《化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體》

1YS/TXXXX-XXXX化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體本文件規(guī)定了化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的牌號及分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于化學(xué)氣相沉積法（CVD）制備的硫化鋅晶體（包括標(biāo)準(zhǔn)硫化鋅和多光譜硫化鋅），透過波長范圍為1μm～14μm。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志GB/T2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分：按接收質(zhì)量限（AQL）檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃GB/T6040紅外光譜分析方法通則GB/T6569精細(xì)陶瓷彎曲強(qiáng)度試驗(yàn)方法JC/T185光學(xué)石英玻璃3術(shù)語和定義本文件中沒有需要界定的術(shù)語和定義。4牌號及分類4.1牌號化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的表示方法為：CVD-□-ZnS表示硫化鋅等級，M表示多光譜硫化鋅，S表示標(biāo)準(zhǔn)硫化鋅CVD表示化學(xué)氣相沉積法4.2分類化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體按透射性能分為標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅和多光譜CVD硫化鋅。5技術(shù)要求2YS/TXXXX-XXXX5.1光學(xué)性能5.1.1透過率5.1.1.1溫度為（20～25）℃時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅在8μm～10μm光譜范圍內(nèi)的透過率不小于70%；在2μm～10μm光譜范圍內(nèi)的透過率曲線除了6μm附近有吸收峰，不應(yīng)存在其他吸收峰。標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅透過率曲線見圖1。圖1標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅透過率曲線5.1.1.2溫度為（20～25）℃時(shí)，多光譜CVD硫化鋅在1064nm處的透過率不小于70%，透過率曲線見圖2。在3μm～5μm光譜范圍內(nèi)的透過率不小于69%，且透過率曲線平滑無吸收峰；在8μm～10μm光譜范圍內(nèi)的透過率不小于70%。多光譜CVD硫化鋅透過率曲線見圖3。圖21064nm處多光譜CVD硫化鋅透過率曲線3YS/TXXXX-XXXX圖3（3～5）μm及（8～10）μm處多光譜CVD硫化鋅透過率曲線5.1.2折射率溫度為20℃~25℃時(shí)化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的折射率應(yīng)符合表1的規(guī)定。5.1.3折射率不均勻性多光譜CVD硫化鋅的折射率不均勻性（波長0.6328μm處）應(yīng)小于4×10-5。5.2彎曲強(qiáng)度5.2.1標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅的彎曲強(qiáng)度應(yīng)大于100MPa。5.2.2多光譜CVD硫化鋅的彎曲強(qiáng)度應(yīng)大于70MPa。5.3尺寸及允許偏差4YS/TXXXX-XXXX化學(xué)氣相沉積硫化鋅的尺寸及允許偏差應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2尺寸及允許偏差直徑或最長邊（d）厚度(t)5.4外觀質(zhì)量化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的棱角、邊緣和全部表面不應(yīng)有后續(xù)加工難以除去的缺口、缺角、裂紋和空洞，且缺口、缺角、裂紋尺寸不應(yīng)超過2mm。拋光后的標(biāo)準(zhǔn)CVD硫化鋅呈淡黃色或桔黃色，拋光后的多光譜CVD硫化鋅呈無色透明。5.5其他如對化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商確定，并在訂貨單（或合同）中注明。6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體透過率的檢驗(yàn)按GB/T6040的規(guī)定進(jìn)行。6.2化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體折射率的檢驗(yàn)按附錄A的規(guī)定進(jìn)行。6.3化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體折射率不均勻性的檢驗(yàn)按JC/T185的規(guī)定進(jìn)行。6.4化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體彎曲強(qiáng)度的檢驗(yàn)按GB/T6569的規(guī)定進(jìn)行。6.5化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的尺寸及允許偏差的測量用精度為0.01mm的量具進(jìn)行。6.6化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體外觀質(zhì)量用目視檢驗(yàn)。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)督部門或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件和訂貨單（或合同）的規(guī)定，并填寫產(chǎn)品質(zhì)量證明書。7.1.2需方可對收到的產(chǎn)品進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件及訂貨單（或合同）的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起3個(gè)月內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。7.2組批化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體應(yīng)成批提交驗(yàn)收，每批應(yīng)由同一爐次或同一生產(chǎn)周期的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣5YS/TXXXX-XXXX7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.4.1化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的透過率、折射率、折射率不均勻性、彎曲強(qiáng)度的檢驗(yàn)結(jié)果中有任意一項(xiàng)不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。