杭州德峰半導(dǎo)體有限公司超大功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告

建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（污染影響類）項(xiàng)目名稱：杭州德峰半導(dǎo)體有限公司超大功率半導(dǎo)體生產(chǎn)建設(shè)單位（蓋章）：杭州德峰半導(dǎo)體有限公司編制日期：二〇二三年七月中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制I 1 39 73 84 138 140 141—1—建設(shè)項(xiàng)目名稱杭州德峰半導(dǎo)體有限公司超大功率半導(dǎo)體生產(chǎn)線項(xiàng)目項(xiàng)目代碼2106-330155-89-02-239333（主體工程：6幢3層、4層）2301-330114-89-01-724889（室外附屬工程，含：輔助車間一、二、三、四、甲類倉(cāng)庫(kù)、輔助設(shè)備、擴(kuò)建構(gòu)筑物、應(yīng)急池）建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點(diǎn)杭州市錢塘區(qū)河莊街道青西二路東圍路599號(hào)博潮城6幢3層和4層地理坐標(biāo)（120度29分27.362秒，30度21分35.626秒）國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類別C3824電力電子元器件制造建設(shè)項(xiàng)目行業(yè)類別三十五、電氣機(jī)械和器材制造業(yè)38--77電機(jī)制造381；輸配電及光纜及電工器材制造383；電池制造384；家用電力器具制造385；非電力家用器具制造386；照明器具制造387；其他電氣機(jī)械及器材制造389--其他（僅分割、焊接、組裝的除外；年用非溶劑型低VOCs含量涂料10噸以下的除外）建設(shè)性質(zhì)?新建（遷建）□改建□擴(kuò)建□技術(shù)改造建設(shè)項(xiàng)目申報(bào)情形?首次申報(bào)項(xiàng)目□不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目□超五年重新審核項(xiàng)目□重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目項(xiàng)目審批（核準(zhǔn)/備案）部門（選杭州市錢塘新區(qū)行政審批局項(xiàng)目審批（核準(zhǔn)/備案）文號(hào)（選填）2106-330155-89-02-239333總投資（萬元）21000環(huán)保投資（萬元）環(huán)保投資占比0.71施工工期6個(gè)月是否開工建設(shè)?否用地（用海）面積（m2）5560.4（主體工程）專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情況—2—表1-1專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置對(duì)照表專項(xiàng)評(píng)價(jià)類別設(shè)置原則本項(xiàng)目情況大氣排放廢氣含有毒有害污染物1、二噁英苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)2的建設(shè)項(xiàng)本項(xiàng)目不涉及有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物，產(chǎn)生極少量的氯氣，但廠界外500米范圍內(nèi)無環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)。地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目（槽罐車外送污水處理廠的除外）；新增廢水直排的污水集中處理廠。本項(xiàng)目廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)準(zhǔn)后納入臨江污水處理廠。地下水涉及集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源保護(hù)區(qū)的開展地下水專項(xiàng)評(píng)價(jià)工作。本項(xiàng)目不涉及特殊地下水資源保護(hù)區(qū)。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過臨界量3的建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目危險(xiǎn)物質(zhì)儲(chǔ)存量未超過臨界量。生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索餌場(chǎng)、越冬場(chǎng)和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目不涉及。海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目。本項(xiàng)目不涉及。注：1、廢氣中有毒有害污染物指納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物（不包括無排放標(biāo)準(zhǔn)的污染物）。2、環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)指自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域。3、臨界量及其計(jì)算方法可參考《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169）附錄B、附錄C。規(guī)劃情況1、杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)管理委員會(huì)和杭州市城市規(guī)劃設(shè)計(jì)研究院2、錢塘芯谷管理辦公室委托編制了《杭州錢塘芯谷核心區(qū)塊總體規(guī)規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)情況于2018年3月通過浙江省生態(tài)環(huán)境廳審查，審批文件號(hào)：浙環(huán)函—3—?jiǎng)澀h(huán)境影響報(bào)告書“六張清單”調(diào)整報(bào)告》，對(duì)6張清單中與“三線一單”管控要求不相符的內(nèi)容作適當(dāng)調(diào)整和完善，并通過杭錢塘分局審月3日通過杭州市生態(tài)環(huán)境局錢塘分局審查，審批文號(hào)：杭環(huán)錢規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)符合性分析—4—“三心”：即三級(jí)服務(wù)中心，包括“城市服務(wù)核心—產(chǎn)業(yè)服務(wù)中心—產(chǎn)業(yè)鄰里中心和創(chuàng)新單元中心”?！?——6—的建設(shè)用地約1290.71hm2，占總用地面積的82.53%；非建設(shè)用地—7—3、與《杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)(大江東新區(qū))分報(bào)告書》以及“六張清單”調(diào)整報(bào)告符合性分析年，杭州市生態(tài)環(huán)境局錢塘分局委托浙江省環(huán)境科技有限公司編制容，作適當(dāng)調(diào)整和完善。2021年5月28日，杭州市生態(tài)環(huán)境局錢劃環(huán)境影響報(bào)告書“六張清單”調(diào)整報(bào)告》（備案稿）中結(jié)論清單，產(chǎn)業(yè)鏈條逐步延伸，集聚效應(yīng)日益明顯。杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)于2015年實(shí)體化運(yùn)作以來，作為經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)快、市場(chǎng)容量大的區(qū)城，提—8—表1-2生態(tài)空間清單(部分)2—9—表1-3現(xiàn)有問題整改措施清單局護(hù)轉(zhuǎn)型升級(jí)研究報(bào)告》，—10—污染防治措施程—11—表1-4規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單優(yōu)化調(diào)整類型用地布局工業(yè)布局基礎(chǔ)設(shè)施配套方面能源生活垃圾5200理危險(xiǎn)廢年項(xiàng)目已經(jīng)建成；目前因區(qū)域調(diào)整，—12—行，暫表1-5環(huán)境準(zhǔn)入條件清單(部分)區(qū)塊產(chǎn)品清單區(qū)塊七業(yè)）；）；）；////—13—////////米范圍內(nèi)布置溶劑型油漆噴涂項(xiàng)目///////業(yè)/綸等三類項(xiàng)目技改不得污染物削減量不低于區(qū)/表1-6污染物排放總量管控限值清單線值值值硫化物3731.8噸/年、值物值—14—值值表1-7環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單（部分）序號(hào)1七點(diǎn)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控企業(yè)應(yīng)急預(yù)案制定，建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管合成材料制造；專用化學(xué)品制造；炸藥、火工及焰火產(chǎn)品制造；水處單純混合或者分裝的)；120、化學(xué)藥品制造；121、化學(xué)纖紡絲外的)；123、輪胎制造、再生橡膠制翻新(輪胎制造；有煉化及硫化工藝的)；131、鐵合金制造；1金屬冶煉(含再生有色金屬冶煉)；133、有色金屬制品表面處理及熱處理加工(有電鍍工藝的；有鈍化工藝的7.禁止?；坟浳锓謸苤行暮蛡}(cāng)庫(kù)建設(shè)；危險(xiǎn)化學(xué)品對(duì)照《杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)(大江東新區(qū))分區(qū)規(guī)劃環(huán)境影—15—表1-8規(guī)劃環(huán)評(píng)六張清單對(duì)照分析情況序號(hào)類別符合性分析1生態(tài)空間布局清單本項(xiàng)目位于蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元2，周邊規(guī)劃為工業(yè)用地，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離帶。項(xiàng)目建成后實(shí)施污染物總量控制制度，廠區(qū)實(shí)行雨污分流制，將加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。因此，項(xiàng)目符合生態(tài)空間布局清單要求。2現(xiàn)有問題整改措施清單本項(xiàng)目位于工業(yè)集聚區(qū)，不在現(xiàn)有問題整改措施清單3規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單本項(xiàng)目所在地不在規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單中，且本項(xiàng)目500m范圍內(nèi)無環(huán)境空氣敏感點(diǎn)，符合將工業(yè)與敏感點(diǎn)有效分離的管控要求。4環(huán)境準(zhǔn)入條件清單本項(xiàng)目位于區(qū)塊七，本項(xiàng)目不屬于其禁止準(zhǔn)入類行業(yè)清單；本項(xiàng)目不屬于涉及電鍍、酸洗、磷化、電化學(xué)鍍、鑄造工藝金屬制品制造單純的表面噴涂項(xiàng)目；不涉及黑色金屬壓延加工；不屬于有色金屬壓延加工；不屬于含濕法印花、染色、水洗工藝的服裝制造；不屬于日用化學(xué)品制造（僅單純混合或分裝的）；項(xiàng)目500m范圍內(nèi)沒有居民區(qū)。因此項(xiàng)目不涉及區(qū)塊七禁止準(zhǔn)入的工藝清單。