杭州士蘭集昕微電子有限公司硅基氮化鎵（GaN）HEMT結(jié)構(gòu)電力電子芯片技術(shù)改造項目環(huán)境影響報告

1 16 64 79 105 107 108 142 1781 /0表1-1項目專項評價設(shè)置情況一覽表界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保本項目排放氯氣且廠界外最近距離約85m處有居住區(qū)天是本項目廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后否有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存本項目有毒有害和易燃易爆是2取水口下游500米范圍內(nèi)有重要越冬場和洄游通道的新增河道取本項目所在地取水口下游500m范圍無內(nèi)重要水生生物否直接向海排放污染物的海洋工程本項目不涉及直接向海洋排否以浙特鎮(zhèn)辦[2018]19號文件公布了浙江省省級特色小鎮(zhèn)第四批創(chuàng)建3局中的“集成電路產(chǎn)業(yè)區(qū)”，用地性質(zhì)為工業(yè)用地。本項目主要生2、《杭州大創(chuàng)小鎮(zhèn)綜合發(fā)展規(guī)劃環(huán)境影響報告書》符合性分析4表1-2項目所在區(qū)塊生態(tài)空間管控要求類別生產(chǎn)空間表1-3項目所在區(qū)塊環(huán)境準(zhǔn)入條件清單區(qū)涉及化學(xué)反應(yīng)電子專用材料量高于杭州市上年度平均指標(biāo)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與產(chǎn)/////根據(jù)《杭州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》5析1、《杭州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》符合性判定根據(jù)《杭州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》表1-4管控單元生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單符合性一覽表嚴(yán)格實施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境//62、《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機物綜合治理方案》符合性分析本項目與《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機物綜合治理方案優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。引導(dǎo)石化、化工、工業(yè)涂裝、包裝印刷、合成革、化纖、紡織印染等重點行業(yè)合理布噴?。┑刃袠I(yè)綠色準(zhǔn)入指導(dǎo)意見。嚴(yán)格執(zhí)行建設(shè)項目新增VOCs排放量區(qū)上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對石化等行業(yè)的建設(shè)項目VOCs排放量實行等量削環(huán)境空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對石化等行業(yè)的建設(shè)項目在區(qū)域2021位環(huán)境空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo)區(qū)，新增全面提升生產(chǎn)工藝綠色化水平。石化、化工等行業(yè)應(yīng)采用原輔材料利用率高、廢棄物產(chǎn)生量少的工藝，提升生產(chǎn)裝備水平，采用密閉化、連續(xù)化、自動化、管道化等生產(chǎn)技術(shù)，鼓勵工藝裝置采力流布置，推廣采用油品在線調(diào)和技術(shù)、密閉式循環(huán)水冷卻系統(tǒng)等。工業(yè)涂裝行業(yè)重點推進(jìn)使用式涂裝工藝，推廣采用輥涂、靜電噴涂、高壓無氣噴涂、空氣輔助無氣噴涂、熱噴涂、超臨界二碳噴涂等技術(shù)，鼓勵企業(yè)采用自動化、智能化噴涂設(shè)備替代人工噴涂，減少使用印刷行業(yè)推廣使用無溶劑復(fù)合、共擠出復(fù)合技術(shù)，鼓勵采用水性凹印、醇水凹印、輻射固化凹印版印刷、無水膠印等印刷工藝。鼓勵生產(chǎn)工藝裝備落后、在既有基礎(chǔ)上整改困難的企業(yè)推倒重建選用粉末涂料、水性涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料等環(huán)境友好型涂料溶劑型涂料。工業(yè)涂裝企業(yè)所使用的水性涂料、溶劑型涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料應(yīng)符合《低揮發(fā)性有機化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求》規(guī)定的VOCs含量限值要求，并建立臺賬，7大力推進(jìn)低VOCs含量原輔材料的源頭替代。全面排查使用溶劑型工業(yè)涂料、油墨替代溶劑型原輔材料的項目。加快低VOCs含量原輔材料研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用，在更多技嚴(yán)格控制無組織排放。在保證安全前提下，加強含VOCs物料全方位、全鏈條、全環(huán)好VOCs物料儲存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等無組織排放位置控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。對VOCs物料儲罐非正常工況VOCs排放；確實不能調(diào)整的，應(yīng)加強清洗、退建設(shè)適宜高效的治理設(shè)施。企業(yè)新建治理設(shè)施或?qū)ΜF(xiàn)有治理設(shè)施實施改造，應(yīng)結(jié)合排放征、生產(chǎn)工況等合理選擇治理技術(shù)，對治理難度大、單一治理工藝難以穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的，要采用多種加強治理設(shè)施運行管理。按照治理設(shè)施較生理工藝要求，在治理設(shè)施達(dá)到正常運行條件后方可啟動生 修完畢后投入使用；因安全等因素生產(chǎn)設(shè)備不能停止或不能及時停止運行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)理完畢后，方可停運治理設(shè)施。VOCs8排放的旁路。因安全等因素確須保留的，企業(yè)應(yīng)將保留的應(yīng)急旁路報當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門。