Zr (55)Cu (30)Al (10)Ni 5非晶薄膜的制備與性能研究_第1頁
Zr (55)Cu (30)Al (10)Ni 5非晶薄膜的制備與性能研究_第2頁
Zr (55)Cu (30)Al (10)Ni 5非晶薄膜的制備與性能研究_第3頁
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Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5u_(3)A_(10)Ni_5非晶薄膜的制備方法，分析了其微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和熱物性能。實驗結(jié)果表明，通過磁控u_(3)A_(10)Ni_5非晶薄膜表現(xiàn)出優(yōu)異的力學(xué)和熱物性能，具有廣泛的應(yīng)用前景。Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜為例，研究了其制備方高真空磁控濺射沉積裝置，掃描電鏡(SEM)，X射線衍射儀(XRD)Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5合金均勻合金粉末為靶材，裝置XSEMZr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜的微觀結(jié)構(gòu)如圖1所示。（1：Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5SEM1中可以看出，Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜表面平整，采用X射線衍射儀分析了非晶薄膜的晶體結(jié)構(gòu)，得到了其XRD圖譜，如圖2所示。（2：Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5XRD2顯示，Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜沒有表現(xiàn)出明顯的XRD譜線特征明顯較弱，表明其為非晶結(jié)構(gòu)，符合其的如圖3所示。（3：Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_53中，可以看出，Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5和彈性模量較高，硬度為9GPa，彈性模量為106GPa。這表明Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜具有高韌性和強(qiáng)度，以及較好的彈4（4：Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_54中可以看出，Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜的熱穩(wěn)定性較好，高溫下的扭曲溫度為480℃。這表明Zr_(55)Cu_(30)Al_(10)Ni_5非晶薄膜可以應(yīng)用于高溫環(huán)境下，例如火箭u_(3)A_(10)Ni_5非晶薄膜的制備方法，并對其進(jìn)行了微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和熱物性能測試。實驗結(jié)果表明，u_(3)A_(10)Ni_5非晶薄膜具有很好的力學(xué)和

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