本項(xiàng)目不屬于氨綸和錦綸等三類項(xiàng)目，不屬于金屬制品制造項(xiàng)目，不屬于限制準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)。因此，本項(xiàng)目符合環(huán)境準(zhǔn)入條件清單。5總量管控清單本項(xiàng)目實(shí)施污染物總量控制制度，符合總量管控要求6環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單本項(xiàng)目周邊規(guī)劃為工業(yè)用地，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離帶。項(xiàng)目建成后實(shí)施污染物總量控制制度，廠區(qū)實(shí)行雨污分流制，將加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。本項(xiàng)目不屬于禁止準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)和限制準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)，本項(xiàng)目能夠落實(shí)規(guī)劃環(huán)評(píng)提出的主要環(huán)境影響減緩對(duì)策和措施，控制廢氣污染物排放，廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后納入臨江污水處理廠，危險(xiǎn)廢物無害化處置，不外排。因此，項(xiàng)目符合環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單。—16—業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》（2021修訂）、《指導(dǎo)目錄(2017年修訂)》、《杭州市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目2022年版）》浙江省實(shí)施細(xì)則等上位規(guī)劃一致，用次規(guī)劃與上層規(guī)劃《杭州市城市總體規(guī)劃(2001-2020)》(2表1-9生態(tài)空間清單(部分)山大東業(yè)聚點(diǎn)控蕭區(qū)江產(chǎn)集重管根據(jù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)塊的功能定位，建立分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條件。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離—17—表1-10現(xiàn)有問題整改措施清單量護(hù)企業(yè)環(huán)保理念管理不到位促風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)編制環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)應(yīng)急預(yù)案并議錢塘芯谷管理辦公室針對(duì)錢塘芯谷核心區(qū)塊編制區(qū)域突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急現(xiàn)固廢暫存庫(kù)容積不夠需立即督查企表1-11污染物排放總量管控限值清單線可維持現(xiàn)狀不降級(jí)—18—NOX表1-12規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單VOCs、惡（大江東新—19—量表1-13環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單產(chǎn)品清單區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元2（ZH33010業(yè)）；造、橡膠加工、橡膠制品制造及）；氣加工、油母頁(yè)巖提煉原油、煤制原油、生物制油及其他石油制藥制造；涂料、染料、顏料、油墨及其類似產(chǎn)品制造；合成材料制造；專用化學(xué)品制造；炸藥、火工及焰火產(chǎn)品制造；水處理劑等制造單純混合或分裝外的化學(xué)品制造（單純混合或分裝的橡膠加工、橡膠制品制造及翻新（輪胎制造；有煉化及硫化工藝）；有色金屬冶煉（含再生有色金屬加工（有電鍍工藝的；有鈍化工涉及電鍍、電化學(xué)鍍、節(jié)除外）服裝制造—20—（企業(yè)配套原料或產(chǎn)品庫(kù)除外）得增加產(chǎn)表1-14環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單元蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元件。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)，在居住—21—準(zhǔn)(DB33/2147-2018)、《合成樹(GB31572-2015)、《紡織染整工業(yè)（GB39731-2020）、《紡織染整工），值物環(huán)境水環(huán)境），），聲環(huán)境土壤年版）、《限制用地項(xiàng)目目錄(2012年—22—表1-15規(guī)劃環(huán)評(píng)六張清單對(duì)照分析情況序號(hào)類別符合性分析1生態(tài)空間布局清單本項(xiàng)目位于蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單元2，周邊規(guī)劃為工業(yè)用地，實(shí)施污染物總量控制制度，廠區(qū)實(shí)行雨污分流制，將加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)，符合生態(tài)空間布局清單要求2現(xiàn)有問題整改措施清單本項(xiàng)目位于工業(yè)集聚區(qū)，不在現(xiàn)有問題整改措施清單中3總量管控清單本項(xiàng)目實(shí)施污染物總量控制制度，符合總量管控要求4規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單本項(xiàng)目所在地不在規(guī)劃優(yōu)化調(diào)整建議清單中5環(huán)境準(zhǔn)入負(fù)面清單本項(xiàng)目不屬于其禁止準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)清單，本項(xiàng)目不屬于涉及電鍍、酸洗、磷化、電化學(xué)鍍、發(fā)蘭、鑄造工藝金屬制品制造，不屬于表面噴涂項(xiàng)目，不屬于服裝制造項(xiàng)目，不屬于油漆噴涂項(xiàng)目，不屬于氨綸和錦綸等三類項(xiàng)目，故本項(xiàng)目符合環(huán)境準(zhǔn)入條件清單6環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單本項(xiàng)目不屬于禁止準(zhǔn)入類產(chǎn)業(yè)，本項(xiàng)目能夠落實(shí)規(guī)劃環(huán)評(píng)提出的主要環(huán)境影響減緩對(duì)策和措施，控制廢氣污染物排放，廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后納入臨江污水處理廠，危險(xiǎn)廢物無害化處置，不外排。項(xiàng)目符合環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)清單。其他符合性分析析地位于蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元2(環(huán)境管控單元編碼—23—表1-16蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元2準(zhǔn)入清單類別管控單元分類空間布局引導(dǎo)污染物排放管控環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控管控要求蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元2(環(huán)境管控單元編碼ZH33010920013)根據(jù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)塊的功能定位，建立分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條件。合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生活綠地等隔離嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，削減污染物排放總量。所有企業(yè)實(shí)現(xiàn)雨污分流。強(qiáng)化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施設(shè)備建設(shè)和正常運(yùn)行監(jiān)管，加強(qiáng)重點(diǎn)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控企業(yè)應(yīng)急預(yù)案制定，建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制，加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。項(xiàng)目情況-項(xiàng)目所在地為蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，本項(xiàng)目500m范圍內(nèi)無敏感點(diǎn)。本項(xiàng)目實(shí)施污染物總量控制制度，根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)，削減污染物排放總量。項(xiàng)目實(shí)施雨污分流。本項(xiàng)目應(yīng)加強(qiáng)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)備建設(shè)和運(yùn)行監(jiān)管，建設(shè)單位擬配備相關(guān)應(yīng)急物資，并及時(shí)按規(guī)定編制和落實(shí)環(huán)境突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案，擬建立常態(tài)化隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制，加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)符合情況-符合符合符合方案》中“蕭山區(qū)大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)重點(diǎn)管控單元2(環(huán)境管控單元編—24—符合性分析：根據(jù)《2022年杭州市生態(tài)環(huán)境狀況公報(bào)》，杭州市SO2、NO2、PM2.5、PM10、CO均達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）中Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)要求；3月TP不滿足Ⅳ類—25—符合性分析：本項(xiàng)目生產(chǎn)車間位于3層、4層，產(chǎn)生的固廢分類通過一手抓傳統(tǒng)能源清潔化，一手抓清潔能源發(fā)展，實(shí)現(xiàn)“一控42.75億立方米，地下水目標(biāo)0.25億立方米，生活和工業(yè)用水目標(biāo)為鄉(xiāng)建設(shè)用地規(guī)模控制在153933公頃以內(nèi)，城鎮(zhèn)工礦用地規(guī)模控制在85613公頃以內(nèi)；耕地保有量為206513公頃（309.77萬畝），基本農(nóng)—26—符合性分析：本項(xiàng)目不新增土地，項(xiàng)目用水來源為市政自來水對(duì)照《市場(chǎng)準(zhǔn)入負(fù)面清單（2022年版）、《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