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潔淨室能源評估比較〔C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)室內(nèi)循環(huán)系統(tǒng))1整理課件前言潔淨室的建造本錢非常昂貴,約為一般空調(diào)的六倍以上。除此之外,潔淨室的運轉(zhuǎn)本錢也相當昂貴,潔淨空調(diào)系統(tǒng)用電量約佔了整廠耗能的40%左右,其耗能亦為一般空調(diào)的十倍以上。在這經(jīng)濟蕭條與產(chǎn)業(yè)獲利率不再居高不下時,如何使廠務(wù)系統(tǒng)最正確設(shè)計與能源有效運用而達到Cost-Down之目的,就成為不得不做且相當重要的工作了。2整理課件因此業(yè)者或潔淨室設(shè)計師假設(shè)能在建廠時期全面進行廠房最正確化設(shè)計檢討,將有助於減緩用電量之成長。本研究旨在闡述在建造一座潔淨室前,比較室內(nèi)循環(huán)系統(tǒng),以選擇最具節(jié)能及低本錢方式系統(tǒng)。具體目標簡單來講就是----「降低建廠初設(shè)本錢」、「節(jié)省廠房運轉(zhuǎn)本錢」、「節(jié)約能源」,畢竟一個企業(yè)體在商場競爭下要維持一定的利潤,應(yīng)該從硬體建設(shè)的節(jié)能做起,而非從人裁起。前言3整理課件近來由於風(fēng)扇過濾網(wǎng)組(FFU)搭配二次冰水系統(tǒng)乾式盤管(DCC),被應(yīng)用在潔淨室裡做為內(nèi)部潔淨度的換氣循環(huán),由於在使用上具有相當?shù)撵`活性及穩(wěn)定性,但在潔淨室裡,假設(shè)採用FFU/DCC系統(tǒng)或AHU/DUCT系統(tǒng)皆存在其相對的優(yōu)缺點,今就二者差異做一比較分析前言4整理課件C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)的選擇潔淨室MAU+RCU系統(tǒng)流程圖

潔淨室MAU+FFU系統(tǒng)流程圖

5整理課件C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)的選擇潔淨室MAU+軸流風(fēng)扇系統(tǒng)流程圖