應(yīng)急旁非緊急情況下保持關(guān)閉，并通過鉛封、安裝監(jiān)控（如流量、溫度、壓差、閥門開度、視頻等）設(shè)入負(fù)面清單（2022年版）》，項目不在市），94、“三線一單”符合性分析“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》和《浙江）＞6、產(chǎn)品排水量相關(guān)符合性分析表1-6單位產(chǎn)品基準(zhǔn)排水量要求單位產(chǎn)品排水量符合《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB7、“四性五不批”符合性分析表1-7建設(shè)項目環(huán)境保護(hù)管理條例重點要求（四性五不批）符合性分析四性性五不批規(guī)模等不符合環(huán)境保護(hù)法律法所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量未達(dá)到國家項目擬采取的措施不能滿足區(qū)建設(shè)項目采取的污染防治措施無法確保污染物排放達(dá)到國家針對項目原有環(huán)境污染和生態(tài)境影響報告表的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)息產(chǎn)業(yè)部電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金管理辦公室“VDMOS工藝技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括LPCVD和CVD等。本項目選用的LPCVD和本工程使用水冷離心式空壓機和變頻螺桿式空壓機用于設(shè)備氣動以及吹本工程車間使用LED照明燈，屬于片、數(shù)字集群（PDT）、數(shù)字對講機、數(shù)字電視機頂盒等表1-8項目能耗指標(biāo)一覽表1電2水////切實貫徹落實各項清潔生產(chǎn)措施，保障清潔生建設(shè)內(nèi)容電子芯片的生產(chǎn)能力。該項目已由錢塘區(qū)行政審批局進(jìn)行備案（項目代碼：2012-），表2-1項目評價類別判定表//表2-2項目主要建設(shè)內(nèi)容一覽表），/所有物料按照屬性均共同存放在現(xiàn)有化學(xué)品倉庫內(nèi)，本次擴(kuò)建項目物料消耗站現(xiàn)有純水系統(tǒng)處理能力為200m3/h，在建12英寸項目純水系統(tǒng)處理能力為180m3/h/11表2-4項目實施后全廠產(chǎn)品規(guī)模10203MEMS傳感器芯片040115片060701表2-5項目主要新增設(shè)備112331425161718191建設(shè)內(nèi)容表2-6項目主要原輔材料消耗序號123456789建設(shè)內(nèi)容2.1.6勞動定員及生產(chǎn)時間廠區(qū)主要道路和東側(cè)杭州士蘭集成電路有限公司相通、并共用杭州士蘭集成電路集后進(jìn)入“干式吸附”POU；小部分不參與反應(yīng)，以抽真空進(jìn)入進(jìn)入用電加熱燃燒，燃燒溫度不低于700℃),經(jīng)POU裝置處理后再進(jìn)入堿性廢氣洗滌塔建設(shè)內(nèi)容④薄膜沉積：項目沉積時，采用硅烷與笑氣反應(yīng)生成二氧化硅淀積在器件表面，未參與反應(yīng)部分的笑氣與其他反應(yīng)生成物）；表2-7揮發(fā)性有機物平衡表工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)面的金屬離子和自然氧化層等。本項目采用槽式清洗，硅片先按各自的要求放入各種工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)清洗槽芯片移動清洗水回收系統(tǒng)廢水處理系統(tǒng)后段清洗排水廢液收集系統(tǒng)前段清洗排水廢液收集系統(tǒng)硅酸乙酯、WF6等并將腔體控制在特定壓力下，溫度約設(shè)金屬鎢沉積過程是六氟化鎢與氫氣反應(yīng)生成金屬鎢沉積層，其化學(xué)反應(yīng)方程式（4）曝光后烘烤：曝光后的芯片采用熱板烘烤法烘烤約1~2min，烘焙溫度為90~130℃,從而減少光刻膠中溶劑的含量及爆光區(qū)與非爆光區(qū)的邊界變得比較均勻。圖2-13二氧化硅/氮化硅干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-15氮化鎵/金屬鋁干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖干法去膠的原理是通過氧原子和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻表2-8項目主要污染工序及污染因子匯總2.4.1現(xiàn)有工程履行環(huán)境影響評價、竣工環(huán)境保護(hù)驗收、排污許可手續(xù)等情況表2-9現(xiàn)有工程環(huán)評審批、驗收、排污許可手續(xù)等情況現(xiàn)有工程產(chǎn)品及產(chǎn)能情況表2-10現(xiàn)有工程產(chǎn)品及產(chǎn)能情況/年）2022年實際產(chǎn)能1片/2/3MEMS傳感器芯片/405060主要設(shè)備配置情況），表2-11現(xiàn)有工程主要生產(chǎn)設(shè)備配置情況102330304052206660744086609550077033005500000550006601100001100990006602202201101102202201102202202200330220440440220110/表2-12項目主要新增設(shè)備1523944556738932435174884418116111213222現(xiàn)有工程原輔材料消耗情況表2-13現(xiàn)有工程原輔材料消耗情況表123456789表2-14年產(chǎn)36萬片12英寸芯片生產(chǎn)線物料消耗123456789現(xiàn)有工程污染防治措施落實情況表2-15現(xiàn)有工程污染防治措施落實情況一覽表廢氣的風(fēng)機風(fēng)量不變（均為變頻風(fēng)“一進(jìn)一出”1套（DA003）。設(shè)置一套沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒系統(tǒng)處理有機廢氣，風(fēng)量廢水進(jìn)入酸堿廢水中和處理系統(tǒng)處理達(dá)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》業(yè)酸堿廢水中和處理系統(tǒng)廢水收集后經(jīng)該處理系統(tǒng)處理后送至酸堿廢水中和處理系統(tǒng)進(jìn)現(xiàn)有廢水處理站含氟廢水處理水處理廠處理達(dá)《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》經(jīng)該系統(tǒng)預(yù)處理后送至酸堿廢水中和處理系統(tǒng)進(jìn)一步處理24.7t/h，現(xiàn)有廢水處理站研磨廢水處理系統(tǒng)完全能容納該部分程中產(chǎn)生的較為清潔的后段清洗廢水收集后進(jìn)入該系統(tǒng)進(jìn)中產(chǎn)生的較為清潔的后段清洗廢水收集后進(jìn)入該系統(tǒng)進(jìn)行統(tǒng)系統(tǒng)可完全接納企業(yè)產(chǎn)生的固廢廢水處理產(chǎn)生的污泥委托杭州立佳環(huán)境服務(wù)有限公