)杭州錢塘新區(qū)包括原杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)和杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開其中近期至2025年，遠(yuǎn)期至2035年，遠(yuǎn)—27—符合性分析：本項(xiàng)目擬建于杭州市錢塘區(qū)東產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與產(chǎn)業(yè)平臺(tái)布局指引（2019年于指導(dǎo)目錄中“二、數(shù)字經(jīng)濟(jì)核心產(chǎn)業(yè)”的“（五）電子信息產(chǎn)品制造發(fā)錢塘區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展導(dǎo)向目錄與產(chǎn)業(yè)平臺(tái)布局指引的通知》(錢政辦發(fā)—28—（2022年版）》等國(guó)家、地方產(chǎn)業(yè)政策文件，本項(xiàng)目不在其市場(chǎng)準(zhǔn)經(jīng)對(duì)照《長(zhǎng)江經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南（試行，2022年版）浙江省實(shí)施細(xì)則》(浙長(zhǎng)江辦[2022]6號(hào))，本項(xiàng)目符合相關(guān)實(shí)施細(xì)則要表1-17與浙江省實(shí)施細(xì)則的符合性分析序號(hào)負(fù)面清單項(xiàng)目情況1港口碼頭項(xiàng)目建設(shè)必須嚴(yán)格遵守《中華人民共和國(guó)港口法》、交通運(yùn)輸部《港口規(guī)劃管理規(guī)定》、《港口工程建設(shè)管理規(guī)定》以及《浙江省港口管理?xiàng)l例》的規(guī)定。本項(xiàng)目不屬于港口碼頭項(xiàng)目。2禁止建設(shè)不符合《全國(guó)沿海港口布局規(guī)劃》、《全國(guó)內(nèi)河航道與港口布局規(guī)劃》、《浙江省沿海港口布局規(guī)劃》、《浙江省內(nèi)河航運(yùn)發(fā)展規(guī)劃》以及項(xiàng)目所在地港口總體規(guī)劃、國(guó)土空間規(guī)劃的港口碼頭項(xiàng)目。經(jīng)國(guó)務(wù)院或國(guó)家發(fā)展改革委審批、核準(zhǔn)的港口碼頭項(xiàng)目，軍事和漁業(yè)港口碼頭項(xiàng)目，按照國(guó)家有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。城市休閑旅游配套碼頭、陸島交通碼頭等涉及民生的港口碼頭項(xiàng)目，結(jié)合國(guó)土空間規(guī)劃和督導(dǎo)交通專項(xiàng)規(guī)劃等另行研究執(zhí)行。本項(xiàng)目不屬于港口碼頭項(xiàng)目。3禁止在自然保護(hù)地的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)不符合《浙江省自然保護(hù)地建設(shè)項(xiàng)目準(zhǔn)入負(fù)面清單(試行)》的項(xiàng)目。禁止在自然保護(hù)地的岸線和河段范圍內(nèi)采石、采砂、采土、砍伐以及其他嚴(yán)重改變地形地貌、破壞自然生態(tài)、影響自然景觀的開發(fā)利用行為。禁止在I級(jí)林地、一級(jí)國(guó)家級(jí)公益林內(nèi)建設(shè)項(xiàng)目。自然保護(hù)地由省林業(yè)局會(huì)同相關(guān)管理機(jī)構(gòu)界定。本項(xiàng)目擬建地不涉及自然保護(hù)地的岸線和河段。4禁止在飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)、二級(jí)保護(hù)區(qū)、準(zhǔn)本項(xiàng)目擬建地不—29—保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)投資建設(shè)不符合《浙江省飲用水源保護(hù)條例》的項(xiàng)目。飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)、二級(jí)保護(hù)區(qū)、準(zhǔn)保護(hù)區(qū)由省生態(tài)環(huán)境廳會(huì)同相關(guān)管理機(jī)構(gòu)界定。涉及飲用水水源一級(jí)保護(hù)區(qū)、二級(jí)保護(hù)區(qū)、準(zhǔn)保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍。5禁止在水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的岸線和河段范圍內(nèi)新建圍湖造田、圍海造地或圍填海等投資建設(shè)項(xiàng)目。水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)由省農(nóng)業(yè)農(nóng)村廳會(huì)同相關(guān)管理機(jī)構(gòu)界定。本項(xiàng)目擬建地不涉及水產(chǎn)種質(zhì)資源保護(hù)區(qū)的岸線和河段。6在國(guó)家濕地公園的岸線和河段范圍內(nèi)：（一）禁止挖沙、采礦；（二）禁止任何不符合主體功能定位的投資建設(shè)項(xiàng)目；（三）禁止開(圍)墾、填埋或者排干濕地；（四）禁止截?cái)酀竦厮?；（五）禁止傾倒有毒有害物質(zhì)、廢棄物、垃圾；（六）禁止破壞野生動(dòng)物棲息地和遷徙通道、魚類洄游通道，禁止濫采濫捕野生動(dòng)植物；（七）禁止引入外來物種；（八）禁止擅自放牧、捕撈、取土、取水、排污、放生；（九）禁止其他破壞濕地及生態(tài)功能的活動(dòng)。本項(xiàng)目擬建地不涉及國(guó)家濕地公段。7禁止違法利用、占用長(zhǎng)江流域河湖岸線。本項(xiàng)目擬建地不涉及利用、占用長(zhǎng)江流域河湖岸線。8禁止在《長(zhǎng)江岸線保護(hù)和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護(hù)區(qū)和保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)除事關(guān)公共安全及公眾利益的防洪護(hù)岸、河道治理、供水、生態(tài)環(huán)境保護(hù)、國(guó)家重要基礎(chǔ)設(shè)施以外的項(xiàng)目。本項(xiàng)目擬建地不涉及長(zhǎng)江岸線保護(hù)和開發(fā)利用總體規(guī)劃》劃定的岸線保護(hù)區(qū)和保留區(qū)。9禁止在《全國(guó)重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河段及湖泊保護(hù)區(qū)、保留區(qū)內(nèi)投資建設(shè)不利于水資源及自然生態(tài)保護(hù)的項(xiàng)目。本項(xiàng)目擬建地不涉及《全國(guó)重要江河湖泊水功能區(qū)劃》劃定的河區(qū)、保留區(qū)。禁止未經(jīng)許可在長(zhǎng)江支流及湖泊新設(shè)、改設(shè)或擴(kuò)大排污口。本項(xiàng)目廢水納管排放，不涉及長(zhǎng)江支流及湖泊新設(shè)、改設(shè)或擴(kuò)大排污口。禁止在長(zhǎng)江支流、太湖等重要岸線一公里范圍內(nèi)新建、擴(kuò)建化工園區(qū)和化工項(xiàng)目。本項(xiàng)目不涉及化工園區(qū)和化工項(xiàng)目，不涉及河湖岸線?！?0—禁止在長(zhǎng)江重要支流岸線一公里范圍內(nèi)新建、改建、擴(kuò)建尾礦庫(kù)、冶煉渣庫(kù)和磷石膏庫(kù)，以提升安全、生態(tài)環(huán)境保護(hù)水平為目的的改建除外本項(xiàng)目不涉及尾礦庫(kù)、冶煉渣庫(kù)和磷石膏庫(kù)，不涉及河湖岸線。禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴(kuò)建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項(xiàng)目。高污染項(xiàng)目清單參照生態(tài)環(huán)境部《環(huán)境保護(hù)綜合目錄》中的高污染產(chǎn)品目錄執(zhí)行。本項(xiàng)目不涉及鋼焦化、建材、有色、制漿造紙等高污染項(xiàng)目。禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家石化、現(xiàn)代煤化工等產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃項(xiàng)目。本項(xiàng)目不涉及石禁止新建、擴(kuò)建法律法規(guī)和相關(guān)政策明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目，對(duì)列入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》淘汰類中的落后生產(chǎn)工藝裝備、落后產(chǎn)品投資項(xiàng)目，列入《外商投資準(zhǔn)入特別管理措施(負(fù)面清單)》的外商投資項(xiàng)目，一律不得核準(zhǔn)、備案。禁止向落后產(chǎn)能項(xiàng)目和嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)項(xiàng)目供本項(xiàng)目不屬于明令禁止的落后產(chǎn)能項(xiàng)目，不屬于嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)，也不屬于高目。禁止新建、擴(kuò)建不符合國(guó)家產(chǎn)能置換要求的嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項(xiàng)目。部門、機(jī)構(gòu)禁止辦理相關(guān)的土地(海域)供應(yīng)、能評(píng)、環(huán)評(píng)審批和新增授信支持等業(yè)務(wù)。本項(xiàng)目不屬于嚴(yán)重過剩產(chǎn)能行業(yè)的項(xiàng)目。禁止新建、擴(kuò)建不符合要求的高耗能高排放項(xiàng)目。本項(xiàng)目不屬于高目。禁止在水庫(kù)和河湖等水利工程管理范圍內(nèi)堆放物料，傾倒土、石、礦渣、垃圾等物質(zhì)。本項(xiàng)目不涉及水庫(kù)和河湖等水利工程管理范圍內(nèi)堆放物料，傾倒土、石、礦渣、垃圾等物質(zhì)?！皟筛摺表?xiàng)目的要求：計(jì)劃和產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策聯(lián)動(dòng)機(jī)制。研究制訂嚴(yán)格控制地方新上“兩高”—31—控制標(biāo)準(zhǔn)降至0.52噸標(biāo)準(zhǔn)煤/萬元，對(duì)超過標(biāo)準(zhǔn)的新上工業(yè)項(xiàng)目，年綜合能耗5000噸標(biāo)準(zhǔn)煤以上高符合性分析：本項(xiàng)目屬于超大功率半導(dǎo)體生產(chǎn)項(xiàng)目，不屬于電析2021年8月17日浙江省生態(tài)環(huán)境廳、浙江省發(fā)展和改革《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》（浙環(huán)發(fā)[2021]10），表1-18《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》符合性分析序號(hào)項(xiàng)目情況是否符合1優(yōu)化產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)。引導(dǎo)石化、化工、工業(yè)涂裝、包裝印刷、合成革、化纖、紡織印染等重點(diǎn)行業(yè)合理布局，限制高VOCs排放化工類建設(shè)項(xiàng)目，禁止建設(shè)生產(chǎn)和使用VOCs含量限值不符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等項(xiàng)目。