takeoffpiont號碼標(biāo)簽Takeoffpiont號碼標(biāo)簽內(nèi)容要與管道所屬Takeoffpiont一致；Takeoffpiont號碼標(biāo)簽的方向要與氣體走向一致；Takeoffpiont號碼標(biāo)簽粘貼，要符合以下規(guī)定：1〕在進(jìn)泵的閥組的閥前,在Fab地板下盤面上,在F