司清運2022年度產(chǎn)生的高濃度含氨廢險廢物委托有資質(zhì)的危廢處理pH準(zhǔn)GB8978-/表2-172022年廢水總排口污染物在線監(jiān)測情況注：氨氮執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-表2-182022年三季度廢水總排口污染物例行監(jiān)測情況稱GB8978-/注：氨氮和總磷指標(biāo)執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2境保護(hù)驗收監(jiān)測報告表》（2022.7）中的相關(guān)數(shù)據(jù)，現(xiàn)有項目有組織廢氣排放監(jiān)測情表2-19酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（1）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-20酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（2）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-21酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（3）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/hkg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h/kg/h表2-22酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（4）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/hkg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h/kg/h表2-23酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（5）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-24酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（6）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-25堿性廢氣排放監(jiān)測結(jié)果一覽表（1）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9/kg/h表2-26堿性廢氣排放監(jiān)測結(jié)果一覽表（2）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9/kg/h表2-27RTO裝置有機廢氣排放監(jiān)測結(jié)果一覽表（1）1//2/3%4m5℃67量8N.d.m3/h9/kg/h/表2-28RTO凈化裝置有機廢氣排放監(jiān)測結(jié)果一覽表（2）1//2/3%4m5℃67量8N.d.m3/h9/kg/h/表2-29無組織廢氣監(jiān)測結(jié)果一覽表ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333表2-30廠界噪聲監(jiān)測情況一覽表況廠區(qū)廢水經(jīng)處理達(dá)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978-1996）三級標(biāo)準(zhǔn)后納入表2-31現(xiàn)有工程廢水實際排放情況/////5表》（2022.7）中的廢氣監(jiān)測報告以及監(jiān)測時的工況，計算得到現(xiàn)有工程廢氣實際排表2-32現(xiàn)有工程廢氣實際排放情況1234氨567廢靶材、廢棄的電子元件及生活垃圾等。固廢產(chǎn)表2-33現(xiàn)有工程固廢產(chǎn)生及處置情況序號1裝廢/2廢/3等廢4廢5廢6影廢7裝裝廢8廢9廢等廢/廢//廢/廢/廢液暫存在廠區(qū)內(nèi)，待與相關(guān)危廢處置單位簽訂協(xié)議后，盡表2-34年產(chǎn)36萬片12英寸芯片生產(chǎn)線項目污染物產(chǎn)排情況00000劑000000000000000主要污染物排放情況匯總表2-35主要污染物排放情況匯總///////表2-36企業(yè)固廢產(chǎn)生情況匯總表序號1/2/34液56789/0000///），污染因子應(yīng)包括非甲烷總烴，監(jiān)測內(nèi)容應(yīng)包括廢氣排放區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀區(qū)，環(huán)境空氣質(zhì)量執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（G表3-1環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)ug/m3NO24ug/m3NOX7氨ug/m3氯），1pH7283945砷6銅項目所在區(qū)域不采用地下水作為日常飲水，也不采用地下水作為農(nóng)業(yè)和工業(yè)用《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2011pHpH>9.0234567891砷2鎘34銅5鉛6汞87鎳89953956155575苯142-氯酚?萘為了解項目所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量達(dá)標(biāo)情況，本次評價收集了浙江政服務(wù)網(wǎng)發(fā)布的2022年杭州市區(qū)主要污染物為O3，日最大8小時平均濃度第90百分位數(shù)方生態(tài)環(huán)境主管部門公開發(fā)布的評價基準(zhǔn)年環(huán)境質(zhì)量公告或環(huán)境質(zhì)量報告中的數(shù)據(jù)根據(jù)《杭州市人民政府辦公廳關(guān)于印發(fā)杭州市大氣環(huán)境質(zhì)量限期達(dá)標(biāo)規(guī)劃的通），據(jù)。本章節(jié)僅給出補充監(jiān)測評價結(jié)果，具體監(jiān)測方案、GB3095-影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》（HJ2.2-2018）附錄D“污染物空氣質(zhì)量濃度參考限水質(zhì)達(dá)標(biāo)率均為100%，全市跨行政區(qū)域河流交接斷面達(dá)標(biāo)率和優(yōu)于Ⅲ類比例均為總氮為1.672.3mg/L，優(yōu)于考核目標(biāo)要求(Ⅲ類）。表3-6地表水水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測方案口NWNE表3-7地表水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測評價結(jié)果一覽表水溫(℃)/表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）中的Ⅳ類水標(biāo)準(zhǔn)。