貫徹落實(shí)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》《國(guó)家鼓勵(lì)的有毒有害原料(產(chǎn)品)替代品目錄》，依法依規(guī)淘汰涉VOCs排放工藝和裝備，加大引導(dǎo)退出限制類工藝和裝備力度，從源頭減少涉VOCs污染物產(chǎn)生。本項(xiàng)目為超大功率半導(dǎo)體生產(chǎn)項(xiàng)目點(diǎn)行業(yè)，項(xiàng)VOCs廢氣量較少符合2嚴(yán)格環(huán)境準(zhǔn)入。嚴(yán)格執(zhí)行“三線一單”為核心的生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控體系，制（修）訂紡織印染（數(shù)碼噴?。┑刃袠I(yè)綠色準(zhǔn)入指導(dǎo)意見。嚴(yán)格執(zhí)行建設(shè)項(xiàng)目新增VOCs排放量區(qū)域削減替代規(guī)定，削減措施原則上應(yīng)優(yōu)先來源于納入排污許可管理的排污單位采取的治理措施，并與建設(shè)項(xiàng)目位于同一設(shè)區(qū)市。上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對(duì)石化等行業(yè)的建設(shè)項(xiàng)目VOCs排放量實(shí)行等量削減；上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對(duì)石化等行業(yè)的建設(shè)本項(xiàng)目嚴(yán)格執(zhí)行“三線一單”等生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控體系的要求；嚴(yán)格執(zhí)行建設(shè)項(xiàng)VOCs排放符合—32—項(xiàng)目VOCs排放量實(shí)行2倍量削減，直至達(dá)標(biāo)后的下一年再恢復(fù)等量削減。量區(qū)域削減替代規(guī)定。3全面提升生產(chǎn)工藝綠色化水平。石化、化工等行業(yè)應(yīng)采用原輔材料利用率高、廢棄物產(chǎn)生量少的生產(chǎn)工藝，提升生產(chǎn)裝備水平，采用密閉化、連續(xù)化、自動(dòng)化、管道化等生產(chǎn)技術(shù)，鼓勵(lì)工藝裝置采取重力流布置，推廣采用油品在線調(diào)和技術(shù)、密閉式循環(huán)水冷卻系統(tǒng)等。工業(yè)涂裝行業(yè)重點(diǎn)推進(jìn)使用緊湊式涂裝工藝，推廣采用輥涂、靜電噴涂、高壓無氣噴涂、空氣輔助無氣噴涂、熱噴涂、超臨界二氧化碳噴涂等技術(shù)，鼓勵(lì)企業(yè)采用自動(dòng)化、智能化噴涂設(shè)備替代人工噴涂，減少使用空氣噴涂技術(shù)。包裝印刷行業(yè)推廣使用無溶劑復(fù)合、共擠出復(fù)合技術(shù)，鼓勵(lì)采用水性凹印、醇水凹印、輻射固化凹印、柔版印刷、無水膠印等印刷工藝。鼓勵(lì)生產(chǎn)工藝裝備落后、在既有基礎(chǔ)上整改困難的企業(yè)推倒重建，從車間布局、工藝裝備等方面全面提升治理水平。本項(xiàng)目不涉及符合4全面推行工業(yè)涂裝企業(yè)使用低VOCs含量原輔材料。嚴(yán)格執(zhí)行《大氣污染防治法》第四十六條規(guī)定，選用粉末涂料、水性涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料等環(huán)境友好型涂料和符合要求的（高固體分）溶劑型涂料。工業(yè)涂裝企業(yè)所使用的水性涂料、溶劑型涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料應(yīng)符合《低揮發(fā)性有機(jī)化合物含量涂料產(chǎn)品技術(shù)要求》規(guī)定的VOCs含量限值要求，并建立臺(tái)賬，記錄原輔材料的使用量、廢棄量、去向以及VOCs含量。本項(xiàng)目不涉及符合5大力推進(jìn)低VOCs含量原輔材料的源頭替代。全面排查使用溶劑型工業(yè)涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等原輔材料的企業(yè)，各地應(yīng)結(jié)合本地產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)和本方案指導(dǎo)目錄（見附件1），制定低VOCs含量原輔材料源頭替代實(shí)施計(jì)劃，明確分行業(yè)源頭替代時(shí)間表，按照“可替盡替、應(yīng)代盡代”的原則，實(shí)施一批替代溶劑型原輔材料的項(xiàng)目。加快低VOCs含量原輔材料研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用，在更多技術(shù)成熟領(lǐng)域逐漸推廣使用低VOCs含量原輔材料，到2025年，溶劑型工業(yè)涂料、油墨、膠粘劑等使用量下降比例達(dá)到國(guó)家要求。本項(xiàng)目使用光刻膠量較小，源頭替代指導(dǎo)目錄，本項(xiàng)目沒有源頭替代要求，無需制定替代計(jì)劃。符合6嚴(yán)格控制無組織排放。在保證安全前提下，加強(qiáng)含VOCs物料全方位、全鏈條、全環(huán)節(jié)密閉管理，做好VOCs物料儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等無組織排放環(huán)節(jié)的管理。生產(chǎn)應(yīng)優(yōu)先采用密閉設(shè)備、在密閉空間中操作或采用全密閉集氣罩收集方式，原則上應(yīng)保持微負(fù)壓狀態(tài)，并根據(jù)相關(guān)規(guī)范合理設(shè)置通風(fēng)量；采用局部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠(yuǎn)處的VOCs無組織排放位置控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。對(duì)VOCs物料儲(chǔ)罐和污水集輸、儲(chǔ)存、處理設(shè)施開展排查，督促企業(yè)按要求開展專項(xiàng)治理。本項(xiàng)目按照潔凈車間要求建設(shè)，生產(chǎn)過程不使用敞口設(shè)備符合—33—7全面開展泄漏檢測(cè)與修復(fù)（LDAR）。石油煉制、石油化學(xué)、合成樹脂企業(yè)嚴(yán)格按照行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)要求開展LDAR工作；其他企業(yè)載有氣態(tài)、液態(tài)VOCs物料設(shè)備與管線組件密封點(diǎn)大于等于2000個(gè)的，應(yīng)開展LDAR工作。開展LDAR企業(yè)3家以上或轄區(qū)內(nèi)開展LDAR企業(yè)密封點(diǎn)數(shù)量合計(jì)1萬個(gè)以上的縣（市、區(qū)）應(yīng)開展LDAR數(shù)字化管理，到2022年，15個(gè)縣（市、區(qū)）實(shí)現(xiàn)LDAR數(shù)字化管理；到2025年，相關(guān)重點(diǎn)縣（市、區(qū)）全面實(shí)現(xiàn)LDAR數(shù)字化管理。本項(xiàng)目物料設(shè)備與管線組件密封點(diǎn)小于2000個(gè)符合8規(guī)范企業(yè)非正常工況排放管理。引導(dǎo)石化、化工等企業(yè)合理安排停檢修計(jì)劃，制定開停工（車）、檢修、設(shè)備清洗等非正常工況的環(huán)境管理制度。在確保安全的前提下，盡可能不在O3污染高發(fā)時(shí)段（4月下旬-6月上旬和8月下旬-9月，下同）安排全廠開停車、裝置整體停工檢修和儲(chǔ)罐清洗作業(yè)等，減少非正常工況VOCs排放；確實(shí)不能調(diào)整的，應(yīng)加強(qiáng)清洗、退料、吹掃、放空、晾干等環(huán)節(jié)的VOCs無組織排放控制，產(chǎn)生的VOCs應(yīng)收集處理，確保滿足安全生產(chǎn)和污染排放控制要求。按要求執(zhí)行業(yè)非正常工況排放管理符合9建設(shè)適宜高效的治理設(shè)施。企業(yè)新建治理設(shè)施或?qū)ΜF(xiàn)有治理設(shè)施實(shí)施改造，應(yīng)結(jié)合排放VOCs產(chǎn)生特征、生產(chǎn)工況等合理選擇治理技術(shù)，對(duì)治理難度大、單一治理工藝難以穩(wěn)定達(dá)標(biāo)的，要采用多種技術(shù)的組合工藝。采用活性炭吸附技術(shù)的，吸附裝置和活性炭應(yīng)符合相關(guān)技術(shù)要求，并按要求足量添加、定期更換活性炭。組織開展使用光催化、光氧化、低溫等離子、一次性活性炭或上述組合技術(shù)等VOCs治理設(shè)施排查，對(duì)達(dá)不到要求的，應(yīng)當(dāng)更換或升級(jí)改造，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放。到2025年，完成5000家低效VOCs治理設(shè)施改造升級(jí)，石化行業(yè)的VOCs綜合去除效率達(dá)到70%以上，化工、工業(yè)涂裝、包裝印刷、合成革等行業(yè)的VOCs綜合去除效率達(dá)到60%以上。本項(xiàng)目按要求建設(shè)廢氣治理設(shè)施符合加強(qiáng)治理設(shè)施運(yùn)行管理。按照治理設(shè)施較生產(chǎn)設(shè)備“先啟后?！钡脑瓌t提升治理設(shè)施投運(yùn)率。根據(jù)處理工藝要求，在治理設(shè)施達(dá)到正常運(yùn)行條件后方可啟動(dòng)生產(chǎn)設(shè)備，在生產(chǎn)設(shè)備停止、殘留VOCs收集處理完畢后，方可停運(yùn)治理設(shè)施。VOCs治理設(shè)施發(fā)生故障或檢修時(shí)，對(duì)應(yīng)生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)停止運(yùn)行，待檢修完畢后投入使用；因安全等因素生產(chǎn)設(shè)備不能停止或不能及時(shí)停止運(yùn)行的，應(yīng)設(shè)置廢氣應(yīng)急處理設(shè)施或采取其他替代措施。項(xiàng)目加強(qiáng)治理設(shè)施運(yùn)行管理符合規(guī)范應(yīng)急旁路排放管理。推動(dòng)取消石化、化工、工業(yè)涂裝、包裝印刷、紡織印染等行業(yè)非必要的含VOCs排放的旁路。因安全等因素確須保留的，企業(yè)應(yīng)將保留的應(yīng)急旁路報(bào)當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門。應(yīng)急旁路在非緊急情況下保持關(guān)閉，并通過鉛封、安裝監(jiān)控（如流量、溫度、壓差、閥門開度、視頻等）本項(xiàng)目不涉及符合—34—設(shè)施等加強(qiáng)監(jiān)管，開啟后應(yīng)做好臺(tái)賬記錄并及時(shí)向當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境部門報(bào)告。表1-19《揮發(fā)性有機(jī)物無組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》符合性分析序號(hào)標(biāo)準(zhǔn)或文件要求本項(xiàng)目情況相符性1VOCs物料應(yīng)儲(chǔ)存于密閉的容器、包裝袋、儲(chǔ)罐、儲(chǔ)庫(kù)、料倉(cāng)中。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋應(yīng)存放于室內(nèi)，或存放于設(shè)置有雨棚、遮陽(yáng)和防滲設(shè)施的專用場(chǎng)地。盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在非取用狀態(tài)時(shí)應(yīng)加蓋、封口、保持密閉。VOCs物料儲(chǔ)罐應(yīng)密封良好，其中揮發(fā)性有機(jī)液體儲(chǔ)罐應(yīng)符合5.2條規(guī)定，VOCs物料儲(chǔ)庫(kù)、料倉(cāng)應(yīng)滿足3.6條對(duì)密閉空間的要求。本項(xiàng)目所用涉及VOCs物料的原料均密閉存放在倉(cāng)庫(kù)。