脈沖激光法沉積薄膜實驗_第1頁
脈沖激光法沉積薄膜實驗_第2頁
脈沖激光法沉積薄膜實驗_第3頁
全文預覽已結(jié)束

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

脈沖激光法沉積薄膜實驗Experimentforfilmdepositionbypulsedlaser原理：是一種真空物理沉積工藝，是將高功率脈沖激光聚焦于靶材表面，使其產(chǎn)生高溫及燒蝕，而產(chǎn)生高溫高壓等離子體，等離子體定向局域膨脹發(fā)射并在襯底上沉積形成薄膜。□□□□1.激光與靶材相互作用產(chǎn)生等離子體等離子體是由大量自由電子和離子及少量未電離的氣體分子和原子組成，且在整體上表現(xiàn)為近似于電中性的電離氣體。等離子體=自由電子+帶正電的離子+未電離原子或分子，為物質(zhì)的第四態(tài)。2?等離子體在空間的輸運102i）/cm3）的等離子體靶材表面的高溫102i）/cm3）的等離子體在靶面法線方向的高溫和壓力梯度等溫膨脹發(fā)射用時）和絕熱膨脹發(fā)射（激光終止后）等離子體區(qū)等離子體羽輝?沿靶面法線方向丿軸向約束性3?等離子體在基片上成核、長大形成薄臨界核的形成粒子的長大等溫膨脹發(fā)射用時）和絕熱膨脹發(fā)射（激光終止后）等離子體區(qū)等離子體羽輝?沿靶面法線方向丿軸向約束性3?等離子體在基片上成核、長大形成薄臨界核的形成粒子的長大形成連續(xù)薄膜——| 昨‘a(chǎn)ww——I 1銅業(yè)硼ai耀單fam晦;倔舍硼〈——|aKW?WK御儲土:舉曲沖諂KsasaawmI㈡沖諂翻討仙輦砂劉靈■騎詡聲弼1松轉(zhuǎn)敘畫財世埠卿手湃刪swaaw冒飆運壬amn解谿詡聲瞬誣厲世f躍■孵袒壬申?卿咖他叭輛胚一咖際泌Lsmi袒注警詡解列里襌孵一&碼礦昭期世」輒詢哋你刪PLD法制備薄膜實驗流程安裝靶材與襯底激光器為YAG固體激光器，波長調(diào)整激光器參數(shù)=532nm（綠光），激光脈寬為10ns,抽真空（機械泵與分子泵至能量量聯(lián)）實驗注意事項□口□□抽真空之前一定要注意接通冷卻水當真空度小于10Pa才能開啟分子泵抽高真空激光輸出前要確保冷卻水運動正常使用氧氣時要確保氣嘴

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論