表3-8聲環(huán)境現(xiàn)狀監(jiān)測結(jié)果環(huán)境保護(hù)目標(biāo)），表3-9項目主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)一覽表區(qū)經(jīng)度(°)緯度(°)大氣環(huán)境寓NW寓ENEEENWNWNWNWNENENW學(xué)NW院NW院NW院NNE院NENENENENENWNWNE團(tuán)NENENWNW//地表水WNS項目建設(shè)場地不涉及生活供水水源地準(zhǔn)保護(hù)區(qū)、生活供水水源3.3.1廢氣氨94廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放監(jiān)控點濃度應(yīng)符合《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)表3-12廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放限值NMHC63.3.2廢水七格污水處理廠處理后排入環(huán)境。企業(yè)現(xiàn)有廢水排放執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》表3-13水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)1pH口2345/67/889杭州市七格污水處理廠出水水質(zhì)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》NH3-N5（8）*3一般固體廢棄物按《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB18599-）；固體廢物貯存、處置場環(huán)境保護(hù)圖形標(biāo)志應(yīng)嚴(yán)格總量控制指標(biāo)3.4.1總量控制指標(biāo)3.4.2現(xiàn)有總量指標(biāo)3.4.3總量替代分析表3-16擴(kuò)建后全廠主要污染物變化情況“以新帶000NOx00003.4.4總量平衡方案（1）根據(jù)《杭州市建設(shè)項目和排污權(quán)交易總量審核管理暫行規(guī)定》（杭環(huán)發(fā)③生態(tài)環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃及其他相關(guān)規(guī)劃明確主要污染物總量削減替代比例的地（2）根據(jù)《關(guān)于印發(fā)<建設(shè)項目主要污染物排放總量指標(biāo)審核及管理暫行辦法>的通知》（環(huán)發(fā)[2014]197號）文表3-17項目總量平衡方案型例NOx0/0施建施工期；項目施工期主要進(jìn)行設(shè)備安裝，產(chǎn)生的污染很小，基本可忽略，故本環(huán)考慮到施工期間產(chǎn)生的裝飾、包裝垃圾，要求施工方及時清運處理處置。固體廢物的處理、處置應(yīng)滿足《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法因此，本項目設(shè)置大氣專項評價。本小節(jié)僅給無組織氣體產(chǎn)生量較小，企業(yè)落實本環(huán)評的治理措施后，無組織氣體不會對周企業(yè)在落實環(huán)評提出的廢氣防治措施后，各污染物均能達(dá)標(biāo)排放，正常工廢水污染源強分析《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)業(yè)廢水類別、污染物名稱及對應(yīng)可行污染防治措施，但未給出相應(yīng)污染源源強核算進(jìn)行酸堿廢氣的進(jìn)一步處理，因原有項目噴淋塔排水計算時已按設(shè)計最大風(fēng)量、氣），），項目生產(chǎn)過程中酸洗工段主要使用物料為鹽酸/超純其余廢鹽酸混合液與前道（第一、第二級）清洗廢水收集后進(jìn)入廠區(qū)廢水處理系統(tǒng)顯影后需要用超純水進(jìn)行沖洗，該過程產(chǎn)生有機清洗廢水芯片研磨減薄過程是在純水沖洗中進(jìn)行，類比現(xiàn)有項目，研磨過程純水廢水產(chǎn)生及去向情況12345洗678W6POU洗滌塔排水9水總排口→污水處理廠水///產(chǎn)廢水分類收集進(jìn)入污水處理站相應(yīng)的廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。生活污水經(jīng)化糞池處理后進(jìn)入污水管網(wǎng)。經(jīng)處理后的生產(chǎn)廢水和生表4-2項目廢水污染源強匯總表力藝率術(shù)放量是術(shù)規(guī)范理系統(tǒng)濾是6是6應(yīng)是/是表4-3項目廢水間接排放口基本情況表序號1物間接排放限值》（DB33/887-20表4-4本項目廢水污染物排放濃度情況表pH表4-5項目廢水產(chǎn)排情況一覽表/////5表4-6各廢水處理系統(tǒng)設(shè)計處理能力與廢水處理需求匹配情況序號稱目目133水4濾0由上表可知，本項目建成達(dá)產(chǎn)后，全廠各股廢水產(chǎn)生量均小于企業(yè)現(xiàn)有相應(yīng)廢水理站（在建污水處理站作為備用，若現(xiàn)有污水處理系統(tǒng)發(fā)生故障需暫停使用時，則開計算，擴(kuò)建后全廠達(dá)產(chǎn)情況下洗滌塔所需水量為45.45t/h、冷卻塔補充水需求量為表4-7排污單位廢水污染防治推薦可行技術(shù)符合性分析//一、二、三期出水分別通過獨立尾水排放管排入錢塘江，四期工程排放口與二期工程水處理廠出水各主要指標(biāo)均能達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-NH3-N351根據(jù)浙江省污染源自動監(jiān)控信息管理平臺相關(guān)信息，杭州市七格污水處理廠三期成并運行多年，項目廢水水質(zhì)滿足杭州市七格污水處理廠設(shè)計進(jìn)水標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)浙江省在線監(jiān)測數(shù)據(jù)均能穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，且污水處理廠處理能力留有一定的余量。項目廢水平均項目廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理設(shè)施處理后各污染物排放濃度均滿足《污水綜合排放標(biāo)廢水接管后不會對污水處理廠污染負(fù)荷及正常運行產(chǎn)生不利影響；廢水納管排放，對表4-9廢水污染物監(jiān)測計劃/NH3-N本項目所使用的生產(chǎn)設(shè)備屬于精細(xì)設(shè)備，生產(chǎn)設(shè)備的噪聲級較低，且均位于潔凈有設(shè)備，不新增相關(guān)設(shè)備。