相符2粉狀、粒狀VOCs物料應(yīng)采用氣力輸送設(shè)備、管狀帶式輸送機(jī)、螺旋輸送機(jī)等密閉輸送方式，或者采用密閉的包裝袋、容器或罐車進(jìn)行物料轉(zhuǎn)移。本項(xiàng)目不涉及粉狀、粒狀VOCs物料。/3對(duì)于重點(diǎn)地區(qū)，收集的廢氣中NMHC初始排放速率≥2kg/h，應(yīng)配置VOCs處理設(shè)施，處理效率不應(yīng)低于80%；采用的原輔材料符合國(guó)家有關(guān)低VOCs含量產(chǎn)品規(guī)定的除外。本項(xiàng)目VOCs均收集后進(jìn)入二級(jí)活性炭吸附裝置處理，處理效率為80%。相符造升級(jí)工作的通知》符合性分析—35—表1-20本項(xiàng)目與《杭州市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于加強(qiáng)低效揮發(fā)性有機(jī)物治理設(shè)施改造升級(jí)工作的通知》符合性分析類別具體措施本項(xiàng)目情況結(jié)論規(guī)范工程治理嚴(yán)把治理技術(shù)除惡臭異味治理外，企業(yè)應(yīng)淘汰原有單一或組合工藝中的光催化、光氧化、低溫等離子等低效VOCs治理設(shè)施，并參照《浙江省揮發(fā)依據(jù)排放廢氣特征、VOCs組分及濃度、生產(chǎn)工況等，合理選擇規(guī)范吸附裝置或升級(jí)高效VOCs治理設(shè)施，確保穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放。原料VOCs濃度高、污染嚴(yán)重的生產(chǎn)工藝原則上采用RTO、RCO等高效處理方式；采用活性炭吸附處理技術(shù)的，吸附裝置和工藝設(shè)計(jì)應(yīng)符合HJ2026-2013等技術(shù)規(guī)范要求，廢氣中含顆粒物、油煙（油霧）、水分等影響吸附過程物質(zhì)的，應(yīng)采取相應(yīng)的預(yù)處理措施。除惡臭異味治理外，一般不使用低溫等離子、光催化、光氧化等技術(shù)。本項(xiàng)目有機(jī)廢氣采用二級(jí)活性炭吸附處理。吸附裝置和工藝設(shè)計(jì)符合HJ2026-2013等技術(shù)規(guī)范要求符合嚴(yán)控?zé)o組織排放VOCs物料儲(chǔ)存、轉(zhuǎn)移和輸送、物料投加和卸放、配料加工及含VOCs產(chǎn)品（質(zhì)量占比大于等于10%的使用等環(huán)節(jié)應(yīng)采用密閉設(shè)備或嚴(yán)格落實(shí)密閉空間操作，并合理選擇廢氣收集方式，規(guī)范設(shè)計(jì)吸風(fēng)風(fēng)量，保證廢氣收集效率。本項(xiàng)目生產(chǎn)車間為潔凈車間設(shè)計(jì)，嚴(yán)格落實(shí)密閉和廢氣收集措施。符合規(guī)范活性炭吸行管理嚴(yán)把活性炭質(zhì)量關(guān)用于VOCs治理的活性炭采用煤質(zhì)活性炭或木質(zhì)活性炭，活性炭結(jié)構(gòu)應(yīng)為顆?；钚蕴??；钚蕴考夹g(shù)指標(biāo)應(yīng)符合LY/T3284規(guī)定的優(yōu)級(jí)品顆?；钚蕴考夹g(shù)要求，碘吸附值不低于800mg/g或四氯化碳化碳吸附率不低于60%。項(xiàng)目選用符合LY/T3284規(guī)定的活性炭。符合嚴(yán)格填充量和更換原則上活性炭更換周期一般不應(yīng)超過累計(jì)運(yùn)行500小時(shí)或3個(gè)月，用于吸附脫附燃燒廢氣處理設(shè)施的活性炭使用壽命原則上不超過6個(gè)月。本項(xiàng)目正常情況下活性炭更換周期不超過500h符合嚴(yán)格危廢管理產(chǎn)生活性炭企業(yè)每年都與有資質(zhì)的單位簽訂危廢處置協(xié)議，并建議在合同中明確活性炭使用量及廢活性炭產(chǎn)生量、處置量等。企業(yè)應(yīng)按要求做好活性炭吸附日常運(yùn)行維護(hù)臺(tái)賬記錄，包括開啟時(shí)間、關(guān)停時(shí)間、更換時(shí)間和裝填數(shù)量，相關(guān)臺(tái)賬應(yīng)保存5年以上。廢活性炭納入危險(xiǎn)廢物管理，每年定期委托資質(zhì)單位處置，廢活性炭設(shè)日常運(yùn)行維護(hù)臺(tái)賬記錄，同時(shí)本環(huán)評(píng)要求企業(yè)相關(guān)臺(tái)賬應(yīng)保存5年以上。符合—36—置處理，處理后廢氣經(jīng)4樓樓頂排氣筒排放。本項(xiàng)目—37—表1-21“四性五不批”要求符合性分析建設(shè)項(xiàng)目情況是否符合建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境可行性用現(xiàn)有的工業(yè)廠房來實(shí)施生產(chǎn)，符合《關(guān)于以改善環(huán)境質(zhì)量為核心加強(qiáng)環(huán)境影響評(píng)價(jià)管理的通知》(環(huán)環(huán)評(píng)(2016)150號(hào))中的“三線一單”要求，因此項(xiàng)目的建設(shè)滿足環(huán)境可行性的要求符合環(huán)境影響分析預(yù)測(cè)評(píng)估的可靠性項(xiàng)目根據(jù)《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表編制技術(shù)指南（污染影響類試行）》及國(guó)家相關(guān)規(guī)范的技術(shù)要求進(jìn)行環(huán)境影響分析，預(yù)測(cè)評(píng)估是可靠的符合環(huán)境保護(hù)措施的有效性項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)期產(chǎn)生的各類污染物成份均不復(fù)雜，屬常規(guī)污染物，對(duì)于這些污染物的治理技術(shù)目前已比較成熟，因此從技術(shù)上分析，只要切實(shí)落實(shí)環(huán)評(píng)報(bào)告提出的各項(xiàng)污染防治措施，各類污染物均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放，因此其環(huán)境保護(hù)措施是可靠合理的符合環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論的科學(xué)性本環(huán)評(píng)結(jié)論客觀、過程公開、評(píng)價(jià)公正，并綜合考慮建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施后對(duì)各種環(huán)境因素可能造成的影響，環(huán)評(píng)結(jié)論是科學(xué)的符合五不準(zhǔn)建設(shè)項(xiàng)目類型及其選布局、規(guī)模等不符合環(huán)境保護(hù)法律法和相關(guān)法定規(guī)劃本項(xiàng)目的建設(shè)符合當(dāng)?shù)乜傮w規(guī)劃，符合國(guó)家、地方產(chǎn)業(yè)政策，各類污染物均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放，對(duì)環(huán)境影響不大。項(xiàng)目符合環(huán)境保護(hù)法律法規(guī)和相關(guān)法定規(guī)劃不屬于不予批準(zhǔn)的情形所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量未達(dá)到國(guó)家或者地方環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，且建設(shè)項(xiàng)目擬采取的措施能滿足區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo)項(xiàng)目所在地屬環(huán)境空氣不達(dá)標(biāo)區(qū)，地表水環(huán)境、聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀均較好。項(xiàng)目實(shí)施后，只要切實(shí)落實(shí)環(huán)評(píng)報(bào)告提出的各項(xiàng)污染防治措施，本項(xiàng)目各類污染物均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放，對(duì)環(huán)境影響不大，項(xiàng)目實(shí)施不會(huì)改變所在地的環(huán)境質(zhì)不屬于不予批準(zhǔn)的情形—38—管理要求量水平和環(huán)境功能建設(shè)項(xiàng)目采取的污染防治措施無法確保污染物排放達(dá)到國(guó)家和地方排放標(biāo)準(zhǔn)，或者未采取必要措施預(yù)防和控制生態(tài)破壞只要切實(shí)落實(shí)環(huán)評(píng)報(bào)告提出的各項(xiàng)污染防治措施，本項(xiàng)目各類污染物均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放不屬于不予批準(zhǔn)的情形改建、擴(kuò)建和技術(shù)改造項(xiàng)目，未針對(duì)項(xiàng)目原有環(huán)境污染和生態(tài)破壞提出有效防治措施本項(xiàng)目不涉及原有環(huán)境污染和生態(tài)破壞不于不予批準(zhǔn)的情形建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書、環(huán)境影響報(bào)告表的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)明顯不實(shí)，內(nèi)容存在重大缺陷、遺漏，或者環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論不明確、不合理。本項(xiàng)目數(shù)據(jù)真實(shí)可靠，內(nèi)容完善，環(huán)境影響評(píng)價(jià)合理不屬于不予批準(zhǔn)的情形—39—建設(shè)項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))。許可項(xiàng)目：貨物進(jìn)出口(依法批結(jié)果為準(zhǔn))。2022年，建設(shè)單位擬投資21000萬元，租賃杭州市錢塘區(qū)東分類管理目錄》的有關(guān)規(guī)定，本項(xiàng)目屬于“三十五、電氣機(jī)械和器材制造業(yè)38--77電機(jī)制造381；輸配電及控制設(shè)備制造382；電線、電纜、光纜工器材制造383；電池制造384；家用電力器具制造385；非電力家用器具分割、焊接、組裝的除外；年用非溶劑型低VOCs含量涂料10噸以下的除外）?,需編制環(huán)境影響報(bào)告表。受杭州德峰半導(dǎo)體有限類）、法律法規(guī)及其它有關(guān)文件，編制了該—40—表2-1建設(shè)項(xiàng)目組成工程類別工程規(guī)模主體工程6幢3層面積為2623.36m2，高度為5.5m，布置測(cè)試間、封裝間、實(shí)驗(yàn)中心、發(fā)貨區(qū)、廢液回收間、組件區(qū)、造型區(qū)、輔助間、機(jī)加工區(qū)、中間倉(cāng)庫(kù)、產(chǎn)品等。6幢4層面積為2623.36m2，高度為5.5m，布置噴硼灰區(qū)、噴硼區(qū)、擴(kuò)散灰區(qū)、檢測(cè)區(qū)、蒸發(fā)區(qū)、等離子刻蝕灰區(qū)、腐蝕清洗區(qū)、去膠間、曝光間、勻膠間、超聲波清洗間、化試中轉(zhuǎn)間、腐蝕間、涂膠間、制版間、暗室、純水間、準(zhǔn)備間、檢測(cè)間、一般監(jiān)控室等。儲(chǔ)運(yùn)工程輔助車間一位于6幢東側(cè)，面積為61.75m2，高度為5.25m；輔助車間二位于6幢東南側(cè)，面積為106.25m2，高度為5.25m；輔助車間三位于6幢東南側(cè)，面積為160m2，高度為5.25m；甲類倉(cāng)庫(kù)位于博潮城南側(cè)沿圍墻處，面積為183.6m2，高度為5.25m；產(chǎn)品庫(kù)位于三層倉(cāng)庫(kù)公用工程給水水源采用城市自來水,區(qū)域內(nèi)市政水壓擬為0.25MPa，本工程給水接自廠區(qū)已建給水管網(wǎng)。