平面子孔徑拼接的干涉測量研究的開題報告

平面子孔徑拼接的干涉測量研究的開題報告開題報告題目：平面子孔徑拼接的干涉測量研究一、研究背景及意義隨著現(xiàn)代技術(shù)的不斷發(fā)展，干涉測量在工程領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用，如光學(xué)工程、電子制造、機(jī)械加工等諸多領(lǐng)域。在干涉測量中，隨著精度的提高和測量誤差的降低，對于被測物體表面的精度和幾何特征的要求也在不斷提高。在實際生產(chǎn)中，為了滿足工件表面測量精度的要求，往往需要使用具有夠大孔徑的干涉儀進(jìn)行測量。但是，對于一些大型工件，使用單個大孔徑的干涉儀進(jìn)行測量存在一些困難，如成本較高、操作復(fù)雜等問題。此時，通過將多個小孔徑干涉儀進(jìn)行拼接，可以達(dá)到與單個大孔徑干涉儀相同的測量精度，降低成本和提高操作便利性。因此，本課題旨在研究利用平面子孔徑拼接的干涉儀實現(xiàn)工件表面的高精度測量，并尋求一種實用的技術(shù)方案和方法，對于提高工件表面精度和幾何特征的測量具有一定的參考意義和實際應(yīng)用價值。二、研究內(nèi)容1.調(diào)研拼接干涉儀的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀，了解拼接干涉儀的原理、特點及優(yōu)缺點。2.設(shè)計一種基于平面子孔徑拼接的干涉儀方案，包括光路設(shè)計、系統(tǒng)構(gòu)造、控制系統(tǒng)等。3.建立干涉儀測量模型，進(jìn)行系統(tǒng)誤差分析，確定測量精度及影響因素。4.進(jìn)行實驗驗證，分析拼接干涉儀與單個大孔徑干涉儀的測量精度和幾何特征差異。5.針對實驗結(jié)果進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析，優(yōu)化干涉儀參數(shù)，提高系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性。三、研究保障和技術(shù)路線1.實驗室：母機(jī)器人導(dǎo)航實驗室。2.實驗設(shè)備：平面子孔徑干涉儀、激光器、光學(xué)元件、控制系統(tǒng)等。3.技術(shù)路線：干涉儀的光路設(shè)計及實驗驗證，數(shù)據(jù)處理和分析。四、預(yù)期成果和創(chuàng)新點1.成功設(shè)計一種基于平面子孔徑拼接的干涉儀，實現(xiàn)對工件表面高精度測量，并且與單個大孔徑干涉儀相比，具有更低的成本和更高的操作便利性。2.建立了干涉儀測量模型，進(jìn)行系統(tǒng)誤差分析，確定了測量精度和影響因素。3.實驗驗證結(jié)果表明，平面子孔徑拼接的干涉儀與單個大孔徑干涉儀具有相同的測量精度和幾何特征，但成本更低，操作更便利。4.論文發(fā)表，獲得國家級和省級科技獎項。五、論文結(jié)構(gòu)及進(jìn)度安排1.緒論：研究背景、意義及國內(nèi)外研究現(xiàn)狀。2.干涉儀方案設(shè)計：光路設(shè)計、系統(tǒng)構(gòu)造、控制系統(tǒng)等。3.干涉儀誤差分析：建立干涉儀測量模型，進(jìn)行系統(tǒng)誤差分析，確定測量精度和影響因素。4.實驗驗證：進(jìn)行實驗驗證，分析拼接干涉儀與單個大孔徑干涉儀的測量精度和幾何特征差異。5.數(shù)據(jù)處理和分析：針對實驗結(jié)果進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析，優(yōu)化干涉儀參數(shù)，提高系統(tǒng)精度和穩(wěn)定性。6.結(jié)論與展望：總結(jié)研究成果，提出進(jìn)一步研究展望。7.進(jìn)度安排：2019年12月-2020年3月：確定研究方向、調(diào)研前沿研究現(xiàn)狀、撰寫開題報告。2020年4月-2020年8月：干涉儀方案的設(shè)計和制作、測量模型的建立。20