本項目噪聲污染源源強核算為盡量減少項目噪聲對周邊環(huán)境的影響，項目在運營過程中可采取以下隔聲降噪措施：合理布局生產(chǎn)設(shè)備在車間內(nèi)的位置，與車間墻體保持一定的距離，以降低噪聲本次環(huán)評采用環(huán)安科技公司研發(fā)的噪聲預(yù)測軟件Noi測過程中考慮了幾何發(fā)散、空氣吸收、地面吸收和屏障衰減等的影響。因本項目為擴(kuò)運營期環(huán)境影響和保護(hù)措施表4-10工業(yè)企業(yè)企業(yè)噪聲源強調(diào)查清單（室內(nèi)聲源）序號XYZ/dB(A)1/12/13/14/15/16/17/18/19/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1/1運營期環(huán)境影響和保護(hù)措施），表4-13本項目固體廢物產(chǎn)生量核算表序號1件2法3法4法5法廢6法廢7法890運營期環(huán)境影響和保護(hù)措施表4-14項目固體廢物源強匯總表向/固/裝/固//固//固/裝液運處理液液氨液T液固等有毒有害物質(zhì)存固質(zhì)T固T固T固液固質(zhì)//固/本項目產(chǎn)生的一般工業(yè)固廢主要為一般廢包裝材料、污泥、廢靶材和生活垃圾等。廢包裝材料和廢靶材等一般工業(yè)固廢收集后先進(jìn)行安全分類貯存，出售給相關(guān)企業(yè)綜合利用；污泥產(chǎn)生后袋裝暫存于污水處理站，企業(yè)均委托杭州杭州立佳環(huán)境服務(wù)同時企業(yè)應(yīng)生產(chǎn)過程中實行減少固廢的產(chǎn)生量和危害性、充分合理利用和無害化處置固廢的原則，促進(jìn)清潔生產(chǎn)和循環(huán)經(jīng)濟(jì)發(fā)項目危險廢物處置應(yīng)嚴(yán)格按照《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》（2執(zhí)行，危險廢物按法規(guī)要求應(yīng)委托有資質(zhì)的單位進(jìn)行處理。考慮企業(yè)危險廢物難以保證及時外運處置，企業(yè)應(yīng)設(shè)置有危廢暫存表4-15達(dá)產(chǎn)后全廠危廢產(chǎn)生情況生量（t/a）液////00000其余危險固廢產(chǎn)生后放置在廠房內(nèi)固定的物流通道（位于潔凈車間室內(nèi)，通道已/收集灌必須及時貼上危險廢物標(biāo)簽，必須包含以下說明（危險廢物產(chǎn)生單位名稱、聯(lián)③暫存：若產(chǎn)生的危險廢物不能立即運往處置，則必須暫存于廠區(qū)內(nèi)專用危險廢物貯存設(shè)施內(nèi)。本項目各危廢產(chǎn)生點至危廢堆場之間的轉(zhuǎn)運均在廠區(qū)內(nèi)完成，轉(zhuǎn)運路線上不涉及環(huán)境敏感點。貯存場所四周應(yīng)有以混凝土、磚或經(jīng)防腐處理的鋼材等材料時建有滲濾液收集渠與收集池。貯存設(shè)施內(nèi)應(yīng)留有足夠工作人員和搬運工具的通行過廢物必須分隔堆放，其間隔須為完整的不滲透墻體，同時各自滲濾液收集渠與收集池也必須獨立設(shè)置。危險廢物分類堆放區(qū)域的醒目位置須設(shè)置該類廢物的標(biāo)志牌，含危危險廢物委托有資質(zhì)單位處置，轉(zhuǎn)移時嚴(yán)格履行國家與地方政府關(guān)于危險廢物轉(zhuǎn)移的企業(yè)位于杭州市錢塘區(qū)，周邊危險固廢處理單位較多，現(xiàn)有企業(yè)各類危廢均與各表4-16企業(yè)危廢意向處置單位12345綜上，項目所產(chǎn)生的固體廢棄物按相應(yīng)的方式進(jìn)行處置，各類固體廢棄物均有可地下水、土壤污染源、污染物類型和污染途徑表4-17地下水、土壤污染源、污染物類型和污染途徑識別表表4-18地下水、土壤分區(qū)防滲及技術(shù)要求危廢暫存庫、污水處理站防滲要求依據(jù)《危要求為：等效黏土防滲層厚≥6.0m，滲透系數(shù)≤1.0等效黏土防滲層厚≥1.5m，滲透系數(shù)≤1跟蹤監(jiān)測要求表4-19周邊土壤及地下水環(huán)境質(zhì)量影響監(jiān)測要求《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險管控標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB36pH、銅、鋅、硫化物、氰化物、氟化物、砷本項目在企業(yè)現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)建，且項目的建設(shè)符合生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求，企業(yè)可能出現(xiàn)的污染事故主要有廢氣洗滌塔系統(tǒng)故障、硅烷燃燒系統(tǒng)故障、污水廢水事故性排放對廢水處理系統(tǒng)造成沖擊，發(fā)生以上事故時，污染物泄漏將通過識和風(fēng)險事故安全教育，提高職工的風(fēng)險意識，了解其作業(yè)場所和工作存在的危險有1996）中表2排放標(biāo)準(zhǔn)》經(jīng)設(shè)備尾端本地處理凈化裝POU）處理后，尾氣再納入酸性廢氣處理系統(tǒng)，最終由車間為潔凈車間，生產(chǎn)時全密閉且產(chǎn)生廢氣的工藝設(shè)備運行時采用密閉隔離、局部排風(fēng)、就近捕集，基本杜絕境主要包括：中和處理系統(tǒng)分類收集進(jìn)入污水處理站相應(yīng)的廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理后進(jìn)入綜合中和處理池再次本項目建成達(dá)產(chǎn)后，全廠各股廢水產(chǎn)生量均小于企業(yè)現(xiàn)有相應(yīng)廢水處理系統(tǒng)設(shè)計處理規(guī)模，能滿足全廠廢水處理需求，可做到全部收集進(jìn)入現(xiàn)有廢水處理站。處理后的廢水，通過廠區(qū)現(xiàn)有排污員工環(huán)保意識，防止人為噪////一般工業(yè)固廢分類收集后，出售給回收公司綜合利用，或委托有能力處置的單位處置；危險廢物廠區(qū)規(guī)范化暫存后委托有資質(zhì)單位處置；生活垃圾委托/表5-1企業(yè)排污許可管理類別歸類表杭州士蘭集昕微電子有限公司硅基氮化鎵（GaN）HEMT結(jié)構(gòu)電的清潔生產(chǎn)水平，其資源利用不會突破區(qū)域的資源利用上線；項目采取必要的風(fēng)險防范對策和應(yīng)急措施后，項目環(huán)境風(fēng)險能夠控制在可接受范圍內(nèi)。建設(shè)單位在項目實施過程中須對周圍環(huán)境及保護(hù)目標(biāo)影響不大，并將產(chǎn)生較好的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。