排水項(xiàng)目排水實(shí)行雨污分流。雨水經(jīng)雨水管道收集后排入市政雨水管道。生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后納管排入市政污水管網(wǎng)，由臨江污水處理廠集中處理。生產(chǎn)廢水重力自流排入室外污水管，通過地埋式污水管道送廠區(qū)南側(cè)的污水站。廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)到納管標(biāo)準(zhǔn)后納入市政污水管網(wǎng)，由臨江污水處理廠集中處理。純水制備系統(tǒng)位于生產(chǎn)廠房東側(cè)純化間，面積約50m2供電由當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)供給。在車間三層設(shè)置一處高壓配電房，擬設(shè)置2臺(tái)2500KVA干式變壓器供電給本層用電設(shè)備用電。本工程采用兩路10KV電源供電，能滿足消防和大部分工藝負(fù)荷的供電要求。供氣制氧站：在生產(chǎn)廠房東側(cè)設(shè)置氧氣站，設(shè)置1個(gè)2m3氧氣氮儲(chǔ)罐。供氫站：在生產(chǎn)廠房東側(cè)設(shè)置供氫站，設(shè)置集裝格用于外購(gòu)成品氫氣氣瓶?jī)?chǔ)存，共設(shè)置4組氫氣集裝格，單組氫氣集裝格存放16個(gè)鋼瓶，單瓶容量47L。供氮站：在生產(chǎn)廠房東側(cè)設(shè)置氮?dú)庹?，設(shè)置1個(gè)20m3液氮儲(chǔ)罐。新風(fēng)凈化系統(tǒng)及排萬級(jí)凈化車間為全封閉設(shè)置，僅靠空調(diào)送風(fēng)。本項(xiàng)目擬在生產(chǎn)車間內(nèi)配置組合式空調(diào)機(jī)組與冷水機(jī)組各1套?？照{(diào)系統(tǒng)含風(fēng)機(jī)段及初效和中效過濾段、混合段，通過風(fēng)道向操作區(qū)送風(fēng)，在風(fēng)道出口處再安裝普通型過濾器。經(jīng)凈化處理后的空氣可以滿足生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈廠房的—41—?dú)庀到y(tǒng)要求。車間及過道內(nèi)的熱排放風(fēng)通過管道收集后在樓頂與補(bǔ)充的新風(fēng)混合后經(jīng)空氣凈化系統(tǒng)凈化后又循環(huán)返回至車間內(nèi)。擴(kuò)散、燒結(jié)由于生產(chǎn)溫度較高，設(shè)備加熱處多余的熱量由熱排風(fēng)系統(tǒng)排出屋頂。環(huán)保工程廢氣酸性廢氣經(jīng)收集后由1套“二級(jí)堿液噴淋”處理，由30m高DA001排氣筒排放；有機(jī)廢氣采用設(shè)備密閉收集+1套“二級(jí)活性炭吸附裝置”處理后，由30m高DA002排氣筒排放；廢水治理廠區(qū)污水站位于廠區(qū)南側(cè)沿圍墻處的輔助車間四，車間面積為288m2，高度為6.5m，生產(chǎn)廢水經(jīng)“酸堿中和+氟化鈣沉淀+絮凝沉淀工藝”后納管排入市政污水管網(wǎng)，由臨江污水處理廠集中處理。設(shè)置一個(gè)一般固廢暫存庫(kù)，位于輔助車間四內(nèi)，暫存庫(kù)面積約為10m2；設(shè)置一個(gè)危險(xiǎn)廢物暫存庫(kù)，位于甲類倉(cāng)庫(kù)，暫存庫(kù)面積約為20m2；各危險(xiǎn)廢物委托資質(zhì)單位處置；生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)。治理①選用先進(jìn)的低噪聲設(shè)備；②合理布局生產(chǎn)設(shè)備，不同功能布局的區(qū)域采用墻體進(jìn)行分隔；③對(duì)高噪聲設(shè)備設(shè)置隔聲、吸聲/消聲、減振等降噪措施。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)在廠區(qū)南側(cè)沿圍墻處（輔助車間四西側(cè)）設(shè)一個(gè)應(yīng)急池，容積為400m3；分區(qū)防滲，危廢間、輔料倉(cāng)庫(kù)、廢水處理設(shè)施區(qū)進(jìn)行重點(diǎn)防滲，防滲要求為基礎(chǔ)必須防滲，防滲層為至少1m厚粘土層（滲透系數(shù)≤10-7cm/s），或2mm厚高密度聚乙烯，或至少2mm厚的其他人工材料，滲透系數(shù)≤10-10cm/s。制定突發(fā)事故應(yīng)急預(yù)案并備案，配備相應(yīng)應(yīng)急物資，定期進(jìn)行演練。依托工程項(xiàng)目生活污水依托園區(qū)現(xiàn)有化糞池處理達(dá)標(biāo)后納管排放，經(jīng)臨江污水處理廠集中處理后排放。項(xiàng)目不設(shè)辦公樓、食堂，員工辦公依托園區(qū)2#綜合樓現(xiàn)有辦公室，食堂、宿舍依托園區(qū)2#綜合樓現(xiàn)有設(shè)施。本項(xiàng)目產(chǎn)品主要為大功率的晶閘管（包括整流器、晶閘管及其派生器），表2-2晶閘管主要技術(shù)指標(biāo)序號(hào)項(xiàng)目描述指標(biāo)年產(chǎn)量1產(chǎn)品PNPN四層半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，它有三個(gè)極：陽(yáng)極，陰極和門極30萬支2尺寸最大直徑127mm 最小直徑50.8mm 3電學(xué)特性功率范圍300KW~36000KW 電流范圍500~5000A 電壓范圍600~7200V——42—表2-3項(xiàng)目晶閘管生產(chǎn)主要限能設(shè)備與產(chǎn)能匹配性核算表序號(hào)主要限能生產(chǎn)設(shè)備工序設(shè)備數(shù)量(臺(tái))生產(chǎn)能力設(shè)備生產(chǎn)能力(萬支/a)支/a)匹配性1擴(kuò)散爐鋁擴(kuò)/磷擴(kuò)/氧化推進(jìn)150片/天42.8302電子束真空鍍膜機(jī)蒸發(fā)34#70面/小時(shí)30.5305#35面/小時(shí)6#40面/小時(shí)圖2-1產(chǎn)品晶閘管晶閘管（Thyristor）是晶體閘流管的簡(jiǎn)稱，又可稱做可控硅整流器，以修方便等優(yōu)點(diǎn)，因此在各個(gè)工業(yè)部門和民用—43—效率高，成本低等。因此，特別是在大功率UPS供電系統(tǒng)中，晶閘管在整對(duì)側(cè)為中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司，西側(cè)為本項(xiàng)目租賃杭州大江東地產(chǎn)開發(fā)有限公司坐落在杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚業(yè)）、農(nóng)田（農(nóng)田距離項(xiàng)目約185m，規(guī)劃為工業(yè)用地）；租賃建筑西側(cè)為本項(xiàng)目具體地理位置見附圖1，周圍環(huán)境概表2-4周邊環(huán)境概況表方位距離（m）現(xiàn)狀-杭州澤達(dá)半導(dǎo)體有限公司東緊鄰園區(qū)道路80（隔路）杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司南緊鄰6幢南廠房758幢廠房西32賽德光電材料（浙江）有限責(zé)任公司北20至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司70園區(qū)1幢綜合樓、2幢綜合樓—44—超聲波清洗間、化試中轉(zhuǎn)間、腐蝕間、涂膠表2-5項(xiàng)目原輔材料及消耗量序號(hào)原料名稱年消耗量規(guī)格備注1單晶硅片33萬片50.8~127mm2.78t2鉬片33萬套50.8~127mm3管殼30萬套50.8~127mm4高純鋁60g純度99.99999%鋁擴(kuò)散5三氯氧磷20kg電子純500ml/瓶磷擴(kuò)散630%過氧化氫4t分析純4L瓶清洗736%鹽酸0.8t分析純4L/瓶酸洗825%氨水2t分析純4L/瓶堿洗940%氟化銨0.8t分析純4L/瓶腐蝕40%氫氟酸分析純4L/瓶腐蝕混合酸2.6t分析純4L/瓶40%氫氟酸與65%硝酸混合（1:6）—45—95%硫酸分析純4L/瓶去膠85%磷酸4t優(yōu)級(jí)純500ml/瓶腐蝕無水乙醇1500L優(yōu)級(jí)純500ml/瓶硼擴(kuò)RFJ-220負(fù)性光刻膠1600L4L/瓶混合二甲苯85%、環(huán)化橡膠15%、2,6-二（4-疊氮苯亞甲基）-4甲基環(huán)己酮0.35%光刻RFX-2277負(fù)性顯影液1600L4L/瓶混合二甲苯25%，正庚烷75%顯影RFP-2202負(fù)性漂洗液600L4L/瓶乙酸丁酯100%漂洗氮?dú)庖旱薇Ｗo(hù)氣液氧液氧罐推進(jìn)氧化、磷擴(kuò)散20氫氣35集裝格-21硼粉（B2O3）100g/瓶硼擴(kuò)22金鋼砂W20，20kg/袋磨角23高純水9449.85t-清洗24硅橡膠（液體硅橡膠）450kg1kg/瓶涂膠25丙酮20L500mL/瓶少量硅片擦洗26氫氧化鈉（片堿）25kg/袋廢氣處理、水處理％，99.9999999％以上。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能—46—透明、無色或帶黃色有獨(dú)特的窒息性氣味的腐蝕性液），），）：），）：—47—堿性溶液中極易分解，在遇強(qiáng)光，特別是短波射線照射時(shí)也能發(fā)生分解。當(dāng)加熱到100℃以上時(shí)，開始急劇分解。它與許多石油產(chǎn)品等形成爆炸性混合物，在撞擊、受熱或電火花作用下能發(fā)生爆炸。毒的氰化氫氣體。與堿發(fā)生中合反應(yīng)，并放—48—呼吸道刺激癥狀，或有鼻衄，嗅覺減退?？捎醒例X酸蝕癥。骨骼X線異常與—49—急性毒性：LD50：1530mg/kg(大鼠經(jīng)口)；274—50—）；）；—51—），遇明火、高熱極易燃燒爆炸。與氧化劑能發(fā)生強(qiáng)烈反應(yīng)。其蒸氣比空氣重，表2-6項(xiàng)目主要生產(chǎn)設(shè)備器序號(hào)工序設(shè)備名稱規(guī)格單位數(shù)量1硅片清洗/腐蝕硅片清洗腐蝕機(jī)QZ-603H臺(tái)清洗甩干機(jī)CXS-215D臺(tái)5超聲波清洗機(jī)FJD-400臺(tái)42擴(kuò)散爐鋁擴(kuò)鋁擴(kuò)擴(kuò)散爐L6271-ZM臺(tái)6磷擴(kuò)磷擴(kuò)擴(kuò)散爐L6272-ZM臺(tái)2氧化推進(jìn)氧化擴(kuò)散爐L6271-ZM臺(tái)5硼擴(kuò)氧化擴(kuò)散爐L6271-ZM臺(tái)63光刻自動(dòng)勻膠機(jī)KW-5臺(tái)2自動(dòng)曝光機(jī)BG-406-6臺(tái)54顯影顯影定影機(jī)XF/XY-2014-08臺(tái)25蒸發(fā)電子束真空鍍膜機(jī)ZSN-800A臺(tái)36燒結(jié)/合金箱式真空燒結(jié)爐L4811-II-2/ORB臺(tái)27磨角激光割圓機(jī)CT-LC500臺(tái)2磨角機(jī)BM009臺(tái)48烘干、固化烘箱HY02A-21H臺(tái)99檢測(cè)晶閘管IH，IGT，測(cè)試儀CP57-DBC-031臺(tái)3晶閘管電流上升率測(cè)試臺(tái)DBC-083-DI/DI臺(tái)1通態(tài)及正向峰值電壓測(cè)試臺(tái)DBC-016臺(tái)1少字壽命測(cè)試儀HS-CLT臺(tái)2高壓阻斷特性測(cè)試儀DBC-028型臺(tái)2晶閘管特性圖示儀DZ01-0701臺(tái)3—52—四探針測(cè)試儀臺(tái)2綜合測(cè)試臺(tái)DBC-227臺(tái)1封裝冷壓封裝機(jī)LY5060CP臺(tái)2公用/輔助/環(huán)保設(shè)備液氧罐及氣化器2m3套1液氮儲(chǔ)罐及氣化器20m3套1氫氣集裝格套4螺桿式空壓機(jī)臺(tái)1純水制備系統(tǒng)10m3/h套1空調(diào)凈化系統(tǒng)-套3真空泵2X-8臺(tái)冷卻水系統(tǒng)-套120鼓風(fēng)機(jī)-臺(tái)221廢水處理系統(tǒng)處理能力10t/h套122酸霧廢氣洗滌塔風(fēng)機(jī)風(fēng)量20000m3/h套123有機(jī)廢氣吸附塔風(fēng)機(jī)風(fēng)量4000m3/h塔1表2-7主要設(shè)備特點(diǎn)及先進(jìn)性說明序號(hào)設(shè)備名稱特點(diǎn)及先進(jìn)性1擴(kuò)散爐應(yīng)用軟件程序精確控制擴(kuò)散溫度，恒溫區(qū)內(nèi)溫度偏差小于0.5度，保證雜質(zhì)擴(kuò)散深度一致性。