潔淨室純RCU系統(tǒng)流程圖

6整理課件C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)的選擇潔淨室局部RCU+小型冷風(fēng)機系統(tǒng)流程圖7整理課件潔淨室節(jié)能最正確化的設(shè)計原則潔淨室最正確化設(shè)計包含系統(tǒng)節(jié)能的設(shè)計,一個節(jié)能化的潔淨室設(shè)計雖然有些會增加初設(shè)本錢的支出,但總體而言,經(jīng)過了二、三年運轉(zhuǎn)後其減少的電費,往往可大於當初初設(shè)本錢的費用;其潔淨室的節(jié)約能源技術(shù)主要項目約分為十八類:(一)、冰水主機系統(tǒng)(二)、冰水系統(tǒng)(三)、冷卻水系統(tǒng)(四)、外氣空調(diào)箱(五)、排氣系統(tǒng)(六)、照明系統(tǒng)(七)、電力系統(tǒng)(八)、儲冰系統(tǒng)(九)、吸收式冰水主機(十)、C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)(十一)、微環(huán)境系統(tǒng)(十二)、終級過濾器最省能配置(十三)、MAU出風(fēng)口位置選擇(十四)、檢討排氣系統(tǒng)洩漏旁通問題(十五)、空調(diào)箱再熱(十六)、外氣引進控制(十七)、空調(diào)負荷確定(十八)、人員、設(shè)備操作維護之管理8整理課件潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)最正確化的設(shè)計原則潔淨C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng)系統(tǒng)以最正確化設(shè)計評估比較如下:(MAU/FFU系統(tǒng)及RAU/DUCT系統(tǒng)比較〕(一)、裝修工程。(二)、空調(diào)系統(tǒng)。(二)、空調(diào)電力系統(tǒng)。(三)、控制系統(tǒng)。(四)、材料及工資本錢的分析比較。9整理課件AHU/DUCT系統(tǒng):使用此系統(tǒng)的天花板為單層PU天花板,不考慮使用維修空間,所以其C/R的淨高度較低。FFU/DCC系統(tǒng):為考量FFU安裝及日後的維修空間及循環(huán)風(fēng)道,於C/RCEILINGT-GRID上層PU天花板最好能保持1.5M的高度,此一空間稱為PLENUM。為考量DCC的面積及FFU的壓損問題,所以回風(fēng)牆的尺寸不能太窄,進而造成庫板的使用量增加。潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):裝修工程10整理課件AHU/DUCT系統(tǒng):因外氣及循環(huán)風(fēng)量為同一系統(tǒng)的風(fēng)管,為維持C/R之精確正壓較不易穫得,所在不同等級的無塵裡所要建立不同的靜壓的壓差控制較為不易。因空調(diào)做外氣的降溫除濕使用的一次冰水為7/2℃。FFU/DCC系統(tǒng):因外氣為單一入口,假設(shè)採用電動風(fēng)門配合室內(nèi)靜壓傳器或以風(fēng)車變頻控制,較易穫得良好的靜壓控制。此一系統(tǒng)的空調(diào)機械設(shè)備之冰水供應(yīng)須考慮到MAU及C/R之DCC兩項設(shè)備,DCC針對C/R所產(chǎn)生的顯熱荷負之去除,使用二次冰水13/18℃。潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):空調(diào)工程11整理課件AHU/DUCT系統(tǒng):HEPA-BOX:採多褶高風(fēng)量型,每片於額定壓損其風(fēng)量為2000CMH,初始的建置本錢便可以大大的降低。風(fēng)量調(diào)整設(shè)備:為調(diào)整個別區(qū)間的風(fēng)量,及考慮個別HEPA-BOX需要維修時,須於個別HEPA-BOX的入口端安裝風(fēng)門,及於回風(fēng)牆入口端安裝可調(diào)風(fēng)量型的格柵。FFU/DCC系統(tǒng):同一潔淨室內(nèi)可以分為多區(qū)不同的製程條件下使用,大大的增加其使用調(diào)整的靈活度及風(fēng)險管理。目前市面上風(fēng)車機外靜壓皆在10mmaq左右,而外表出風(fēng)速為0.35~0.4m/s之間的風(fēng)量約在1000CMH,因此其初始建置本錢較大。潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):空調(diào)工程12整理課件FFU/DCC系統(tǒng):乾式盤管搭配個別區(qū)間的FFU做為C/R內(nèi)顯熱交換的運轉(zhuǎn)模式,此項設(shè)備視必會大大的增加其初始建置本錢。DCC泵浦相較於AHU/DUCT系統(tǒng)乃是一額外的設(shè)備,它是DCC做熱交換其介質(zhì)的動力來源。考量個別區(qū)間不同二次冰水的流量及管路系統(tǒng)的水量平衡,須於DCC側(cè)安裝三通閥的方式或採用二通閥及於DCC泵的進出水端安裝一BYPASS管路及二通閥,並於PUMP之進出水端安裝一壓差感測器的施作方式,以做為水量平衡之用。潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):空調(diào)工程13整理課件AHU/DUCT系統(tǒng):此一系統(tǒng)之主要用電需求設(shè)備,就是AHU內(nèi)的風(fēng)車、電熱器、加濕器,因為C/R內(nèi)之循環(huán)風(fēng)量及外氣風(fēng)量的動力主要來源皆來自單一風(fēng)車,因此其規(guī)格就相對大得多。FFU/DCC系統(tǒng):此一系統(tǒng)MAU內(nèi)的風(fēng)車,就只是提供室內(nèi)新鮮空氣換氣及維持適當?shù)恼龎核璧娘L(fēng)量,因此其風(fēng)車的規(guī)格較小,所以其電力設(shè)備容量相對較小。由於增加FFU做為C/R內(nèi)循環(huán)風(fēng)量的動力來源,因此勢必依FFU個區(qū)之電力迴路增設(shè)電力迴路控制盤及電力盤至

FFU設(shè)備的二次側(cè)管線系統(tǒng)。潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):空調(diào)工程14整理課件FFU及AHU材料本錢比較表潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):運轉(zhuǎn)本錢FFU/DCC系統(tǒng)風(fēng)管工程建置本錢較低。AHU/DUCT系統(tǒng)其他工程可以減少建置本錢。假設(shè)使用FFU系統(tǒng)其初始建置本錢是AHU系統(tǒng)的1.53倍。循環(huán)風(fēng)量:112,835CMH

,外氣換氣風(fēng)量5,215CMH

15整理課件FFU及AHU運轉(zhuǎn)本錢比較表潔淨室節(jié)能C/R內(nèi)循環(huán)送風(fēng):材料本錢FFU/DCC系統(tǒng)動力較AHU/DUCT系統(tǒng)減少3.7kw(11.5%)FFU/DDC系統(tǒng)年運轉(zhuǎn)減少秏電量40,515kwh,節(jié)省電費用

81,030元。循環(huán)風(fēng)量:112,835CMH

,外氣換氣風(fēng)量5,215CMH

16整理課件結(jié)論AHU/DUCT系統(tǒng)假設(shè)考量設(shè)備故障及維修而中斷的風(fēng)險,就必需增設(shè)兩臺AHU做為BACK-UP,因此所增加的本錢,與FFU/DCC系統(tǒng)就只差1.25倍。FFU/DCC系統(tǒng)適合使用於同一潔淨室內(nèi)不同等級的製程條件下被靈活使用,然而AHU/DUCT系統(tǒng)適合被使用在單一製程條件下之潔淨室。AHU/DUC

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