因此，從環(huán)保角根據(jù)浙江省環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)劃分，項目所在地屬于二類環(huán)境空氣質(zhì)量功能區(qū)，環(huán)境ug/m3NO24ug/m3NOX7氨ug/m3氯排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）二級排放標(biāo)準(zhǔn)；氨等惡臭物質(zhì)執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》94氨廠區(qū)內(nèi)VOCs無組織排放監(jiān)控點濃度應(yīng)符合《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》NMHC6P序號12345DA005堿性67區(qū)寓NW約85m寓E約840mSW約1000mNE約810mE約1535mE約1895mSE約1540mSE約1700mSE約1595mSE約1805mNW約1248mNW約1115mNW約1823mNW約1680mNE約2095mNE約2015mNW約1435mNW約2120mNW約2245m人NW約1285mN、NW約2070mN約1265mNE約1165mNENENENENE人NWNW人NE人NE人NE人人人人NWNW//為進(jìn)一步了解建設(shè)項目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀，本次評價利用浙江鴻博環(huán)境檢測有限序號1NE次表1-9環(huán)境空氣質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測統(tǒng)計評ug/m3數(shù)況7777氯7NMHCNH3氨小時濃度值為0.05～0.08mg/m3，最大占標(biāo)率為40%；硫酸小時濃度值為<0.02~過濾送風(fēng)口進(jìn)入各潔凈室，潔凈室內(nèi)可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設(shè)備裝氣和有機廢氣通過相應(yīng)的管道分別進(jìn)入堿性廢氣處理系統(tǒng)、酸性廢氣處理系統(tǒng)和有機廢氣處漏無組織排放現(xiàn)象。設(shè)備各反應(yīng)腔、氣體物料儲存及輸送的管道及法蘭通過設(shè)量1/1/211/11/表1-12本項新增設(shè)備廢氣風(fēng)量132///11//////3///1323//////23/////////////堿性廢氣產(chǎn)生于芯片生產(chǎn)廠房，主要來源于光刻工序中的濕法刻蝕清洗、顯影以及化學(xué)有機廢氣產(chǎn)生于芯片生產(chǎn)廠房，主要來源于光刻工序中的涂膠、前烘、曝光后烘焙、去同時，燃燒溫度控制在700℃,空氣中的氮氣在此溫度下不會生成NOx。同時，本次擴(kuò)建項根據(jù)電子企業(yè)生產(chǎn)車間的潔凈度要求，生產(chǎn)時全密閉且相關(guān)的產(chǎn)生廢氣的工藝設(shè)備正常庫，待有需要時通過化學(xué)品傳遞間送至設(shè)備前加注或更換。綜上，由于生產(chǎn)車間呈微正壓狀項目廢水處理站內(nèi)污水處理過程中會有少量惡率氨氨氨XYmmkg/h111根據(jù)上表可知，本項目生產(chǎn)過程中廢氣排放濃度和排放速率均可達(dá)到《大氣污染物綜合項目生產(chǎn)過程中的非正常工況主要指廢氣凈化系統(tǒng)失效的事故性排放。本次環(huán)評主要考類型mm℃點源點源點源點源表1-18項目擴(kuò)建后全廠排氣筒XYmmkg/h111根據(jù)上表可知，本項目擴(kuò)建后，全廠生產(chǎn)過程中廢氣排放濃度和排放速率均可達(dá)到《大NH3氯最高環(huán)境溫度(℃)最低環(huán)境溫度(℃)是//岸線方向(°)/序號氨12345DA005堿性67表1-22擴(kuò)建項目大氣污染物有組123456氨789氨氨氨氨氨12345氨67表1-25擴(kuò)建后全廠大氣污染物有組123456789氨氨氨氨氨氨氨12//34567089/表1-27二噁英產(chǎn)生必要條件及與本項目對況有機廢氣主要來源于光刻等工序的有機溶劑揮發(fā)，本項目有機廢氣采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚查預(yù)測因子()值k≤-20%k>-20%監(jiān)測點位數(shù)()NOXt/aVOCS0.006）沸石濃縮轉(zhuǎn)輪沸石濃縮轉(zhuǎn)輪大氣濕式洗滌器廢水處理POU凈化裝置（PointOfUse裝置）濕式洗滌器堿性廢氣有機廢氣酸性廢氣工藝尾氣企業(yè)所有生產(chǎn)均在超潔凈室內(nèi)進(jìn)行，每道工序均在獨立機臺內(nèi)進(jìn)行全封閉式操作，各機其余酸性廢氣、堿性廢氣和有機廢氣通過相應(yīng)的管道分別進(jìn)入堿性廢氣處理系統(tǒng)、酸性廢氣不含砷工藝尾氣風(fēng)機達(dá)標(biāo)排放風(fēng)機排排氣筒POU凈化裝置(高溫+水洗/干式吸附/等離蝕蝕置通過天然氣燃燒、電加熱或電離等方式在反應(yīng)腔內(nèi)產(chǎn)生高溫式4NF3+3H2O→NO+NO2+6工序產(chǎn)生的工藝尾氣。這部分工藝尾氣以易燃?xì)怏w為主，燃燒后的產(chǎn)物大多溶于水或成為固2BF3+3Ca(OH)2→3CaF2+B2O3定是否對濾芯進(jìn)行更換。當(dāng)指示劑顯示吸附劑已達(dá)吸附飽和狀態(tài)，即自動切換至備用組，操本項目設(shè)置堿液噴淋洗滌塔用于處理酸性廢氣，處理后由排氣筒有組織排放。酸性廢氣酸性廢氣處理系統(tǒng)（堿液噴淋裝置）主要由廢氣洗滌塔、排風(fēng)機、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。各股酸性廢氣先由生產(chǎn)設(shè)備上的排氣管道直接輸入廢氣洗滌塔，廢氣一并進(jìn)入吸收塔NaOH堿液噴淋吸收塔風(fēng)機酸性廢氣/工藝尾氣達(dá)標(biāo)排放NaOH堿液噴淋吸收塔風(fēng)機酸性廢氣/工藝尾氣排排氣筒液吸收液含氟廢水處理系統(tǒng)液吸收液該系統(tǒng)對各類污染物的處理效果參考國內(nèi)同類工程的經(jīng)驗數(shù)據(jù)以及企業(yè)現(xiàn)有項目的監(jiān)測酸性廢氣處理系統(tǒng)污染物處理效果分析廢氣種類酸性廢氣塔NDND~2.69ND~2.8/ND~1.4NOxND~3由上表可知，本項目酸性廢氣采用堿液噴淋塔處理后，廢氣排放本項目設(shè)置酸液噴淋洗滌塔用于處理堿性廢氣，處理后由排氣筒有組織排放。堿性廢氣排排氣筒吸吸工藝堿性廢氣主要污染物為氨，采用硫酸進(jìn)行噴淋，處理過程發(fā)生如下反應(yīng)：表1-32堿性廢氣處理系統(tǒng)污染目目目NH3ND~2.35根據(jù)工程分析可知：項目堿性廢氣排氣筒排放的氨可達(dá)到《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》本項目有機廢氣主要來源于光刻涂膠、固膠、去膠等過程，主要有機污染物為光刻膠、有機廢氣通常采用直接焚燒、活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理，但本項目排放的水分敏感度高、脫附后殘留負(fù)荷高等缺點，在半導(dǎo)體制造界基本不再使用。而生物氧化技術(shù)針對本項目有機廢氣濃度較低，風(fēng)量大的特點，企業(yè)采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒方式處理有機廢氣。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒處理的系統(tǒng)處理原理，是將大風(fēng)量低濃度有機廢氣轉(zhuǎn)換成小風(fēng)量則進(jìn)入再生區(qū)，在此區(qū)完成脫附再生，該過程主要是利用高溫空氣將沸石加以脫附再生。