2超聲波清洗機(jī)應(yīng)用軟件程序精確控制清洗模式，智能化操作，清洗質(zhì)量高，效率高。3自動(dòng)曝光機(jī)通過均勻曝光，將設(shè)計(jì)的圖形轉(zhuǎn)移至硅片表面，線條清晰，套刻精準(zhǔn)。4自動(dòng)勻膠機(jī)采用全自動(dòng)化方式將光刻膠涂敷在硅片表面，效率高，膠膜一致性好。5顯影定影機(jī)加工速度快，顯影效果好，節(jié)省顯影液等特點(diǎn)。6硅片清洗腐蝕機(jī)應(yīng)用軟件程序精確控制腐蝕工藝，智能化操作，腐蝕均勻性好，偏差小于2微米，效率高。7電子束真空鍍膜機(jī)在高真空條件下，通過電子束熔化金屬，均勻蒸發(fā)到硅片表面，膜層均勻性好，效率高，全程自動(dòng)化操作。8磨角機(jī)通過軟件程序精確控制研磨厚度，研磨精度高。9測(cè)試儀全自動(dòng)編程測(cè)試分選，測(cè)試效率高。本項(xiàng)目勞動(dòng)定員165人，采用雙班制，工作時(shí)間為8:—53—原水箱一級(jí)反滲透裝置活性炭過濾器原水原水箱一級(jí)反滲透裝置活性炭過濾器原水石英砂過濾器石英砂過濾器濃水排入污水管網(wǎng)二級(jí)反滲透裝置二級(jí)反滲透裝置EDI除鹽技術(shù)精濾床紫外線殺菌純水儲(chǔ)罐車間用水點(diǎn)純水儲(chǔ)罐車間用水點(diǎn)過濾器圖2-2純水制備工藝流程—54—?dú)馄績(jī)?chǔ)存，共設(shè)置4組氫氣集裝格，單組氫氣集裝格存放16個(gè)鋼瓶，單瓶供氮站：在生產(chǎn)廠房東側(cè)設(shè)置氮?dú)庹荆O(shè)置1個(gè)20m3液氮儲(chǔ)罐，用于—55—洗等工序設(shè)備操作柜內(nèi)產(chǎn)生的酸堿廢氣經(jīng)集氣罩收集—56—5866.75280酸性清洗廢水209.6201.6堿洗廢水9449.8513499.79堿洗酸液等損耗22.46.4217.6201.64049.94酸洗廢水9.25酸性廢水3943.243943.24化糞池300冷卻廢水冷卻塔損耗1685866.75280酸性清洗廢水209.6201.6堿洗廢水9449.8513499.79堿洗酸液等損耗22.46.4217.6201.64049.94酸洗廢水9.25酸性廢水3943.243943.24化糞池300冷卻廢水冷卻塔中性清洗廢水9013.4損耗586.79013.4純水清洗損耗146.7堿性清洗廢水1466.71320堿性清洗廢水堿液等14.4損耗22.4純水制備系統(tǒng)酸洗酸液等14399.795.25損耗1.5工藝用水損耗10.7酸霧噴淋損耗10.7酸霧噴淋塔用水968611.2循環(huán)回用廠區(qū)污水處理站反沖洗濃水損耗90600510600員工生活損耗200冷卻水系統(tǒng)冷卻水系統(tǒng)13164.44循環(huán)回用臨江污水處理廠循環(huán)回用單位：t/a圖2-3項(xiàng)目水平衡—57—廢水0.069t廢氣0.097t廢水處理噴淋廢水0.068t污泥t單位：t/a折合總氟0.693t廢水0.069t廢氣0.097t廢水處理噴淋廢水0.068t污泥t單位：t/a折合總氟0.693t40%40%氫氟酸中氟0.383t40%氟化銨中氟混合酸中氟廢酸液0.527t廢氣排放0.023t廢水納管9t圖2-4氟元素平衡—58—三氯氧磷中磷0.004t廢酸液0.7558t廢氣0.0002t廢水0.216t廢水處理0.21615t廢氣排放0.00005t單位：t/a污泥0.173t廢水納管0.043t三氯氧磷中磷0.004t廢酸液0.7558t廢氣0.0002t廢水0.216t廢水處理0.21615t廢氣排放0.00005t單位：t/a污泥0.173t廢水納管0.043t20%隨清洗廢水進(jìn)入廢水，其余形成磷酸廢液。磷85%磷酸中的磷1.076t折合總磷1.080t進(jìn)入產(chǎn)品進(jìn)入產(chǎn)品0.108t噴淋廢水0.00015t圖2-5磷元素平衡本項(xiàng)目使用的含N元素的物料有25%氨水、40%氟化銨、混合酸中的硝—59—混合酸中的氮0.312t25%氨水中的氮0.2t40%氟化銨中的氮廢氣0.01923t廢水0.2522t廢水處理0.2666t廢氣排放0.0048t污泥0.2133t廢水納管0.0533t混合酸中的氮0.312t25%氨水中的氮0.2t40%氟化銨中的氮廢氣0.01923t廢水0.2522t廢水處理0.2666t廢氣排放0.0048t污泥0.2133t廢水納管0.0533tⅣ光刻膠中2,6-二（4-疊氮苯亞甲基）-4甲基環(huán)己酮含量為0.0054t，光刻膠中的氮0.001t折合總氮0.637t廢酸液廢酸液0.3656t噴淋廢水0.0144t單位：t/a圖2-6氮元素平衡正庚烷75%）、漂洗液（乙酸乙酯100%）、乙醇、丙酮等，工序中產(chǎn)生的有機(jī)廢氣以VOCs計(jì)。本次乙醇、丙酮以全部揮發(fā)計(jì)，光刻膠、顯影液、漂洗液按50%來計(jì)算揮發(fā)性有機(jī)物的產(chǎn)生量。光刻膠、顯影液、漂洗液按5%—60—漂洗液0.528t顯影液1.168t光刻膠1.424tVOC廢氣2.353t廢水0.216tVOC排放0.471t廢水納管漂洗液0.528t顯影液1.168t光刻膠1.424tVOC廢氣2.353t廢水0.216tVOC排放0.471t廢水納管0.043t污泥0.173t無水乙醇總計(jì)4.320t廢液廢液1.751t廢活性炭吸附單位：t/a圖2-7VOC平衡—61—工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)單晶硅片硅片清洗鋁擴(kuò)散推進(jìn)氧化一次光刻磷擴(kuò)散清洗擴(kuò)硼清洗 鍍膜二次、三次光刻金屬化后加工客戶圖2-8項(xiàng)目生產(chǎn)總流程純水純水過氧化氫溶液氨水溶液純水純水過氧化氫溶液鹽酸溶液純水單晶硅片超聲波清洗W1清洗廢水、噪聲W2堿洗廢水G1含NH3堿性廢氣W3清洗廢水W4酸洗廢水G2含HCl酸性廢氣W5清洗廢水純水清洗純水清洗下道工序圖2-9硅片清洗工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)解作用，使有機(jī)物沾污變成水溶性化合物，隨維持浸洗約10min，再經(jīng)純水沖洗。原理：它具有極強(qiáng)被氧化的金屬離子與Cl-作用生成的可溶性絡(luò)合物亦隨去離子水沖洗而被去酸：鹽酸=1：3）改成了煮堿性溶液、酸性溶—62——63—種清洗液能很好地清洗硅片上殘存的蠟、松香等有機(jī)物及一些重金屬如金、高純鋁烘干圖2-10鋁擴(kuò)散工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)過程采用電加熱），在硅片表面生成約1微米厚度的SiO2層，做為磷擴(kuò)時(shí)—64—負(fù)性光刻膠掩膜版紫外光照顯影液漂洗液純水氫氟酸溶液氟化銨溶液硫酸溶液純水勻膠曝光曝光顯影、漂洗腐蝕去膠G3勻膠廢氣G4顯影、漂洗廢氣S1顯影廢液S2漂洗廢液S3酸性腐蝕廢液G3含HF酸性廢氣S4硫酸廢液G6硫酸霧廢氣W6清洗廢水純水清洗圖2-11一次光刻工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)—65—圖2-12勻膠設(shè)備示意圖時(shí)間60s），使部分光刻得到光照，另外部分光刻膠得不到光照，從而改變顯影、漂洗：在顯影液、漂洗液中漂洗50s，對(duì)曝光后的光刻膠進(jìn)行去—66—影液，這樣就使光刻膠上形成了溝槽，即形成窗腐蝕：采用腐蝕劑（純水：HF：NH4F=15:1:3）將硅片表面形成的二氧G7酸性Cl2廢氣氧氣氮?dú)馊妊趿琢讛U(kuò)（高溫）下一工序圖2-13磷擴(kuò)散工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)磷擴(kuò)：將硅片插入載片舟，放入磷擴(kuò)爐，通入氧氣400ml/min、氮?dú)?POCl3=3PCl5+P2O5—67—?dú)浞崛芤杭兯チ坠璨Ａ8HF酸性廢氣S5含氫氟酸廢液W7清洗廢水純水清洗氮?dú)庋鯕鈭D2-14清洗工藝流程氮?dú)庋鯕夂玫臍W姆接觸。利用氫氟酸在室溫下把磷硅玻璃腐蝕（浸泡5min左右），＋6HF→H2（SiF62H2O噴硼B(yǎng)2O3G9乙醇廢氣噴硼預(yù)沉積擴(kuò)散清洗純水W8清洗廢水清洗再分布氧化推進(jìn)圖2-15擴(kuò)硼工藝流程在預(yù)沉積過程中硅片被送入高溫?cái)U(kuò)散爐，雜質(zhì)原子從源轉(zhuǎn)移到擴(kuò)散爐薄層氧化物(稱為掩蔽氧化層)以防止雜質(zhì)原子從硅中擴(kuò)散出去。預(yù)沉積為—68—整個(gè)擴(kuò)散過程建立了濃度梯度。表面濃度最高，2B2O3+3Si→3SiO2+4B(向硅中擴(kuò)散)再分布氧化過程中是一個(gè)高溫過程(1000~1250℃)，用以使淀積的雜在晶圓中向深處再分布、氧化晶圓的暴露面。先將硅片清洗(方法同清洗)，然后將烘干的硅片推入擴(kuò)散爐的恒溫制主要是推填隙擴(kuò)散機(jī)制，氧化時(shí)硅片表面存在大量過剩填隙雜質(zhì)原子，填隙原子數(shù)增加，導(dǎo)致空位數(shù)量減少(填隙原子-空位復(fù)合))。該過程反應(yīng)為：Si＋H2O→SiO2＋2H2(濕氧化)Si＋O2→SiO2(干氧化)擴(kuò)硼工序?qū)a(chǎn)生清洗廢水W10、乙醇廢氣G9、乙醇廢液S6。燒結(jié)：硅片-鋁片-鉬片按順序疊放，擺入燒結(jié)爐中，升溫至660℃恒溫—69—負(fù)性光刻膠掩膜版紫外光照顯影液漂洗液磷酸溶液硫酸雙氧水純水勻膠曝光曝光G10勻膠廢氣G11顯影、漂洗廢氣S7顯影廢液S8漂洗廢液S9磷酸廢液S10去膠廢液W9清洗廢水顯影、漂洗腐蝕去膠純水清洗圖2-16二次、三次光刻工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)2Al+6H3PO4=2Al(H2PO4)3+3H2。在高溫真空爐中退火，N2作為保護(hù)氣體，530℃恒溫40min，使硅鋁形—70—純水金剛砂混合酸溶液硅橡膠磨角腐蝕腐蝕W10磨角廢水S11酸性腐蝕廢液G14非甲烷總烴G14非甲烷總烴涂膠 檢測(cè)封裝總裝圖2-17后加工工序流程及“三廢”排放節(jié)點(diǎn)），Si+4HNO3=SiO2+4NO2+2H2OSiO2+6—71—便于引出電極，增加電熱接觸的機(jī)械強(qiáng)度，保證表2-8項(xiàng)目產(chǎn)排污環(huán)節(jié)類別污染類型排放源污染源編號(hào)污染物排放去向生產(chǎn)廢氣堿洗G1堿性廢氣：NH3堿液噴淋塔酸洗G2酸性廢氣：HCl二級(jí)堿液噴淋塔一次光刻勻膠G3有機(jī)廢氣：二甲苯二級(jí)活性炭吸附裝置一次光刻顯影、漂洗G4正庚烷、乙酸丁酯二級(jí)活性炭吸附裝置一次光刻腐蝕G5酸性廢氣：HF二級(jí)堿液噴淋塔一次光刻去膠G6酸性廢氣：硫酸霧二級(jí)堿液噴淋塔磷擴(kuò)G7酸性廢氣：Cl2二級(jí)堿液噴淋塔去磷硅玻璃層G8酸性廢氣：HF二級(jí)堿液噴淋塔噴硼G9有機(jī)廢氣：乙醇二級(jí)活性炭吸附裝置二次、三次光刻勻膠G10有機(jī)廢氣：二甲苯二級(jí)活性炭吸附裝置二次、三次光刻顯影、漂洗G11正庚烷、乙酸丁酯二級(jí)活性炭吸附裝置后加工腐蝕G12酸性廢氣：HF二級(jí)堿液噴淋塔G13二級(jí)堿液噴淋塔涂膠、固化G14非甲烷總烴二級(jí)活性炭吸附裝置廢水超聲波清洗W1清洗廢水：COD廠區(qū)污水站堿洗W2純水清洗W3清洗廢水：COD、氨氮酸洗W4純水清洗W5清洗廢水：COD、Cl-純水清洗W6清洗廢水：COD、SO42-—72—純水清洗W7清洗廢水：COD、F-純水清洗W8清洗廢水：COD、氨氮純水清洗W9清洗廢水：COD、磷酸鹽磨角廢水W10磨角廢水：COD酸霧洗滌W11廢氣處理廢水：COD固體廢物顯影顯影廢液委托資質(zhì)單位處置漂洗漂洗廢液委托資質(zhì)單位處置一次光刻腐蝕氟酸）委托資質(zhì)單位處置去膠硫酸廢液委托資質(zhì)單位處置去磷硅玻璃層含氫氟酸廢液委托資質(zhì)單位處置擴(kuò)硼乙醇廢液委托資質(zhì)單位處置顯影顯影廢液委托資質(zhì)單位處置漂洗漂洗廢液委托資質(zhì)單位處置腐蝕磷酸廢液委托資質(zhì)單位處置去膠S10去膠廢液委托資質(zhì)單位處置腐蝕氫氟酸、硝酸）委托資質(zhì)單位處置廢氣處理S12廢活性炭委托資質(zhì)單位處置廢水處理S13污水站污泥委托資質(zhì)單位處置試劑/原料使用S14沾染?