7.4.2化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的尺寸及允許偏差檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，允許對該批產(chǎn)品進(jìn)行逐件檢驗(yàn)，合格者重新組批驗(yàn)收。7.4.3化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體的外觀質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判該件產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件8.1標(biāo)志8.1.1在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品外包裝袋上張貼標(biāo)簽，其上注明：a)產(chǎn)品名稱；b)產(chǎn)品批號；c)產(chǎn)品數(shù)量或凈重;d)其他。8.1.2產(chǎn)品應(yīng)成箱包裝，每箱外側(cè)應(yīng)注明：a)供方名稱、商標(biāo)；b)需方名稱；c)產(chǎn)品名稱；d)批號；e)件數(shù)；f)出廠日期g)其他。8.2包裝化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體應(yīng)裝在潔凈塑料袋中，密封后再用防震材料嚴(yán)密包裹，連同隨行文件裝入紙箱中，用填充材料充實(shí)，防止其相互碰撞。箱重不大于10kg。單件CVD硫化鋅重量大于5kg時(shí)，單件包裝。8.3運(yùn)輸和貯存8.3.1化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體在運(yùn)輸過程中應(yīng)輕拿輕放，避免強(qiáng)烈震動、碰撞、擠壓和受潮。8.3.2化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體應(yīng)貯存在干燥、潔凈無腐蝕的環(huán)境中。6YS/TXXXX-XXXX8.4隨行文件每批化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體應(yīng)附有隨行文件，其上注明：a)供方名稱；b)產(chǎn)品名稱；c)產(chǎn)品批號；d)產(chǎn)品數(shù)量；e)各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)檢驗(yàn)結(jié)果；f）技術(shù)監(jiān)督部門印記；g)本規(guī)范編號；h)出廠日期或包裝日期。9訂貨單內(nèi)容需方可根據(jù)自身的需要，在訂購本文件所列產(chǎn)品的訂貨單內(nèi)，列出以下內(nèi)容：a）產(chǎn)品名稱；b）產(chǎn)品技術(shù)要求；c）產(chǎn)品數(shù)量；d）本文件編號；e）本文件中要求在訂貨單中注明的內(nèi)容；f）其他。7YS/TXXXX-XXXX附錄A(規(guī)范性附錄)化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體折射率測試方法本方法采用任意偏向角法測定化學(xué)氣相沉積硫化鋅晶體材料的紅外折射率。A.2測試原理光線在兩種媒質(zhì)光滑分界面上折射時(shí)遵守折射定律，測量原理圖見圖A.1。圖A.1折射率測量原理圖折射率按公式（A.1）進(jìn)行計(jì)算：n=(sin2φ+2sinφcosAsini+sin2i)12……(A.1)式中：n——折射率；A——棱鏡頂角，單位為度(°);i——入射角，單位為度(°);Φ——折射角，單位為度(°)。入射角（i）和折射角(Φ)分別由式（A.2）和(A.3)計(jì)算：S1)………………(A.2)φ=S20.5(S3+S1)(90。A)………………(A.3)式中：S1——反射方向?qū)?yīng)角度，單位為度(°);S2——折射方向?qū)?yīng)角度，單位為度(°);S3——入射方向?qū)?yīng)角度，單位為度(°)。8YS/TXXXX-XXXXA.3儀器設(shè)備A.3.1測試儀器由單色光源系統(tǒng)、準(zhǔn)直光源系統(tǒng)、精密測角系統(tǒng)、光電瞄準(zhǔn)系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)等五部分組成，原理如圖A.2所示。A.3.2光源為碳化硅紅外光源，采用單色儀進(jìn)行分光，實(shí)現(xiàn)1μm～12μm的連續(xù)紅外單色光輸出。A.3.3準(zhǔn)直光源系統(tǒng)能提供平行光。A.3.4精密測角系統(tǒng)，由精密測角儀構(gòu)成，測角精度應(yīng)不小于：0.5"。A.3.5光電瞄準(zhǔn)系統(tǒng)包括聚焦光學(xué)系統(tǒng)和光電探測器，光電探測器采用硫化鉛和熱釋電探測器。標(biāo)引序號說明：2——碳化硅紅外光源；3——振蕩狹縫；4——單色儀；5——探測器；6——聚焦離軸拋物鏡；7——平面反射鏡；8——鎖相放大器；9——計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)；11——被測樣塊；12——平面反射鏡；13——準(zhǔn)直離軸拋物鏡。圖A.2折射率測試儀原理A.4樣品樣品工作面尺寸應(yīng)不小于30mm×30mm，頂角為20°±2°,加工時(shí)，圖A.1中AB面及AC面均需研磨拋光，表面疵病IV級，表面平整度不低于λ/4，側(cè)垂90°±15"。A.5試驗(yàn)步驟9YS/TXXXX-XXXXA.5.1采用自準(zhǔn)直平行光管，在精度為±0.3"的精密測角儀上測量樣品的頂角（A）。A.5.2將樣品固定于測角儀樣品臺上。A.5.3調(diào)整測角儀樣品臺，使樣品的工作面平行于測角儀旋轉(zhuǎn)軸。A.5.4根據(jù)測試要求選擇單色儀工作波長。A.5.5轉(zhuǎn)動測角儀，帶動光電瞄準(zhǔn)系統(tǒng)分別測量得到反射方向、入射方向和折射方向?qū)?yīng)的角度值。A.5.6記錄計(jì)算機(jī)自動給出的折射率值。A.5.7重復(fù)A.5.5至A.5.6。A.5.8在相同的測試條件下，共測試三次取平均值作為樣品折射率（n）。A.6試驗(yàn)數(shù)據(jù)處理A.6.1記錄測量時(shí)的溫度T，用公式（A.4）進(jìn)行溫度修正：=0.00007x(T0Ts)……………………(A.4)式中：ΔnT——折射率溫度修正值；T0——環(huán)境溫度，單位為攝氏度(℃);Ts——樣品實(shí)際溫度，單位為攝氏度(℃)。A.6.2記錄測試時(shí)的氣壓P，用公式（A.5）ps式中：Δnp——折射率氣壓修正值；進(jìn)行氣壓修正：x0.000293xP1P0…………………ns——折射率測量值；P1——測量時(shí)