經(jīng)本項目采用的沸石轉(zhuǎn)輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點是可以進(jìn)行動態(tài)吸附和解吸，不存在吸附劑該系統(tǒng)對各類污染物的處理效果參考國內(nèi)同類工表1-33有機廢氣處理系統(tǒng)污染類目目目氣根據(jù)工程分析可知，項目有機廢氣排氣筒排放的非甲烷總烴可達(dá)到《大氣污染物綜合排漏無組織排放現(xiàn)象。設(shè)備各反應(yīng)腔、氣體物料儲存及輸送的管道及法蘭通過設(shè)本項目化學(xué)品（含氣體）根據(jù)生產(chǎn)需要由供應(yīng)商負(fù)責(zé)儲存、運輸、供貨，本項目大宗氣高壓容器，工藝中所使用化學(xué)品的儲存全部采用不銹鋼、或不銹鋼聚已烯內(nèi)膽、或錳鋼等鋼用叉車轉(zhuǎn)運到對應(yīng)的使用車間特氣暫存間，放置于特氣柜中暫存，氣特氣供應(yīng)采用密閉管道供應(yīng)到各使用機臺，特氣在貯存和使用過程中均安裝在特氣柜中，當(dāng)輸送到純化間內(nèi)純化后，經(jīng)密閉管道輸送到生產(chǎn)車間，供應(yīng)到各使用機臺。特氣在輸送至生存過程中產(chǎn)生的極少量酸性廢氣、有機廢氣進(jìn)行收集后高空排放，可消除化學(xué)品庫的無組織液態(tài)危險化學(xué)品根據(jù)化學(xué)品的性質(zhì)分類儲存在化學(xué)品庫中的對應(yīng)隔間內(nèi)，由于液態(tài)化學(xué)性和有機排風(fēng)系統(tǒng)連接。將化學(xué)品供應(yīng)過程中散逸的廢氣排入相應(yīng)的廢氣處理系統(tǒng)排放除了該過程中的無組織排放。本項目生產(chǎn)車間為潔凈室，全封閉式操作，有機廢氣、酸堿廢項目廢水處理站內(nèi)污水處理過程中會有少量惡臭廢氣產(chǎn)可開啟鋼瓶閥；氫氣和氮氣通過密閉管道輸送到純化間內(nèi)純化后，經(jīng)密閉管道輸送到生產(chǎn)車間，供應(yīng)到各使用機臺；液態(tài)危險化學(xué)品根據(jù)化學(xué)品的性質(zhì)分類儲存在化學(xué)品庫中的對應(yīng)隔過對應(yīng)排氣筒排放；污水處理站各廢水處理系統(tǒng)調(diào)節(jié)池、反應(yīng)池等池體采用加蓋密閉形式。DA001酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA002酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA003酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA004酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA005堿性廢氣處理系統(tǒng)排放口氨DA006有機廢氣處理系統(tǒng)排放口因本項目利用現(xiàn)有生產(chǎn)車間、化學(xué)品倉庫等進(jìn)行擴(kuò)建，同時三廢處理均依托現(xiàn)有工程，2.1.1建設(shè)項目風(fēng)險源調(diào)查123砷化氫、磷化氫、硅烷、氯氣、丙酮、乙醇、雙氧水、異丙醇、乙456廢酸、廢有機溶劑、廢潤滑油、廢棄的感光材料及《關(guān)于公布第二批重點監(jiān)管危險化工工藝目錄和調(diào)整首批重點監(jiān)管危險化工工藝中部分典2.1.2環(huán)境敏感目標(biāo)調(diào)查1234NE5E6E789NWNWNWNWNENENWNESNWNWNWNWNWNWWWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNNENENENENENENWNWNENENENWWNWWNWNWNENENWNWW//>1000人>5萬人1/1無///1無/2.2環(huán)境風(fēng)險潛勢初判2.2.1危險物質(zhì)及工藝系統(tǒng)危險性（存在多種危險物質(zhì)為時，則按式（1）計算物質(zhì)總量與2nQ11231456758911515//5分別評分并求和。將M劃分為（1）M＞202）10＜M≤203）5＜M≤104）M=5，0000氣05a高溫指工藝溫度≥300℃,高壓指壓力容器的設(shè)計壓力（P）≥10.0MPa；表2-5危險物質(zhì)及工藝系統(tǒng)危險性等級（P）判定2.2.2環(huán)境敏感程度（E）的確定2.2.3環(huán)境風(fēng)險潛勢判定ⅣⅢⅢⅣⅢⅢⅡⅢⅢⅡⅠ為Ⅲ,地表水、地下水環(huán)境風(fēng)險潛勢等級為Ⅰ,項目綜合風(fēng)險潛勢等級為Ⅲ。2.2.4評價工作等級環(huán)境風(fēng)險潛勢+ⅢⅡⅠ評價工作等級一二三簡單分析aa：是相對詳細(xì)評價工作內(nèi)容而言，在描述危險物質(zhì)、環(huán)境影響途徑、環(huán)境危害后果、風(fēng)險防范措施等方面給出定性的說明。見附錄A。項目大氣環(huán)境風(fēng)險潛勢為Ⅲ,地表水和地下水環(huán)境風(fēng)險潛勢為Ⅰ,風(fēng)險潛勢綜合等級為Ⅲ。對比，確定本項目環(huán)境風(fēng)險評價等級為二級，其中大氣環(huán)境風(fēng)險評價等級為二級、地表2.3.1物質(zhì)危險性識別易流淌擴(kuò)散：原輔材料所使用鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸以及液態(tài)危廢等在常態(tài)下為液2.3.2生產(chǎn)系統(tǒng)危險性識別序號℃℃℃1氣///MAC：22氣//甲3氣/甲//4氣//乙MAC：15液////6液甲7液///8液///9液////液甲/液甲//氨氣//氣////液///液////液///序號℃℃℃液乙/氣甲氣/////氣////液/////氣/甲//1磷酸、氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、氨水、三溴化硼、乙醇、丙酮、異丙醇、硅烷、三氯氫硅、三氯化2345678磷酸、氫氟酸、硫酸、鹽酸、丙酮、異丙醇、氨水、乙醇、氯化氫、硅烷、三氯氫硅、三氟化硼、磷烷、9廢酸、廢有機溶劑、廢潤滑油、廢棄的感光材料要來自于交通事故。危險品的運輸車輛如果在途中發(fā)生比較嚴(yán)重的交通事故，通過及時報告應(yīng)急急救中心，有組織地進(jìn)行清理和處置，危險物質(zhì)就不會大規(guī)模擴(kuò)散，避免惡性事件的發(fā)甲類化學(xué)品倉庫占地面積342.8m2，建筑面積342.8m2，乙類化學(xué)品倉庫占地面積自動開啟，氯氣等有毒氣體經(jīng)兩級水噴淋塔吸附，吸附廢水通過管道輸送至廢水處理站處理乙類化學(xué)品倉庫存在的環(huán)境風(fēng)險主要是包裝破損導(dǎo)致硫等物料的泄漏；甲類化學(xué)品倉庫存在的環(huán)境風(fēng)險主要是包裝破損導(dǎo)致丙酮、異丙醇等物料的存在的環(huán)境風(fēng)險主要是氫氣泄漏。存在的影響主要為泄漏物質(zhì)揮發(fā)對大氣環(huán)境及人群健康的化學(xué)品泄漏與毒氣擴(kuò)散、火災(zāi)爆炸以及中毒等事故是緊密聯(lián)系在一起的，如泄漏后該泄成暴露人員中毒。