；返膹U包裝物委托資質(zhì)單位處置原料使用S15一般廢包裝材料外售，綜合利用純水制備S16廢RO膜、廢濾芯、廢活性炭生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商回收維修S17廢機(jī)油委托資質(zhì)單位處置S18廢抹布、手套委托資質(zhì)單位處置車間內(nèi)外各設(shè)備--生活廢水員工生活W12生活污水：COD、NH3-N化糞池固體廢物員工生活S19生活垃圾當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運(yùn)與項(xiàng)關(guān)的原有環(huán)境污染—73—環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀根據(jù)杭州市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布的《2022年杭州市蕭山區(qū)生態(tài)環(huán)境狀況公同時(shí)，本次評(píng)價(jià)引用杭州市生態(tài)環(huán)境局（epb.h表3-1大氣污染物監(jiān)測(cè)結(jié)果單位：μg/m3，CO為mg/m3污染物2022年度現(xiàn)狀濃度標(biāo)準(zhǔn)值達(dá)標(biāo)情況SO2年平均濃度660達(dá)標(biāo)NO2年平均濃度3240達(dá)標(biāo)PM10年平均濃度527074.3達(dá)標(biāo)PM2.5年平均濃度303585.7達(dá)標(biāo)CO第95百分位數(shù)0.9422.5達(dá)標(biāo)O3第90百分位數(shù)超標(biāo)210和PM2.5出標(biāo)準(zhǔn)限值。說明項(xiàng)目擬建地所在區(qū)域2022年空氣環(huán)境質(zhì)量不能滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）中二類功能區(qū)的要求，屬于年。規(guī)劃期限分為近期（2016年-2020年）、中期（2021年-2025年）和遠(yuǎn)—74—位。②主要目標(biāo)：通過二十年努力，全市大氣污染物排放總量顯著下降，氣清新的好天氣。到2025年，實(shí)現(xiàn)全市域大氣“清潔排放區(qū)”建設(shè)目標(biāo)，大氣污染物排放總量持續(xù)穩(wěn)定下降，基本消除重污染天氣，市區(qū)PM2.5年均濃PM2.5年均濃度力爭(zhēng)達(dá)到30微克/立方米以下，全市O3濃度出現(xiàn)下降拐點(diǎn)。面穩(wěn)定達(dá)到國(guó)家空氣質(zhì)量二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，PM2.5年均濃度達(dá)到25微克/立方米以亞運(yùn)”暨環(huán)境空氣質(zhì)量鞏固提升實(shí)施計(jì)劃》等有關(guān)文件，杭州市正積極致力—75—表3-2其他污染物補(bǔ)充監(jiān)測(cè)點(diǎn)位基本信息監(jiān)測(cè)點(diǎn)名稱監(jiān)測(cè)點(diǎn)UTM坐標(biāo)/m監(jiān)測(cè)因子監(jiān)測(cè)時(shí)段相對(duì)廠址方位相對(duì)廠址距離/m備注XYA1（項(xiàng)25779933611782023.1.13~2023.1.15廠區(qū)內(nèi)-補(bǔ)充監(jiān)測(cè)2577963360653非甲烷總烴2023.1.13~2023.1.15西側(cè)補(bǔ)充監(jiān)測(cè)2022.02.24~03.02《杭州澤達(dá)半導(dǎo)體有限公司高性能激光器項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書》北側(cè)）--硫酸2020.09.11~09.17東北400《至芯半導(dǎo)體（杭州）有限公司深紫外UVC芯片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》表3-3監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)及分析結(jié)果表監(jiān)測(cè)點(diǎn)位污染物平均時(shí)間評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)(μg/m3)監(jiān)測(cè)濃度范圍(μg/m3)最大濃度占標(biāo)率(%)超標(biāo)率(%)達(dá)標(biāo)情況A1氯化氫50<21-0達(dá)標(biāo)氨20020~5025.00達(dá)標(biāo)非甲烷總烴一次值200069.50達(dá)標(biāo)A2非甲烷總烴一次值200068.50達(dá)標(biāo)氟化物20<0.5<2.50達(dá)標(biāo)24h平均7<0.06<0.90達(dá)標(biāo)氯化氫50<20<1.00達(dá)標(biāo)24h平均<2<13.30達(dá)標(biāo)氯<30<30.00達(dá)標(biāo)24h平均30<1<3.30達(dá)標(biāo)硫酸300<5<1.70達(dá)標(biāo)A3氟化物20<0.5<2.50達(dá)標(biāo)24h平均7<0.06<0.90達(dá)標(biāo)氯化氫50<20<25.00達(dá)標(biāo)24h平均<4<26.70達(dá)標(biāo)—76—氯<30<30.00達(dá)標(biāo)24h平均30<1<3.30達(dá)標(biāo)硫酸300<5<1.70達(dá)標(biāo)24h平均<5<5.00達(dá)標(biāo)注：氟化物執(zhí)行《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2），附錄D其他污染物空氣質(zhì)量濃度參考限值。表3-4錢江直河監(jiān)測(cè)點(diǎn)水質(zhì)監(jiān)測(cè)結(jié)果（單位：mg/L，pH為無量綱）監(jiān)測(cè)項(xiàng)目pHCODMnNH3-NTPDO標(biāo)準(zhǔn)值(Ⅳ類）6~9≤10≤1.5≤0.3≥3.0錢江直河月監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)7.43.80.890.1716.7達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)2022年2月監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)7.62.30.6560.0828.74達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)2022年3月監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)7.87.60.3757.45達(dá)標(biāo)情況達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)達(dá)標(biāo)超標(biāo)達(dá)標(biāo)中Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)要求；3月TP不滿足Ⅳ類標(biāo)準(zhǔn)要求，—77—本項(xiàng)目廠界外50m范圍內(nèi)無聲環(huán)境敏感目標(biāo)，因此無需對(duì)聲環(huán)境現(xiàn)狀本項(xiàng)目位于租賃杭州大江東地產(chǎn)開發(fā)有限公司坐落在杭州大江東產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)江東片區(qū)的廠房，不屬于新增用地，因此無水環(huán)境污染途徑，且廠界外500米范圍內(nèi)無地下制技術(shù)指南（污染影響類）》原則上可不開展地），表3-5本項(xiàng)目周邊主要企業(yè)生產(chǎn)及主要廢氣污染因子概況序號(hào)企業(yè)名稱經(jīng)營(yíng)內(nèi)容主要污染物建設(shè)情況1杭州澤達(dá)半導(dǎo)體有限公司從事高速激光器芯片的生產(chǎn)廢氣：粉塵、砷化氫、磷化氫、甲烷、硫酸霧、氯化氫、磷酸霧、氟化物、溴氨、非甲烷總烴、NMP、丙酮、甲醇、乙醇、異丙醇、DMF、丁酮、乙烯；—78—2導(dǎo)體（杭限公司深紫外UVC芯片3)有限責(zé)任可折疊超薄柔性玻璃4奧控股有班臺(tái)、會(huì)議桌木質(zhì)文件柜、鋼制文件柜類5司欣晶圓半份有限公6南綠建集有限公司墻板環(huán)境保護(hù)—79—污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)惡臭氣體（氨、硫化氫、臭氣濃度）執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》表3-5項(xiàng)目廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)匯總表污染物名稱最高允許排放濃度(mg/m3)最高允許排放速率(kg/h)*無組織排放監(jiān)控濃度限值標(biāo)準(zhǔn)來源排氣筒(m)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控點(diǎn)濃度(mg/m3)氯化氫300.46周界外濃度最高點(diǎn)0.20GB16297-1996氟化物9300.2450.02氮氧化物240302.2氯氣65300.4350.4硫酸霧45304.4二甲苯70305.9非甲烷總烴3026.54.0注：*根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查，由于排氣筒均未能高出周圍200m范圍的建筑5m以上，因此廢氣排放速率需按GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》中新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)限值要求嚴(yán)格50%標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。表3-6《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554-93）污染物排氣筒高度排放量新擴(kuò)改建廠界標(biāo)準(zhǔn)（二級(jí)）臭氣濃度2000（無量綱）20（無量綱）30m6000（無量綱）氨4.9kg/h1.5mg/m330m20kg/h硫化氫0.33kg/h0.06mg/m330m1.3kg/h—80—根據(jù)生態(tài)環(huán)境部《關(guān)于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中生活污水執(zhí)行問題的回復(fù)》：“《橡準(zhǔn)》（GB30484-2013）均在“排水量”定義中明確外排廢水包括廠區(qū)生活污水管理”，因此項(xiàng)目生產(chǎn)廢水納管標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》氨氮、總磷執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（GB/T31962-2015）中的B級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。污水處理廠出水水質(zhì)執(zhí)行《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB18918-2002）中的一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)要求。具體見表3-7污水納管排放標(biāo)準(zhǔn)單位：除pH外為mg/L污染物名稱pH石油類CODCrNH3-NTNTP氟化物《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）6~94002050035（1）70820《污水綜合排放標(biāo)（GB8978-