化學(xué)品倉庫和特氣室的火災(zāi)事故危害預(yù)測屬于安全評價范圍，并且火災(zāi)主要發(fā)生在廠區(qū)之內(nèi)，發(fā)生火災(zāi)爆炸時產(chǎn)生的環(huán)境危害主要是震蕩作用、沖擊波、碎片沖擊和本事故引起的二次水體污染是指在事故中有毒有害物質(zhì)直接泄漏至水體或在處理事故時有毒有害物質(zhì)隨消防水通過清下水、雨水管道等途徑進(jìn)入環(huán)境水體而造成環(huán)境造成環(huán)境污染危廢倉庫內(nèi)廢液分類收集貯存于桶內(nèi)，其余固態(tài)廢物均袋裝，且企業(yè)危廢庫內(nèi)設(shè)置滲濾液收液收集池收集，然后經(jīng)管道排至廠區(qū)污水處理設(shè)施處理，處理達(dá)標(biāo)后接入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)相關(guān)環(huán)保管理要求，對廠區(qū)危廢庫情況進(jìn)行核實，及時處理發(fā)現(xiàn)的情況，因此危廢庫廢液影生產(chǎn)過程中可能存在環(huán)境風(fēng)險的部位主要是刻蝕、酸洗、堿洗、有機洗、CMP、CVD、泄漏的廢液經(jīng)廢水預(yù)處理裝置處理達(dá)標(biāo)后排入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)污水處理廠處理后，排入錢廢水未經(jīng)過處理直接排放或者超標(biāo)排放。廠區(qū)廢水排放口中的有毒有害污染物最高瞬時排放為了確保企業(yè)在事故狀態(tài)下的各類廢水不流入雨水管網(wǎng)對周邊水體造成污染，對廠區(qū)事V1——收集系統(tǒng)范圍內(nèi)發(fā)生事故的一個罐組或一套裝置的物料量。儲存相同物料的罐組發(fā)生事故時可以轉(zhuǎn)輸?shù)狡渌麅Υ婊蛱幚碓O(shè)施的物料量，在建污水處理站內(nèi)各類廢水原水因跑冒滴漏情況不可避免，若廠區(qū)廢水處理設(shè)施所在基礎(chǔ)設(shè)施發(fā)生沉降，或者地表破損2.3.4風(fēng)險識別結(jié)果1234562.4風(fēng)險事故情形分析風(fēng)險事故情形設(shè)定是在風(fēng)險識別的基礎(chǔ)上，選擇對環(huán)境影響較大并具有代表性的事故類2.4.1事故類型分析故占34.2%，人為因素占22.8%。從發(fā)展趨勢看90年代以來隨著防災(zāi)害技術(shù)水平的提高，本項目的環(huán)境風(fēng)險主要表現(xiàn)為在公司非正常生產(chǎn)工況、環(huán)保設(shè)施非正常運轉(zhuǎn)、危險化學(xué)品運輸和貯存事故等情況下突發(fā)的泄漏、火災(zāi)、爆炸事故導(dǎo)致的大氣、水體及土壤的環(huán)境污2.4.2主要事故及概率表2-12主要風(fēng)險事故概率與事故發(fā)生頻率2.4.3環(huán)境風(fēng)險事故情形設(shè)定最大可信事故是指在所有預(yù)測的概率不為零的事故中，對環(huán)境（或健康）危害最為嚴(yán)重磷化氫、氨等）發(fā)生泄漏事故；氫氣儲罐氫氣泄漏引發(fā)的火災(zāi)爆炸事故；其次為丙酮、異丙事故產(chǎn)生的大氣環(huán)境風(fēng)險主要為未完全燃燒的危險物質(zhì)在高溫下迅速揮發(fā)至大氣以及燃燒過至水體或在處理事故中有毒有害物質(zhì)隨消防水通過清下水、雨水管道等途徑進(jìn)入環(huán)境水體而2.5.1物質(zhì)泄漏量計算dAρ表2-12液氯等泄漏相關(guān)參數(shù)及計算結(jié)果APρkg/m3hmCdkg/sCqQ2.6風(fēng)險預(yù)測與評價2.6.1大氣環(huán)境風(fēng)險預(yù)測表2-14項目危險物質(zhì)泄漏方式參數(shù)計算表表2-15大氣環(huán)境風(fēng)險源預(yù)測模型選擇情況表AFTOX模型//AFTOX模型根據(jù)前述分析，本項目大氣環(huán)境風(fēng)險評價等級為二級，對照風(fēng)險導(dǎo)則，二級評價僅需選///F/否/下風(fēng)向不同距離處磷化氫的最大濃度及對應(yīng)半寬見表2-17，下風(fēng)向最大濃度為0.786表2-17下風(fēng)向不同距離處磷化氫的最大濃度及對應(yīng)半寬序號1//2//3//4//5//6//7//8//9//////////////////////////////////////表2-18磷化氫泄漏事故后果信大氣5////////表2-19下風(fēng)向不同距離處氯氣的最大濃度及對應(yīng)半寬序號123/4/5/6/7/8/9/////////////////////////////大氣////表2-21下風(fēng)向不同距離處氨氣的最大濃度1234/5/6/7/8/9////////////////////////////濃度（mg/m3）0距離（m）大氣////表2-23下風(fēng)向不同距離處氨氣的最大濃度序號1//2//3//4//5//6//7//8//9//////////////////////////////////////根據(jù)預(yù)測結(jié)果，異丙醇遇明火燃燒產(chǎn)生次生一氧化碳事故情形下，各關(guān)心點的預(yù)測濃度氫氣是極其危險的一種物質(zhì)，氫氣在空氣中爆炸極消防廢水，由于消防廢水中含有未燃燒而進(jìn)入水體的化學(xué)品、飛灰2.6.2地表水環(huán)境風(fēng)險評價控制在廠區(qū)內(nèi)，但是出現(xiàn)大量超標(biāo)廢水通過管網(wǎng)進(jìn)入集中污水處理廠，影響污水處理廠的正事故發(fā)生時，為保證廢水（包括消防水以及泄漏的物料等）不會排到環(huán)境水體當(dāng)中，企狀態(tài)下廢水不會流出廠區(qū)進(jìn)入地表水體、對對污水處理系統(tǒng)在處理能力和處理污染負(fù)荷上產(chǎn)生較大沖擊，可能造成本項目廢水超標(biāo)排入的排放，同時減小事故污水進(jìn)入廠區(qū)污水站設(shè)施流量，使其不會對廠區(qū)內(nèi)污水站和中水回用2.6.3地下水環(huán)境風(fēng)險評價非正常工況下，污染物可能下滲影響地下水。由于滲漏面積較小，相對于整個研究范圍，可C0——流向下游的位置，泄漏面積為廢水處理池面積的0.3地下水流向與地面坡向一致，水力坡度平緩（平均水力梯度0評價取《地下水質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-2017）Ⅳ類水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)作為評價標(biāo)準(zhǔn)，具體為表2-24連續(xù)泄漏100天后下游不同距離處COD、氟化物123456789000000上表可知，連續(xù)泄漏100d時，下游方向COD和氟化物水質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測。同時建議建設(shè)單位制定廢水收集池破損檢查制度，將廢水收集池可能性破損2.7環(huán)境風(fēng)險防范措施2.7.1